[發明專利]懸臂點膠設備及點膠工藝

有效

• 申請號: 202210739643.2
• 申請日: 2022-06-28
• 公開（公告）號: CN115228686B
• 公開（公告）日: 2023-09-22
• 發明（設計）人: 佘奕
• 申請（專利權）人: 嘉興景焱智能裝備技術有限公司
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C11/00;B05C13/02;B05D1/26;H01L21/67
• 代理公司: 上海霖睿專利代理事務所(普通合伙) 31391
• 代理人: 黃燕石

1.一種懸臂點膠設備，其特征在于：包括X軸驅動平臺，在所述X軸驅動平臺上設置Y軸懸臂單元，在所述Y軸懸臂單元的前端設置Z軸升降單元，所述Z軸升降單元連接點膠單元，所述Y軸懸臂單元包括設置于X軸驅動平臺上的滑動板，在所述滑動板上設置Y軸滑軌和Y軸直線電機，在Y軸滑軌上設置Y軸懸臂，所述Z軸升降單元設置在Y軸懸臂的前端，所述Y軸懸臂的前部位置設置減重孔，所述減重孔為前寬后窄的梯形結構，在減重孔的側邊向Y軸懸臂的兩側設置貫孔，所述減重孔后端的下方，沿Y軸懸臂底部向后方形成縱槽，所述點膠單元連接在Z軸升降單元上，所述Y軸懸臂單元在X軸驅動平臺上進行X方向位移，所述Z軸升降單元隨Y軸懸臂進行Y方向位移，所述點膠單元在Z軸升降單元上升降，對晶圓基片進行點膠，所述Z軸升降單元包括垂直設置Z軸直線電機，所述Z軸直線電機的動子固定在Y軸懸臂的前端，所述Z軸直線電機的定子連接至移動基板上，所述點膠單元與移動基板固定，Z軸直線電機驅動動子運動時，定子產生相對運動，驅動移動基板升降，使點膠單元產生升降運動，所述點膠單元通過緩沖機構連接至移動基板上，所述緩沖機構包括安裝在移動基板上的壓簧座，壓簧座通過壓簧連接至下方的緩沖基板，緩沖基板下方連接磁鐵，所述磁鐵與移動基板固定，所述點膠單元固定在緩沖基板的側邊，所述X軸驅動平臺包括X軸導軌和X軸直線電機，所述Y軸懸臂單元的滑動板設置在X軸導軌上，所述X軸直線電機的動子與滑動板固定。

2.根據權利要求1所述的懸臂點膠設備，其特征在于：所述緩沖基板為中空結構，后側通過滾子導軌連接至移動基板上，在緩沖基板的下方為磁鐵座，磁鐵座安裝在移動基板上，磁鐵座與緩沖基板之間安裝對應的磁鐵。

3.根據權利要求1所述的懸臂點膠設備，其特征在于：所述X軸驅動平臺上設置兩套對稱的Y軸懸臂單元，兩套Y軸懸臂單元分別設置所述Z軸升降單元，兩個Z軸升降單元分別連接一套點膠單元，兩套點膠單元鏡像設置，形成雙工位點膠機構。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的懸臂點膠設備，其特征在于：在所述點膠單元的外側，設置測高單元，所述測高單元設置在Z軸升降單元的移動基板下方。

5.根據權利要求4所述的懸臂點膠設備，其特征在于：在所述點膠單元的后側，設置相機單元，所述相機單元設置在Z軸升降單元的移動基板下方。

6.一種點膠工藝，應用如權利要求1至5中任一項所述的懸臂點膠設備，其特征在于：包括如下步驟：

第一步，測高單元對基板進行測高；

第二步，通過相機飛拍，確認基片在基板上的位置；

第三步，兩個工位的點膠機構復位至基板的兩側；

第四步，兩側點膠機構分別從兩側位置向中間位置同步進行點膠操作。

7.根據權利要求6所述的點膠工藝，其特征在于：所述第二步中，相機飛拍過程為從基板兩側向中間位置進行。