[發明專利]一種鈮酸鋰單面拋光片背面不良的返工方法

有效

• 申請號: 202210620244.4
• 申請日: 2022-06-02
• 公開（公告）號: CN114695643B
• 公開（公告）日: 2022-09-06
• 發明（設計）人: 徐秋峰;濮思麒;沈浩;張忠偉;錢煜;張偉明;汪萬盾;曹煥
• 申請（專利權）人: 天通控股股份有限公司
• 主分類號: H01L41/337
• 分類號: H01L41/337;H01L21/683
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種鈮酸鋰單面拋光片背面不良的返工方法，其特征在于，包括下列具體步驟：

a)單面拋光片檢驗：將單面拋光片進行檢驗，將檢驗出背面不良的晶片進行標記；

b)晶片清洗：采用堿性清洗溶液對步驟a)標記的晶片進行清洗，降低晶片表面顆粒臟污，同時可減少后續加工裂片率；

c)晶片貼膜：采用厚度為80~150μm的PET復合膜對步驟b)清洗后的晶片進行貼膜，獲得拋光面受保護的貼膜片；

d)貼膜片粘合；使用黏貼劑將兩片步驟c）獲得的貼膜片的貼膜面粘合，獲得待研磨的粘合工件；

e)粘合工件研磨；對步驟d)獲得的粘合工件進行雙面研磨加工，加工的同時將研磨液噴在粘合工件上，研磨過程中所用研磨液的各成分質量分數為水40%~50%，二氧化硅35%~45%，乙二胺四乙酸鹽5%~15%，氧化半胱氨酸5%~15%，三聚磷酸鈉5%~10%，并使加工后粘合工件的晶片背面粗糙度控制在0.1~0.3μm；

f)粘合工件清洗并脫膜：采用酸性清洗溶液將步驟e)研磨后的粘合工件進行清洗，并將清洗后的粘合工件放入熱水中浸泡脫膜。

2.如權利要求1所述的鈮酸鋰單面拋光片背面不良的返工方法，其特征在于，所述步驟a)中，在亮度800~1200Lux黃色日光燈下進行肉眼檢驗。

3.如權利要求1所述的鈮酸鋰單面拋光片背面不良的返工方法，其特征在于，所述步驟b)中，采用超聲清洗方式，超聲頻率為28~200khz，清洗溫度35~45℃，清洗時長25~40min，所用堿性清洗溶液由水和堿性清洗劑稀釋后形成，稀釋后溶液質量分數為3.3%~10%，組成堿性清洗劑的各成分質量分數為去離子水50~60%，無機堿8~20%，螯合劑10~15%，無機助劑5~12%，有機堿5~8%。

4.如權利要求1所述的鈮酸鋰單面拋光片背面不良的返工方法，其特征在于，所述步驟c）中，晶片進行貼膜的具體過程如下：第一階段，將晶片移動到定位尋邊裝置上，通過光學儀器進行晶圓的圓心定位和尋邊；第二階段，完成圓心定位與尋邊后的晶片移動到貼膜平臺，將膜的張力控制在-100~-180Mpa，將膜通過羅拉擠壓黏貼到晶片表面；第三階段，刀片以1800~2200pps的速度沿著晶片參考邊位置將膜切割，以3400~3600pps的速度沿著晶片圓弧位置切割，刀片切割溫度60~80℃。

5.如權利要求1所述的鈮酸鋰單面拋光片背面不良的返工方法，其特征在于，所述步驟d)中，黏貼劑由雙組分環氧樹脂膠A劑和雙組分環氧樹脂膠B劑組成，其中，組成雙組份環氧樹脂膠A劑的各成分質量分數為環氧樹脂60%~70%、增韌塑劑2%~10%、填料15%~30%、發泡劑5%~15%；組成雙組份環氧樹脂膠B劑的各成分質量分數為聚硫醇30%~45%、改性氨30%、填料15%~30%、發泡助劑10%，兩者質量比分別為1~3：1，攪拌均勻得到雙組份環氧樹脂膠。

6.如權利要求1所述的鈮酸鋰單面拋光片背面不良的返工方法，其特征在于，所述步驟e）中，采用球墨鑄鐵為磨盤，磨料為由GC#2000~2500綠碳化硅粉制成的碳化硅溶液，游星輪采用不銹鋼材質，對粘合工件進行雙面研磨的具體過程如下：第一階段，手動模式下將鈮酸鋰粘合工件放入游星輪工位中，將上定盤下降進行雙面研磨前準備工作；第二階段，研磨液通過設備管路噴灑在游星輪與粘合工件上，上定盤轉速3rpm~8rpm，下定盤轉速10rpm~25rpm，中心齒輪轉速5rpm~10rpm三者同時旋轉進行加工；第三階段，粘合工件在游星輪與研磨液的共同作用下進行雙面研磨，壓力3~6Kg/片，總研磨量10~20μm。

7.如權利要求1所述的鈮酸鋰單面拋光片背面不良的返工方法，其特征在于，所述步驟f)中，所用酸性清洗溶液由將水和酸性清洗劑稀釋后形成，稀釋后溶液質量分數為3.3%~10%，組成酸性清洗劑的各成分質量分數為超純水24~54%，A-羥基羧酸10~15%，聚丙烯酸10~20%，聚氧乙烯月桂醚羧酸5~10%，1,2,3-丙三醇10~15%，D-葡萄糖5~20%，低聚物癸基辛基苷5~20%，動物膠1~5%。

8.如權利要求1所述的鈮酸鋰單面拋光片背面不良的返工方法，其特征在于，所述步驟f)中，采用超聲清洗方式，超聲頻率為28~200Khz，清洗溫度25~35℃，清洗時長30~50min，將清洗后粘合工件放入30~40℃的熱水中浸泡20~40min，將粘合工件的PET復合膜剝離。