[發明專利]探針單元在審
| 申請號： | 202210620068.4 | 申請日： | 2022-06-02 |
| 公開（公告）號： | CN115436775A | 公開（公告）日： | 2022-12-06 |
| 發明（設計）人： | 成田聰;原子翔;福士樹希也 | 申請（專利權）人： | 日本麥可羅尼克斯股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/28 | 分類號： | G01R31/28;G01R1/073;G01R1/067 |
| 代理公司： | 上海華誠知識產權代理有限公司 31300 | 代理人： | 湯國華 |
| 地址： | 日本國東京都武藏*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針 單元 | ||
【權利要求書】：
1.一種探針單元，其特征在于，具備：
同軸連接器，其安裝于主體部，經由同軸電纜與測試器之間收發電信號；
高頻電路，其與所述同軸連接器連接而傳輸電信號；
多個觸頭，它們的頂端部電性接觸被檢查體的電極，與所述高頻電路之間收發電信號；以及
底座，其介存于所述觸頭與所述高頻電路之間，
所述底座以所述各觸頭的自由長度變為規定長度的方式分別設置于所述觸頭上。
2.根據權利要求1所述的探針單元，其特征在于，
各所述觸頭為懸臂型觸頭。
3.根據權利要求1所述的探針單元，其特征在于，
各所述觸頭分別與所述底座一體地形成。
4.根據權利要求1～3中任一項所述的探針單元，其特征在于，
各所述觸頭形成有作為通孔的空間域，具有所述空間域周圍的第1緣部和第2緣部，以所述第1緣部和所述第2緣部的寬度變為規定長度的方式形成所述空間域。
5.根據權利要求1～3中任一項所述的探針單元，其特征在于，
所述多個觸頭具有作為信號線的觸頭和作為接地線的觸頭。
6.根據權利要求4所述的探針單元，其特征在于，
所述多個觸頭具有作為信號線的觸頭和作為接地線的觸頭。
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