[發(fā)明專利]一種氧傳感器芯片填孔設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210628486.8
• 申請(qǐng)日: 2022-06-06
• 公開（公告）號(hào): CN115020291B
• 公開（公告）日: 2022-11-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 柯武生;王漢波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山東睿芯半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;B05C5/02
• 代理公司: 深圳市廣諾專利代理事務(wù)所(普通合伙) 44611
• 代理人: 王歡

本發(fā)明涉及芯片加工技術(shù)領(lǐng)域，具體是涉及一種氧傳感器芯片填孔設(shè)備，包括下壓組件、點(diǎn)壓填孔組件以及夾具組件，下壓組件包括下壓板，點(diǎn)壓填孔組件包括若干個(gè)點(diǎn)壓針管，每個(gè)點(diǎn)壓針管上均設(shè)有一個(gè)注液口，每個(gè)點(diǎn)壓針管的尖端上均具有一個(gè)漏液口，每個(gè)漏液口內(nèi)均設(shè)有一個(gè)針閥，夾具組件包括若干個(gè)定位銷，相比傳統(tǒng)的填孔裝置而言，本發(fā)明的點(diǎn)壓填孔組件中的點(diǎn)壓針管能通過點(diǎn)壓的方式來控制金屬填充液的流出量，點(diǎn)壓的壓力越大，金屬填充液的流出量也就越大，同時(shí)點(diǎn)壓針管中的釘形圓柱能夠供金屬填充液順著釘形圓柱的外壁流掛，并最終在釘形圓柱的尖端呈點(diǎn)滴狀滴落，確保了金屬填充液能夠精確的填充于芯片待填孔內(nèi)，不會(huì)對(duì)芯片的表面造成污染。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及芯片加工技術(shù)領(lǐng)域，具體是涉及一種氧傳感器芯片填孔設(shè)備。

背景技術(shù)

在使用三元催化轉(zhuǎn)換器以減少排氣污染的發(fā)動(dòng)機(jī)上，氧傳感器是必不可少的元件，其中氧傳感器芯片采用先進(jìn)的陶瓷體技術(shù)，使產(chǎn)品運(yùn)行達(dá)到工作溫度的速度是傳統(tǒng)型的兩倍，因此嚴(yán)酷的冷啟動(dòng)階段的廢氣排放可減少一半，配有綜合加熱器的多層傳感元件能在長期使用后依舊保持精確的性能，氧傳感器芯片是由多個(gè)帶有電路的氧化鋯板疊壓燒結(jié)而成，在工廠加工芯片的過程中，有一項(xiàng)工藝為芯片的填孔工藝，即向氧化鋯板上的通孔中填充金屬漿料，由于通孔的孔徑較小，所以金屬漿料需要可控制的進(jìn)行點(diǎn)滴式的填孔，傳統(tǒng)的填孔裝置不能調(diào)控金屬漿料填充量，從而填充液會(huì)出現(xiàn)溢出待填孔，對(duì)芯片的表面造成污染，所以有必要提供一種氧傳感器芯片填孔設(shè)備來解決上述的問題。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)問題，提供一種氧傳感器芯片填孔設(shè)備。

為解決現(xiàn)有技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：一種氧傳感器芯片填孔設(shè)備，包括下壓組件、點(diǎn)壓填孔組件以及夾具組件，三者沿豎直方向從上往下依次分布，所述下壓組件包括一個(gè)能夠沿豎直方向下壓，并且下壓后能夠回彈復(fù)位的下壓板，所述點(diǎn)壓填孔組件包括若干個(gè)呈豎直狀態(tài)且沿直線間隔設(shè)于下壓板上的點(diǎn)壓針管，每個(gè)所述點(diǎn)壓針管上均設(shè)有一個(gè)用于注入金屬漿料的注液口，每個(gè)點(diǎn)壓針管的尖端均朝向夾具組件設(shè)置，并且每個(gè)點(diǎn)壓針管的尖端上均具有一個(gè)與注液口相連通的漏液口，每個(gè)所述漏液口內(nèi)均設(shè)有一個(gè)能夠隨點(diǎn)壓針管下壓向點(diǎn)壓針管內(nèi)運(yùn)動(dòng)且能夠自動(dòng)復(fù)位的針閥，針閥用于打開和封閉漏液口，所述夾具組件用于固定待填孔芯片，并且夾具組件包括若干個(gè)定位銷，若干個(gè)所述定位銷一一對(duì)應(yīng)的設(shè)于若干個(gè)點(diǎn)壓針管的正下方，每個(gè)定位銷與對(duì)應(yīng)的點(diǎn)壓針管之間均通過斜楔機(jī)構(gòu)聯(lián)動(dòng)配合，斜楔機(jī)構(gòu)用于使定位銷能夠隨著點(diǎn)壓針管的一起下移而一同下移，每個(gè)所述定位銷均用于供氧傳感器芯片的待填孔套設(shè)定位于對(duì)應(yīng)的點(diǎn)壓針管的正下方，所述針閥的上方設(shè)有用于調(diào)節(jié)填料劑量彈性抵壓機(jī)構(gòu)，所述彈性低壓機(jī)構(gòu)通過限制針閥的上行距離來調(diào)整向下通過漏液口的填料劑量。

進(jìn)一步的，每個(gè)所述點(diǎn)壓針管均由圓柱連接件、錐形頭、錐形旋帽和彈性抵壓機(jī)構(gòu)組成，所述圓柱連接件呈豎直狀態(tài)，錐形頭同軸固定設(shè)置于圓柱連接件的下端，錐形頭的小口徑端豎直朝下且同軸成型出一個(gè)連接圓柱，連接圓柱的外壁呈螺紋狀，所述錐形旋帽旋設(shè)于連接圓柱上，所述圓柱連接件內(nèi)同軸開設(shè)有一個(gè)一號(hào)柱狀通槽，所述錐形頭內(nèi)同軸開設(shè)有一個(gè)與一號(hào)柱狀通槽相連通的二號(hào)柱狀通槽，所述二號(hào)柱狀通槽的直徑小于一號(hào)柱狀通槽的直徑且二號(hào)柱狀通槽的下端漸縮呈錐狀，連接圓柱內(nèi)開設(shè)有一個(gè)與二號(hào)柱狀通槽下端相連通的三號(hào)柱狀通槽，所述三號(hào)柱狀通槽的直徑小于二號(hào)柱狀通槽的直徑，所述錐形旋帽內(nèi)同軸成型出一個(gè)豎直向上插入三號(hào)柱狀通槽內(nèi)的引流管，所述引流管的上端向內(nèi)漸縮呈漏斗狀，所述漏液口開設(shè)于錐形旋帽的下端且與引流管的下端相連通，所述錐形旋帽的下端即為上述點(diǎn)壓針管的尖端，所述針閥為一個(gè)呈豎直狀態(tài)且尖端朝下的釘形圓柱，所述釘形圓柱活動(dòng)設(shè)于二號(hào)柱狀通槽內(nèi)，并且釘形圓柱的帽端位于一號(hào)柱狀通槽內(nèi)，釘形圓柱的下端漸縮呈錐狀且同軸成型出一個(gè)豎直向下穿過引流管且從漏液口穿出的點(diǎn)壓圓柱，所述釘形圓柱的直徑小于二號(hào)柱狀通槽的直徑且大于三號(hào)柱狀通槽的直徑，所述點(diǎn)壓圓柱的下端呈尖狀且點(diǎn)壓圓柱的直徑小于引流管的內(nèi)徑，所述注液口開設(shè)于圓柱連接件的外壁上且與二號(hào)柱狀通槽相連通，所述彈性抵壓機(jī)構(gòu)設(shè)于圓柱連接件的上方，用于供釘形圓柱向上運(yùn)動(dòng)至一號(hào)柱狀通槽內(nèi)后回彈復(fù)位。