[發明專利]探針單元

在審

• 申請號: 202210620068.4
• 申請日: 2022-06-02
• 公開（公告）號: CN115436775A
• 公開（公告）日: 2022-12-06
• 發明（設計）人: 成田聰;原子翔;福士樹希也
• 申請（專利權）人: 日本麥可羅尼克斯股份有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/073;G01R1/067
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 湯國華

本發明提供一種探針單元，即便觸頭對高頻電路的接合位置發生偏移也能使觸頭的自由長度固定，從而能穩定地接觸電極，提高測定品質。本發明的探針單元具備：同軸連接器，其安裝于主體部，經由同軸電纜與測試器之間收發電信號；高頻電路，其與同軸連接器連接而傳輸電信號；多個觸頭，它們的頂端部電性接觸被檢查體的電極，與高頻電路之間收發電信號；以及底座，其介存于觸頭與高頻電路之間，底座以各觸頭的自由長度變為規定長度的方式分別設置于觸頭上。

技術領域

本發明涉及探針單元，例如可以運用于檢查半導體集成電路的電特性的檢查裝置中使用的探針單元。

背景技術

例如，在檢查高頻電路的電特性的情況下，會使用連接于同軸電纜的高頻探針(參考專利文獻1)。

專利文獻1的記載技術揭示的是高頻探針的構成，揭示了在信號線與GND線之間具備中空結構這一內容。

【現有技術文獻】

【專利文獻】

【專利文獻1】日本專利特開2011-196821號公報

發明內容

【發明要解決的問題】

另外，被檢查體的電極焊盤有高度的偏差。因此，將觸頭設為懸臂型探針，由此，借助過驅動使得觸頭發生彈性變形，所以，即便有高度的偏差，也能接觸電極焊盤。

然而，在對高頻電路接合觸頭時，若觸頭的接合位置發生偏移，則懸臂型觸頭的自由長度發生變化，從而導致觸頭的壓力的大小發生偏差。結果，觸頭不會良好地接觸電極焊盤，對測定品質產生不良影響。

因此，鑒于上述問題，需要一種即便觸頭對高頻電路的接合位置發生偏移也能使觸頭的自由長度固定、能夠穩定地接觸電極、能夠提高測定品質的探針單元。

【解決問題的技術手段】

為解決該問題，本發明的探針單元的特征在于，具備：同軸連接器，其安裝于主體部，經由同軸電纜與測試器之間收發電信號；高頻電路，其與同軸連接器連接而傳輸電信號；多個觸頭，它們的頂端部電性接觸被檢查體的電極，與高頻電路之間收發電信號；以及底座，其介存于觸頭與高頻電路之間，底座以各觸頭的自由長度變為規定長度的方式分別設置于觸頭上。

【發明的效果】

根據本發明，能使觸頭的自由長度固定，能夠穩定地接觸電極，從而能提高測定品質。

附圖說明

圖1為圖2中的部分A的局部放大圖。

圖2為表示第1實施方式的探針單元的整體構成的整體構成圖。

圖3為第1實施方式的觸頭的接合結構的側視圖和仰視圖。

圖4為以往的觸頭的接合結構的側視圖和仰視圖。

圖5為說明第1實施方式中以往的觸頭接觸被檢查體的電極端子時的情形的說明圖。

圖6為以往的觸頭的接合位置發生了偏移的模型和過驅動時的應力解析圖。

圖7為表示以往的觸頭上產生的壓力與過驅動的關系的圖。

圖8為第1實施方式的觸頭的接合位置發生了偏移的模型和過驅動時的應力解析圖。

圖9為表示第1實施方式的觸頭上產生的壓力與過驅動的關系的圖。

圖10為第2實施方式的探針單元所配備的觸頭的局部放大圖和仰視圖。

具體實施方式

(A)第1實施方式

下面，一邊參考附圖，一邊對本發明的探針單元的第1實施方式進行詳細說明。

(A-1)第1實施方式的構成

圖2為表示第1實施方式的探針單元的整體構成的整體構成圖。

圖1為圖2中的部分A的局部放大圖。