[發明專利]一體式全自動植球機在審
| 申請號: | 202210722313.2 | 申請日: | 2022-06-24 |
| 公開(公告)號: | CN115527892A | 公開(公告)日: | 2022-12-27 |
| 發明(設計)人: | 張治強 | 申請(專利權)人: | 江蘇長晟半導體科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/60 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 226000 江蘇省南通市開發區*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 體式 全自動 植球機 | ||
1.一種一體式全自動植球機,包括植球機本體(1),其特征在于:所述植球機本體(1)包括整板進料口(2)、整板載板平臺(3)和整板出料口(4),所述整板載板平臺(3)包括升降冶具(31)、整板鋼網(32)和刮錫機構(33),其中整板鋼網(32)設置在整板載板平臺(3)中心,所述升降冶具(31)設置在整板載板平臺(3)的底部,刮錫機構(33)在整板載板平臺(3)的頂部,所述整板載板平臺(3)的側面安裝有刮刀驅動機構(5),所述刮刀驅動機構(5)上安裝有供球機構(6);所述升降冶具(31)包括冶具主體(311)和升降氣缸(312),其中冶具主體(311)鑲嵌在傳輸模具(7)中,且傳輸模具(7)的兩側凹槽(71)與植球機本體(1)上的滑軌(72)滑動連接,所述滑軌(72)貫穿整板進料口(2)、整板載板平臺(3)和整板出料口(4);所述整板出料口(4)上還安裝有鐵板加熱裝置(41)。
2.根據權利要求1所述的一體式全自動植球機,其特征在于:所述刮刀驅動機構(5)包括架體(51),所述架體(51)內橫向貫穿有調節絲桿(52),調節絲桿(52)的端部安裝減速電機(53),調節絲桿(52)上套裝有移動部(54),所述刮錫機構(33)安裝在移動部(54)的端部,所述移動部(54)遠離刮錫機構(33)的一端還設有配重塊(55)。
3.根據權利要求2所述的一體式全自動植球機,其特征在于:所述刮錫機構(33)的底部設有刮板(331),所述刮板(331)上的兩側安裝有錫球導料管(332),其中錫球導料管(332)的出口端采用條狀出口,錫球導料管(332)的入口端與刮錫機構(33)頂部的錫球儲存盒(333)連通,且刮板(331)左右兩側的錫球導料管(332)與錫球儲存盒(333)連接處分別設有左閥門(3321)和右閥門(3322)。
4.根據權利要求3所述的一體式全自動植球機,其特征在于:所述刮板(331)的橫切面為菱形,且刮板(331)與整板鋼網(32)的接觸端開設有弧形刮端(3311),所述刮板(331)的長度略長于與整板鋼網(32)的寬度,其中刮板(331)的兩端設有弧形收料板(3312),且弧形收料板(3312)的外側壁上連接有錫球吸附裝置(8)。
5.根據權利要求4所述的一體式全自動植球機,其特征在于:所述錫球吸附裝置(8)的輸入端連接在弧形收料板(3312)的外壁,錫球吸附裝置(8)的輸出端連接在錫球收集箱(81)中,吸附電機(82)安裝在錫球收集箱(81)的外壁上,所述錫球收集箱(81)設置在錫球儲存盒(333)的頂部,且兩者之間設有粉塵過濾箱(9)。
6.根據權利要求5所述的一體式全自動植球機,其特征在于:所述粉塵過濾箱(9)中設有弧形導料管(91),且弧形導料管(91)的管壁采用粉塵過濾網結構,且粉塵過濾箱(9)的底部開設有粉塵收集盒(92),其中粉塵收集盒(92)頂部與粉塵過濾箱(9)螺紋密封連接。
7.根據權利要求6所述的一體式全自動植球機,其特征在于:所述供球機構(6)安裝在刮刀驅動機構(5)上,并且供球機構(6)的出口處設有螺旋導料管(61),且螺旋導料管(61)的出口處通過波紋軟管(62)連接錫球儲存盒(333)的頂部,所述錫球儲存盒(333)的側壁上安裝有錫球儲存盒(333)中錫球存量監測塊(3331)。
8.根據權利要求1所述的一體式全自動植球機,其特征在于:所述冶具主體(311)鑲嵌在傳輸模具(7)上,其中傳輸模具(7)的采用框體結構,且框體內側開設有容納冶具主體(311)的槽體,冶具主體(311)的邊緣處環形分布有限位穿孔(3111),所述限位穿孔(3111)與槽體上的限位滑桿(73)適配。
9.根據權利要求8所述的一體式全自動植球機,其特征在于:所述升降氣缸(312)設置在冶具主體(311)的底部,且升降氣缸(312)貫穿傳輸模具(7)的中心穿孔與冶具主體(311)的底部抵接,且槽體上的限位滑桿(73)的頂部與整板鋼網(32)的底部在同一水平面上。
10.根據權利要求1所述的一體式全自動植球機,其特征在于:所述鐵板加熱裝置(41)包括加熱鐵板(411)和排煙罩體(412),其中加熱鐵板(411)設置在傳輸模具(7)底部,且加熱鐵板(411)的底部設有升降機構(4111),所述排煙罩體(412)安裝在加熱鐵板(411)相對于傳輸模具(7)對稱的頂部。
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





