[發明專利]一種生長6英寸鉭酸鋰晶體的方法

有效

• 申請號: 202210714460.5
• 申請日: 2022-06-23
• 公開（公告）號: CN114775057B
• 公開（公告）日: 2022-09-23
• 發明（設計）人: 徐秋峰;張忠偉;沈浩;錢煜;張偉明;曹煥;濮思麒
• 申請（專利權）人: 天通控股股份有限公司
• 主分類號: C30B29/30
• 分類號: C30B29/30;C30B15/20;C30B15/10;C30B15/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種生長6英寸鉭酸鋰晶體的方法，其特征在于，包括以下步驟：

a）將鉭酸鋰原料裝入鉑銥合金坩堝內，坩堝是采用95-96%的鉑和4-5%的銥制成的合金坩堝，坩堝的外徑、內徑、高度尺寸分別為204-214mm、200-210mm、100-120mm，抽真空后充氮氣至正壓；

b）按照200-300℃/h的速率升溫加熱至1600-1645℃，保溫1.5-2h，使鉭酸鋰原料熔融，然后充入氮氣和氧氣；

c）下降籽晶，當籽晶下降至坩堝口0位時停止下降，將稱重重量清零；

d）按3-5℃/h的速率緩慢提高溫度，當籽晶稱重重量突降1-2g，迅速上拉籽晶，此時籽晶微熔，證明溫度偏高，記錄籽晶微熔溫度值，同時按5-10℃/h速率降低溫度；當溫度較籽晶微熔溫度值低5-10℃時，按5-10mm/min的速率下降籽晶，當稱重重量突增20-30g時，停止下降，記錄突增前重量值，此時籽晶已與熔融液接觸，調節溫度控制重量變化，使重量下降至較突增前重量值低2-4g，保持此重量穩定0.5-1h，此時籽晶縮頸已完成，進入自動生長；

e）通過機械拉速實時控制晶體的結晶速率，晶體在放肩生長階段，晶體的結晶速率控制在2.5-3mm/h，轉數7-8rpm；晶體在等徑生長階段，晶體的結晶速率控制在4.5-5mm/h，轉數8-10rpm，完成晶體生長。

2.根據權利要求1所述的一種生長6英寸鉭酸鋰晶體的方法，其特征在于，所述步驟a）中，將鉭酸鋰原料裝入鉑銥合金坩堝內，抽真空至真空度0-5Pa，保壓4-5min后，按5-8L/min的速率充氮氣至正壓。

3.根據權利要求1所述的一種生長6英寸鉭酸鋰晶體的方法，其特征在于，所述步驟b）中，按400-500ml/min氮氣和5-8ml/min氧氣充入混合氣體，氧含量控制在0.8-1%。

4.根據權利要求1所述的一種生長6英寸鉭酸鋰晶體的方法，其特征在于，所述步驟e）中，完成后晶體生長后，以30-40mm/min的速率上拉30-40mm，使晶體脫離熔融液，并按10L/min充入氮氣。