[發明專利]鐵環角度調節機構及鐵環轉移裝置在審
| 申請號: | 202210568824.3 | 申請日: | 2022-05-24 |
| 公開(公告)號: | CN114883239A | 公開(公告)日: | 2022-08-09 |
| 發明(設計)人: | 沈杰;周穎達;劉鋒強 | 申請(專利權)人: | 矽電半導體設備(深圳)股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 518172 廣東省深圳市龍崗區龍城街*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 鐵環 角度 調節 機構 轉移 裝置 | ||
1.一種鐵環角度調節機構,所述鐵環承載有LED晶粒,其特征在于:所述鐵環轉移機構包括,
設置有承載平面的角度調節機構,能夠將放置于承載平面的鐵環通過旋轉進行角度調節;所述角度調節機構還包括連接于承載平面的升降組件,用于實現對承載平面高度調節;
設置有調位頂桿的支撐部分布于角度調節機構沿水平方向兩側,且支撐部的距離小于鐵環直徑;所述調位頂桿沿豎直方向延伸并分別連接有直線驅動部,使調位頂桿能夠在水平方向運動;當鐵環放置于支撐部時,直線驅動部使調位頂桿運動并止抵于鐵環邊沿,從而使鐵環的中心于承載平面的旋轉中心重合。
2.根據權利要求1所述的鐵環角度調節機構,其特征在于:
所述承載平面為設置有吸附孔的平面。
3.根據權利要求1所述的鐵環角度調節機構,其特征在于:
所述支撐部設置有限位口,所述調位頂桿部分容納于限位口并在直線驅動部作用下沿限位口滑動。
4.根據權利要求1所述的鐵環角度調節機構,其特征在于:
所述調位頂桿為多個,并通過安裝板連接于直線驅動部;所述多個調位頂桿沿承載平面的旋轉中心弧形分布。
5.根據權利要求4所述的鐵環角度調節機構,其特征在于:
所述直線驅動部為直線氣缸。
6.一種鐵環轉移裝置,其特征在于:所述鐵環轉移裝置設置有上述權利要求1-5任意一項所述的鐵環角度調節機構,
所述鐵環轉移裝置還包括移料組件,所述移料組件包括夾取裝置及直線導軌,所述夾取裝置連接于直線導軌并能夠到達支撐部。
7.根據權利要求6所述的鐵環轉移裝置,其特征在于:
所述支撐部平行于直線導軌。
8.根據權利要求7所述的鐵環轉移裝置,其特征在于:
所述支撐部設置有鐵環預置部,所述鐵環預置部遠離角度調節機構。
9.根據權利要求8所述的鐵環轉移裝置,其特征在于:
所述鐵環預置部設置有限位部,所述限位部用于放置鐵環,使夾取裝置能夠將鐵環轉移。
10.根據權利要求9所述的鐵環轉移裝置,其特征在于:
所述鐵環轉移裝置還包括鐵環翻轉部,所述鐵環翻轉部包括,
旋轉驅動部,所述旋轉驅動部輸出軸軸線水平設置;
樞接于旋轉驅動部輸出軸的鐵環固定部,使鐵環固定部能夠在旋轉驅動部控制下翻轉,并將鐵環翻轉于鐵環預置部。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





