[發(fā)明專利]磨削裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210660747.4
• 申請日: 2022-06-13
• 公開（公告）號: CN115488710A
• 公開（公告）日: 2022-12-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 梅田桂男;E·賈拉里
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B24B7/22
• 分類號: B24B7/22;B24B41/06;B24B41/00;B24B49/02;H01L21/67
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

1.一種磨削裝置，其中，

該磨削裝置具有：

卡盤工作臺，其具有對板狀的被加工物進行吸引保持的保持面；

磨削單元，其具有供包含多個磨削磨具的磨削磨輪安裝的主軸，利用該磨削磨輪對該卡盤工作臺所保持的該被加工物進行磨削；

盒載置臺，其載置能夠收納多個該被加工物的盒；

搬送機構(gòu)，其將收納于該盒的該被加工物搬送至該卡盤工作臺；

翹曲量測量器，其測量該被加工物的翹曲量；

矯正單元，其矯正具有翹曲的該被加工物；以及

控制單元，其對該搬送機構(gòu)、該翹曲量測量器以及該矯正單元進行控制，

該控制單元具有：

存儲部，其存儲規(guī)定該翹曲量的范圍的第1閾值；以及

判定部，其對通過該翹曲量測量器測量的該被加工物的該翹曲量與存儲于該存儲部的該第1閾值進行比較，判定是否能夠利用該卡盤工作臺保持該被加工物，

在利用該翹曲量測量器測量了該被加工物的該翹曲量之后，在由該判定部判定為能夠利用該卡盤工作臺保持該被加工物的情況下，利用該搬送機構(gòu)將該被加工物搬送至該卡盤工作臺，在由該判定部判定為無法利用該卡盤工作臺保持該被加工物的情況下，利用該矯正單元矯正該被加工物。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨削裝置，其中，

該矯正單元具有：

載置部，其具有載置該被加工物的載置面；以及

按壓部，其配置于該載置部的該載置面?zhèn)?，從與該載置面相反的一側(cè)對載置于該載置面的該被加工物施加力。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磨削裝置，其中，

在該載置部和該按壓部中的一方或雙方中設(shè)置有加熱器。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的磨削裝置，其中，

該矯正單元還具有夾設(shè)部，

該夾設(shè)部包含：

載置部側(cè)接觸面，其配置于該載置部與該按壓部之間，與該載置部側(cè)的該被加工物接觸；以及

按壓部側(cè)接觸面，其與該按壓部側(cè)的其他的該被加工物接觸。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的磨削裝置，其中，

在該夾設(shè)部中設(shè)置有加熱器。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的磨削裝置，其中，

該磨削裝置還具有臨時收納盒載置臺，該臨時收納盒載置臺載置能夠臨時收納被判定為無法利用該卡盤工作臺進行保持的多個該被加工物的臨時收納盒，

該控制單元在該判定部判定為無法利用該卡盤工作臺保持該被加工物的情況下，利用該搬送機構(gòu)將該被加工物收納于該臨時收納盒，然后利用該矯正單元一次性矯正收納于該臨時收納盒中的多個該被加工物。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的磨削裝置，其中，

在該存儲部中還存儲有規(guī)定無法利用該卡盤工作臺進行保持的該翹曲量的多個區(qū)間的第2閾值，

該判定部對通過該翹曲量測量器測量的該被加工物的該翹曲量與存儲于該存儲部的該第2閾值進行比較，進一步判定被判定為無法利用該卡盤工作臺進行保持的該被加工物屬于該多個區(qū)間中的哪個區(qū)間，

該控制單元將收納于該臨時收納盒中的多個該被加工物按照每個該區(qū)間利用該矯正單元進行矯正。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中的任意一項所述的磨削裝置，其中，

該控制單元在利用該矯正單元矯正了該被加工物之后，利用該翹曲量測量器再次測量矯正后的該被加工物的該翹曲量。