[發明專利]一種帶有防護結構的晶圓加工用切割裝置

有效

• 申請號: 202210749181.2
• 申請日: 2022-06-29
• 公開（公告）號: CN114939936B
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發明（設計）人: 殷澤安;陳典文
• 申請（專利權）人: 東莞市譯碼半導體有限公司
• 主分類號: B28D5/02
• 分類號: B28D5/02;B28D7/02;B28D7/00
• 代理公司: 北京卓恒知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11394
• 代理人: 杜偉軒

1.一種帶有防護結構的晶圓加工用切割裝置，包括晶圓切割機本體(1)，其特征在于：所述晶圓切割機本體(1)頂部兩側對稱安裝有兩個第一滑軌(3)，且兩個第一滑軌(3)底部一側均安裝有液壓伸縮桿(13)，兩個液壓伸縮桿(13)輸出端固定連接有龍門架(8)，且龍門架(8)一側頂部安裝有切割移動機構(7)，切割移動機構(7)一側底部固定連接有固定板(6)，且固定板(6)一側頂部安裝有防護罩(11)，防護罩(11)一側固定連接有防護機構(5)，且防護罩(11)另一側安裝有散熱機構(9)，所述切割移動機構(7)包括側邊板(701)、第一絲桿(702)、手輪(703)、加強塊(704)、移動塊(705)、第一導向桿(706)、第二導向桿(707)、第二絲桿(708)、固定架(709)、升降塊(710)、切割電機(711)和伺服電機(712)，龍門架(8)一側頂部對稱安裝有兩塊側邊板(701)，兩塊側邊板(701)相對一側中心轉動連接有第一絲桿(702)，且其中一塊側邊板(701)一側中心固定連接有伺服電機(712)，伺服電機(712)輸出端與第一絲桿(702)一端中心固定連接，且第一絲桿(702)中心通過滾珠螺母配合連接有移動塊(705)，移動塊(705)一側中心固定連接有固定架(709)，且固定架(709)中心活動貫穿有第二絲桿(708)，第二絲桿(708)與固定架(709)轉動連接，且固定架(709)頂部中心安裝有手輪(703)，手輪(703)通過連接軸與第二絲桿(708)頂部中心固定連接，第二絲桿(708)中下部通過滾珠螺母配合連接有升降塊(710)，且升降塊(710)一側安裝有切割電機(711)，升降塊(710)中心兩側分別活動貫穿有第二導向桿(707)，且兩個第二導向桿(707)兩端分別與固定架(709)頂部與底部兩側固定連接，所述防護機構(5)包括活動護罩(501)、螺紋塊(502)、緊固螺釘(503)、第二滑軌(504)、滑塊(505)和滑槽(506)，防護罩(11)一側對稱安裝有兩個第二滑軌(504)，且兩個第二滑軌(504)頂部中心均開設有滑槽(506)，兩個滑槽(506)內部滑動連接有兩個滑塊(505)，且兩個滑塊(505)頂部中心固定連接有兩個螺紋塊(502)，兩個螺紋塊(502)頂部固定連接有活動護罩(501)，且活動護罩(501)頂部兩側對稱貫穿有兩個緊固螺釘(503)，兩個緊固螺釘(503)中心與兩個螺紋塊(502)通過螺紋固定連接，且兩個緊固螺釘(503)底部貫穿兩個滑塊(505)，且兩個緊固螺釘(503)底部與兩個滑槽(506)內部底面貼合，所述散熱機構(9)包括散熱箱(901)、主動錐齒輪(902)、從動錐齒輪(903)、固定軸(904)、安裝座(905)、第一減速錐齒輪(906)、濾網(907)、第二減速錐齒輪(908)、聯動軸(909)、固定座(910)、第三減速錐齒輪(911)、驅動軸(912)、軸承座(913)、驅動錐齒輪(914)、葉片(915)和出風口(916)，防護罩(11)另一側安裝有散熱箱(901)，且散熱箱(901)內部一側頂部安裝有安裝座(905)，安裝座(905)中心活動貫穿有固定軸(904)，且固定軸(904)與安裝座(905)轉動連接，固定軸(904)一端安裝有從動錐齒輪(903)，且從動錐齒輪(903)外圓周嚙合有主動錐齒輪(902)，主動錐齒輪(902)套接固定在切割電機(711)的輸出端中心，固定軸(904)另一端安裝有第一減速錐齒輪(906)，且第一減速錐齒輪(906)外圓周底部嚙合有第二減速錐齒輪(908)，第二減速錐齒輪(908)中心固定貫穿有聯動軸(909)，且聯動軸(909)中心套接固定有固定座(910)，固定座(910)與聯動軸(909)轉動連接，且固定座(910)安裝在散熱箱(901)內部另一側中心，聯動軸(909)底部套接固定有第三減速錐齒輪(911)。

2.根據權利要求1所述的一種帶有防護結構的晶圓加工用切割裝置，其特征在于：所述晶圓切割機本體(1)底部四角位置分別焊接固定有支撐腿(2)，且晶圓切割機本體(1)頂部邊緣處安裝有側圍板(10)。