[發明專利]傳送單元、物品傳送系統以及傳送單元的控制方法

在審

• 申請號: 202210645873.2
• 申請日: 2022-06-08
• 公開（公告）號: CN115447979A
• 公開（公告）日: 2022-12-09
• 發明（設計）人: 崔仁誠;李俊范;梁東勛
• 申請（專利權）人: 細美事有限公司
• 主分類號: B65G35/00
• 分類號: B65G35/00;B65G47/74
• 代理公司: 北京市中倫律師事務所 11410
• 代理人: 楊黎峰;童劍雄

本發明提供了一種在沿著天花板設置的軌道上行進的傳送單元，所述傳送單元包括：主體，所述主體設置有行進驅動器；行進輪，所述行進輪通過從所述行進驅動器接收動力而進行旋轉；夾持構件，所述夾持構件被配置為夾持物品；升降構件，所述升降構件設置在所述主體與所述夾持構件之間并且被配置為在豎直方向上移動所述夾持構件；以及控制器，其中所述控制器在所述傳送單元在所述軌道上行進時使所述夾持構件降低或升高，其中所述控制器控制所述升降構件和所述行進驅動器，使得在所述傳送單元以恒定速度行進的定速段中執行所述夾持構件的降低或升高。

技術領域

本發明涉及一種傳送單元、一種物品傳送系統以及一種傳送單元的控制方法。

背景技術

一般而言，為了制造半導體器件，執行各種類型的工藝，諸如沉積、光刻和蝕刻，并且執行這些工藝中的每一者的裝置被布置在半導體生產線中。可以在被容納在諸如FOUP或POD的容器中的狀態下向每個半導體處理設備提供物品，諸如基板(例如，晶片、玻璃)，這些物品是要在半導體器件制造工藝中處理的對象。另外，可以從每個半導體處理設備將已經執行了工藝的物品收集到容器中，并且可以將收集有物品的容器傳送到外部。

容器由諸如高架提升運輸(OHT)設備的傳送載具傳送。傳送載具在沿著半導體生產線的天花板設置的軌道上行進。傳送載具將容納有物品的容器傳送到半導體處理裝置中的任一者的裝載端口。另外，傳送載具可以從裝載端口拾取容納有經過處理的物品的容器并將該容器傳送到外部，或者將該容器傳送到半導體處理裝置中的另一者。

圖1是示出相關技術中的傳送載具將容器傳送到端口的方法的圖。參考圖1，一般而言，傳送載具A(諸如OHT設備)包括用于保持容器F的夾持器G、連接到夾持器G的帶B，以及用于卷繞或解開帶B以提升或降低夾持器G的升降器L。此外，傳送載具A沿著軌道R行進。當沿著軌道R行進時，傳送載具A使容器F放置在端口P中。在圖1中，AP表示傳送載具A的行進路徑。另外，在圖1中，GP表示夾持器G的移動路徑。

如可以從圖1中看出，傳送載具A按以下次序運行：移動到端口P的上部部分并停止；解開帶B以降低夾持器G和容器F；以及根據夾持器G的打開和閉合而在端口P上將容器F放下、卷繞帶B以提升夾持器并且開始行進。然而，以這種方式，傳送載具A的等待時間較長，使得傳送載具AP的操作效率降低。

為了解決這個問題，如圖2所示，可以考慮一種在傳送載具A行進的同時卷繞或解開帶B的方法。在這種情況下，優點是傳送載具A的等待時間可以縮短，使得傳送載具A的操作效率可以增加。然而，在這種方法中，由于傳送載具A在帶B的長度增加的狀態下行進，因此連接到帶B的夾持器G的位置可能大大改變。例如，圖3示出了傳送載具A的位置x隨時間t的變化、傳送載具A的速度v隨時間t的變化和帶B的長度l隨時間t的變化，以及帶B的角度θ隨時間t的變化。帶B的角度θ意指在垂直于地面的軸線與帶B之間的角度。如圖3所示，可以看出，當帶B的長度l從t₂到t₃(這是傳送載具A加速和減速的區段)改變時，帶B的角度θ顯著改變。在這種情況下，連接到帶B的夾持器G也極大地搖晃。另外，當夾持器G在保持容器F時，在容器F中產生雜質(諸如顆粒)，從而污染物品(諸如基板)或損壞物品。

發明內容

提出本發明以便提供一種傳送單元、一種物品傳送系統以及一種傳送單元的控制方法，它們能夠穩定地傳送物品。

還提出本發明以便提供一種傳送單元、一種物品傳送系統以及一種傳送單元的控制方法，它們能夠最小化在物品或容納有物品的容器中產生的振動。

還提出本發明以便提供一種傳送單元、一種物品傳送系統以及一種傳送單元的控制方法，它們能夠縮短傳送物品或容納有物品的容器的時間。

本發明的目的不限于此，并且本領域的普通技術人員將從以下描述中清楚地理解未提及的其他目的。