[發明專利]具有成型區域的吸除材料、其制造方法及其用途

在審

• 申請號: 202210722312.8
• 申請日: 2022-06-24
• 公開（公告）號: CN115524182A
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發明（設計）人: I·斯皮;J·布雷瑟爾;A·高;M·庫伊佩爾;M·P·W·范登布加爾德
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: G01N1/28
• 分類號: G01N1/28;G01N1/42;F26B5/16
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 鄒松青;司昆明

1.一種吸除材料，其包括成型區域，所述成型區域具有被配置為至少部分地突出到由樣品網格的保持器的邊緣形成的邊界內形成的空間中的部分。

2.根據權利要求1所述的吸除材料，其中所述成型區域包括凹口。

3.根據權利要求1或權利要求2所述的吸除材料，其中被配置為突出到所述保持器的所述空間中的所述吸除材料的所述部分：

（i）直徑或最長尺寸等于或小于約3 mm；和/或（ii）具有從所述保持器的所述外表面的所述平面測量的約25 μm到約500 μm之間的高度。

4.根據前述權利要求中任一項所述的吸除材料，其中所述吸除材料包括被配置為接觸所述固持器的外表面的表面，從而形成止動件以防止被配置為至少部分突出到所述空間中的所述部分進一步突出。

5. 根據前述權利要求中任一項所述的吸除材料，其中：

（i）基本上整個所述成型區域包括從所述吸除材料的主平面突出的區域；或

（ii）所述成型區域包括被壓入所述紙的所述主平面中的周邊部分。

6.一種從保持在樣品網格保持器中的樣品網格移除流體的方法，所述方法包括：

使根據權利要求1至5中任一項所述的吸除材料和所述樣品網格保持器彼此相關聯，使得被配置為至少部分地突出到由所述樣品網格保持器的所述邊緣形成的邊界內所形成的空間中的所述成型區域的所述部分在其中突出，從而使吸除紙與存在于由所述樣品網格保持器的所述邊緣形成的所述邊界內或所述樣品網格上的任何液體接觸。

7.根據權利要求6所述的方法，其中所述方法包括在將所述吸除材料和所述樣品網格保持器放在一起之前將所述成型區域與所述樣品網格保持器對準。

8.根據權利要求6或權利要求7所述的方法，其中所述方法包括在將所述吸除材料和樣品網格保持器放在一起之前，在用于所述吸除材料的保持器上對準所述吸除材料，可選地，其中在所述保持器上對準所述吸除材料包括用與所述保持器相關聯的對準銷對準所述吸除材料上的孔。

9. 根據權利要求6至8中任一項所述的方法，其中：

（i）所述樣品網格保持器連接到發射桿，并且其中所述發射桿能夠沿著其軸線中的至少一個，優選地沿著其z軸線，和/或通過圍繞其縱向軸線旋轉而移動到期望的位置；和/或

（ii）所述吸除材料被保持在用于所述吸除材料的保持器上，并且其中所述保持器能夠沿著其中的至少一個軸線和/或通過圍繞其縱向軸線旋轉而移動到期望的位置。

10.根據權利要求6至9中任一項所述的方法，其中在使所述吸除材料與裝載有樣品網格和樣品的樣品網格保持器接觸之前，將所述吸除材料的成型區域與帶有或未帶有樣品網格但未帶有樣品的樣品網格保持器對準。

11.根據權利要求6至10中任一項所述的方法，其中通過使用相機來輔助對準。

12.一種用于將根據權利要求1至5中任一項所述的吸除材料與樣品網格保持器對準的系統，所述系統包括：

用于夾持所述樣品網格保持器的裝置；

保持器，其被配置為保持所述吸除材料；

用于調整所述吸除材料和/或所述樣品網格保持器相對于彼此的所述位置的裝置，使得當所述吸除材料達到與所述樣品網格保持器相關聯時，所述吸除材料的被配置為至少部分地突出到由所述樣品網格保持器的所述邊緣形成的邊界內形成的空間中的所述部分能夠在其中突出；以及

用于使吸除材料與所述樣品網格保持器相關聯的裝置。

13.根據權利要求12所述的系統，其還包括相機，可選地，其中當所述吸除材料不在適當位置時，所述相機能夠在適當位置拍攝所述樣品網格保持器的圖像，所述系統還包括將所述圖像覆蓋在所述吸除紙的圖像上的裝置，以便將所述吸除材料與所覆蓋的圖像對準，反之亦然。