[發(fā)明專利]一種帶有防護結(jié)構(gòu)的晶圓加工用切割裝置

有效

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• 申請日: 2022-06-29
• 公開（公告）號: CN114939936B
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 殷澤安;陳典文
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞市譯碼半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: B28D5/02
• 分類號: B28D5/02;B28D7/02;B28D7/00
• 代理公司: 北京卓恒知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11394
• 代理人: 杜偉軒

本發(fā)明公開了一種帶有防護結(jié)構(gòu)的晶圓加工用切割裝置，包括晶圓切割機本體，所述晶圓切割機本體頂部兩側(cè)對稱安裝有兩個第一滑軌，且兩個第一滑軌底部一側(cè)均安裝有液壓伸縮桿，兩個液壓伸縮桿輸出端固定連接有龍門架，且龍門架一側(cè)頂部安裝有切割移動機構(gòu)，本發(fā)明切割移動機構(gòu)的安裝，便于切割不同尺寸的晶圓，通過防護機構(gòu)和防護罩的安裝，大大減少了切割過程中碎屑飛濺的情況出現(xiàn)，同時防護機構(gòu)中的活動護罩可伸縮活動，有利于根據(jù)實際情況調(diào)整活動護罩的位置，通過的散熱機構(gòu)與切割移動機構(gòu)中的切割電機聯(lián)動，切割電機的輸出端的轉(zhuǎn)動通過減速齒輪組的減速后帶動葉片轉(zhuǎn)動進行散熱，提升了設(shè)備的散熱能力。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓加工技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種帶有防護結(jié)構(gòu)的晶圓加工用切割裝置。

背景技術(shù)

晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅，硅晶棒在經(jīng)過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓，國內(nèi)晶圓生產(chǎn)線以8英寸和12英寸為主；

晶圓的加工工藝復(fù)雜繁多，晶圓切割也是其中一種，現(xiàn)如今常見的晶圓切割方式包括砂輪切割、激光切割、劃刀劈裂法、金剛線切割等等，砂輪切割是其中應(yīng)用較為廣泛的一種，然而現(xiàn)如今市面上的晶圓切割裝置在切割過程中容易出現(xiàn)碎屑飛濺的情況，降低了切割的去安全性，同時在切割過程中，晶圓和砂輪上會發(fā)出大量的熱，熱量不及時散發(fā)容易對晶圓造成不可逆的傷害，同時晶圓表面的灰塵和雜質(zhì)同樣會影響晶圓的質(zhì)量，并且現(xiàn)有的晶圓切割設(shè)備切割過程自動化程度低，需要人工參與，并且難以切割不同尺寸的晶圓。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種帶有防護結(jié)構(gòu)的晶圓加工用切割裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種帶有防護結(jié)構(gòu)的晶圓加工用切割裝置，包括晶圓切割機本體，所述晶圓切割機本體頂部兩側(cè)對稱安裝有兩個第一滑軌，且兩個第一滑軌底部一側(cè)均安裝有液壓伸縮桿，兩個液壓伸縮桿輸出端固定連接有龍門架，且龍門架一側(cè)頂部安裝有切割移動機構(gòu)，切割移動機構(gòu)一側(cè)底部固定連接有固定板，且固定板一側(cè)頂部安裝有防護罩，防護罩一側(cè)固定連接有防護機構(gòu)，且防護罩另一側(cè)安裝有散熱機構(gòu)。

優(yōu)選的，所述晶圓切割機本體底部四角位置分別焊接固定有支撐腿，且晶圓切割機本體頂部邊緣處安裝有側(cè)圍板。

優(yōu)選的，所述切割移動機構(gòu)包括側(cè)邊板、第一絲桿、手輪、加強塊、移動塊、第一導(dǎo)向桿、第二導(dǎo)向桿、第二絲桿、固定架、升降塊、切割電機和伺服電機，龍門架一側(cè)頂部對稱安裝有兩塊側(cè)邊板，兩塊側(cè)邊板相對一側(cè)中心轉(zhuǎn)動連接有第一絲桿，且其中一塊側(cè)邊板一側(cè)中心固定連接有伺服電機，伺服電機輸出端與第一絲桿一端中心固定連接，且第一絲桿中心通過滾珠螺母配合連接有移動塊，移動塊一側(cè)中心固定連接有固定架，且固定架中心活動貫穿有第二絲桿，第二絲桿與固定架轉(zhuǎn)動連接，且固定架頂部中心安裝有手輪，手輪通過連接軸與第二絲桿頂部中心固定連接，第二絲桿中下部通過滾珠螺母配合連接有升降塊，且升降塊一側(cè)安裝有切割電機，升降塊中心兩側(cè)分別活動貫穿有第二導(dǎo)向桿，且兩個第二導(dǎo)向桿兩端分別與固定架頂部與底部兩側(cè)固定連接。

優(yōu)選的，所述移動塊中心兩側(cè)分別活動貫穿有第一導(dǎo)向桿，且兩個第一導(dǎo)向桿兩端分別與兩塊側(cè)邊板相向一側(cè)固定連接，移動塊一側(cè)對稱安裝有兩個加強塊，且兩個加強塊相對一側(cè)分別與固定架兩側(cè)中心固定連接。

優(yōu)選的，所述切割電機輸出端端面位置與固定板一側(cè)固定連接，且切割電機輸出端活動貫穿固定板中心，切割電機輸出端套接固定有切割輪。

優(yōu)選的，所述防護機構(gòu)包括活動護罩、螺紋塊、緊固螺釘、第二滑軌、滑塊和滑槽，防護罩一側(cè)對稱安裝有兩個第二滑軌，且兩個第二滑軌頂部中心均開設(shè)有滑槽，兩個滑槽內(nèi)部滑動連接有兩個滑塊，且兩個滑塊頂部中心固定連接有兩個螺紋塊，兩個螺紋塊頂部固定連接有活動護罩，且活動護罩頂部兩側(cè)對稱貫穿有兩個緊固螺釘，兩個緊固螺釘中心與兩個螺紋塊通過螺紋固定連接，且兩個緊固螺釘?shù)撞控灤﹥蓚€滑塊，且兩個緊固螺釘?shù)撞颗c兩個滑槽內(nèi)部底面貼合。