[發明專利]法布里-珀羅標準具表面損耗和介質損耗的估算方法

在審

• 申請號: 202210654968.0
• 申請日: 2022-06-10
• 公開（公告）號: CN115060463A
• 公開（公告）日: 2022-09-16
• 發明（設計）人: 張娜娜;郭永瑞;陳奕寬;袁泰;馬勇;潘武;陳珊珊;楊桓
• 申請（專利權）人: 重慶郵電大學
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220
• 代理人: 伍旭偉

1.一種法布里-珀羅標準具表面損耗和介質損耗的估算方法，其特征在于，包括以下具體步驟：

S10、獲取法布里-珀羅標準具的透過率T_t，根據透過率T_t獲取透過率峰值T_max；

S20、根據步驟S10獲取的透過率T_t和透過率峰值T_max建立無介質填充時的法布里-珀羅標準具的透過率峰值與表面損耗之間滿足的第一函數關系式；

S30、根據第一函數關系式，建立有介質填充的法布里-珀羅標準具的透過率峰值與表面損耗及介質損耗之間滿足的第二函數關系式；

S40、獲取無介質填充的標準具的透過率峰值T_max1的實驗測量值，代入第一函數關系式中計算得到標準具的表面損耗γ；

S50、獲取有介質填充的標準具的透過率峰值T_max2的實驗測量值和步驟S40中計算得到的標準具的表面損耗γ，代入第二函數關系式中計算得到標準具的介質損耗α。

2.根據權利要求1所述的法布里-珀羅標準具表面損耗和介質損耗的估算方法，其特征在于，所述獲取法布里-珀羅標準具的透過率T_t具體包括：

S11、獲取一頻率梳激光源，將不同頻率成分的光經過法布里-珀羅標準具；

S12、對比不同頻率成分的光經過法布里-珀羅標準具之前與經過法布里-珀羅標準具之后的光強，獲得法布里-珀羅標準具的透過率T_t。

3.根據權利要求2所述的法布里-珀羅標準具表面損耗和介質損耗的估算方法，其特征在于，法布里-珀羅標準具的透過率T_t為總透射波強度除以總入射波強度，其中總透射波復振幅A_t的計算公式為：

其中：A_i為入射波的復振幅，r₁為標準具上表面鍍膜的反射系數，r₂為標準具下表面鍍膜的反射系數，t₁為標準具上表面鍍膜的透射系數，t₂為標準具下表面鍍膜的透射系數，為兩相鄰透射波之間的光程差，n為填充介質的折射率，l為標準具兩表面間隔，θ為光線入射進標準具的折射角。

4.根據權利要求3所述的法布里-珀羅標準具表面損耗和介質損耗的估算方法，其特征在于，在法布里-珀羅標準具為理想標準具時，表面鍍膜滿足R₁+T₁＝1，R₂+T₂＝1，R₁＝r₁²、T₁＝t₁²、R₂＝r₂²、T₂＝t₂²，所述法布里-珀羅標準具的透過率T_t為總透射波強度與入射波強度之比，計算公式為：

其中：r₁為標準具上表面鍍膜的反射系數，r₂為標準具下表面鍍膜的反射系數，t₁為標準具上表面鍍膜的透射系數，t₂為標準具下表面鍍膜的透射系數，A_tA_t^*為總透射波的強度，A_iA_i^*為入射波的強度，R₁表示標準具上表面鍍膜的反射率，R₂表示標準具下表面鍍膜的反射率，δ表示相鄰兩級透射波之間的光程差。