[發(fā)明專利]Micro-LED修補(bǔ)載板的制備方法及顯示裝置的Micro-LED修補(bǔ)方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202210751902.3 | 申請(qǐng)日: | 2022-06-28 |
| 公開(公告)號(hào): | CN115132639A | 公開(公告)日: | 2022-09-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 陳書志;李佳育 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 上海聞泰信息技術(shù)有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/683 | 分類號(hào): | H01L21/683;H01L21/67;H01L25/075;G09F9/33 |
| 代理公司: | 廣州德科知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44381 | 代理人: | 林玉旋;萬振雄 |
| 地址: | 200062 上海市*** | 國(guó)省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | micro led 修補(bǔ) 制備 方法 顯示裝置 | ||
1.一種Micro-LED修補(bǔ)載板的制備方法,其特征在于,所述Micro-LED修補(bǔ)載板應(yīng)用于顯示裝置,所述顯示裝置包括背板以及陣列排布于所述背板上的多個(gè)Micro-LED芯片,所述修補(bǔ)載板用于對(duì)所述背板上的缺陷Micro-LED芯片進(jìn)行修補(bǔ),所述方法包括:
提供Micro-LED晶片和臨時(shí)載板,將所述Micro-LED晶片貼合至所述臨時(shí)載板上,所述Micro-LED晶片包括襯底以及貼合在所述襯底上的多個(gè)Micro-LED芯片;
將所述襯底與所述Micro-LED芯片分離,以使所述Micro-LED芯片貼合在所述臨時(shí)載板上;
獲取所述背板上的缺陷Micro-LED芯片的目標(biāo)信息,所述目標(biāo)信息至少包括缺陷Micro-LED芯片的數(shù)量以及缺陷Micro-LED芯片的位置信息;
提供目標(biāo)載板,根據(jù)所述背板上的缺陷Micro-LED芯片的目標(biāo)信息,將所述臨時(shí)載板上對(duì)應(yīng)于所述目標(biāo)信息的至少部分Micro-LED芯片轉(zhuǎn)移至所述目標(biāo)載板,以得到修補(bǔ)載板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,采用激光振鏡設(shè)備獲取所述背板上的缺陷Micro-LED芯片的目標(biāo)信息。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,所述提供目標(biāo)載板,根據(jù)所述背板上的缺陷Micro-LED芯片的目標(biāo)信息將所述臨時(shí)載板上對(duì)應(yīng)于所述目標(biāo)信息的Micro-LED芯片轉(zhuǎn)移至所述目標(biāo)載板,以得到修補(bǔ)載板,包括:
提供目標(biāo)載板,所述激光振鏡設(shè)備根據(jù)所述目標(biāo)信息,對(duì)所述臨時(shí)載板上對(duì)應(yīng)于所述目標(biāo)信息的Micro-LED芯片進(jìn)行激光解離,以使解離后的所述Micro-LED芯片轉(zhuǎn)移至所述目標(biāo)載板,以得到修補(bǔ)載板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,所述目標(biāo)載板上設(shè)有膠層,所述Micro-LED芯片轉(zhuǎn)移至所述目標(biāo)載板上時(shí)通過所述膠層粘接于所述目標(biāo)載板上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,所述Micro-LED芯片貼合于所述臨時(shí)載板上時(shí),所述Micro-LED芯片的設(shè)有電極的一端貼合于所述臨時(shí)載板上。
6.一種顯示裝置的Micro-LED修補(bǔ)方法,其特征在于,所述顯示裝置包括背板以及陣列排布于所述背板上的多個(gè)Micro-LED芯片,所述方法包括:
提供帶有Micro-LED芯片的修補(bǔ)載板,所述修補(bǔ)載板采用如權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的Micro-LED修補(bǔ)載板的制備方法制備得到;
調(diào)整所述修補(bǔ)載板相對(duì)所述背板的位置,以將所述修補(bǔ)載板上的Micro-LED芯片轉(zhuǎn)移至所述背板上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法,其特征在于,所述調(diào)整所述修補(bǔ)載板相對(duì)所述背板的位置,以將所述修補(bǔ)載板上的Micro-LED芯片轉(zhuǎn)移至所述背板上,包括:
拔除所述背板上的缺陷Micro-LED芯片;
移動(dòng)所述修補(bǔ)載板以使所述修補(bǔ)載板上的Micro-LED芯片對(duì)準(zhǔn)所述背板上的Micro-LED芯片缺失位置;
將所述修補(bǔ)載板上的Micro-LED芯片轉(zhuǎn)移至所述背板的所述Micro-LED芯片缺失位置上。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法,其特征在于,所述背板包括像素點(diǎn)區(qū)域和位于所述像素點(diǎn)區(qū)域一側(cè)的空白區(qū)域,所述像素點(diǎn)區(qū)域用于陣列設(shè)置Micro-LED芯片,所述調(diào)整所述修補(bǔ)載板相對(duì)所述背板的位置,以將所述修補(bǔ)載板上的Micro-LED芯片轉(zhuǎn)移至所述背板上,包括:
移動(dòng)所述修補(bǔ)載板,以使所述修補(bǔ)載板上的所述Micro-LED芯片對(duì)準(zhǔn)所述空白區(qū)域的對(duì)應(yīng)所述缺陷Micro-LED芯片的位置;
將所述修補(bǔ)載板上的Micro-LED芯片轉(zhuǎn)移至所述背板的所述空白區(qū)域的對(duì)應(yīng)所述缺陷Micro-LED芯片的位置上。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





