[發明專利]光罩版夾取方法在審
| 申請號： | 202210568338.1 | 申請日： | 2022-05-23 |
| 公開（公告）號： | CN114906531A | 公開（公告）日： | 2022-08-16 |
| 發明（設計）人： | 孫宏 | 申請（專利權）人： | 上海圖靈智算量子科技有限公司 |
| 主分類號： | B65G7/12 | 分類號： | B65G7/12;B65G49/06 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201203 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光罩版夾取 方法 | ||
1.一種光罩版夾取方法，用于夾住光罩版，其特征在于，所述光罩版夾取方法包括：
S10：將光罩版夾取裝置的夾塊卡裝至所述光罩版的一個側邊；
S20：利用光罩版夾取裝置的鎖緊件將所述夾塊固定至所述光罩版；
S30：通過所述光罩版夾取裝置移動所述光罩版。
2.如權利要求1所述的光罩版夾取方法，其特征在于，所述夾塊包括相對間隔設置的兩個夾片，兩個所述夾片之間形成容置槽，所述光罩版的側邊插設于所述容置槽，步驟S10之前還包括：調節所述鎖緊件，以使所述夾塊的容置曹的寬度大于所述光罩版的厚度。
3.如權利要求2所述的光罩版夾取方法，其特征在于，所述光罩版夾取裝置還包括防滑件，所述防滑件設于所述夾片與所述夾塊之間，所述防滑件貼設于所述夾片的內側面，步驟S10還包括：所述光罩版的側邊與所述防滑件的邊緣相對齊。
4.如權利要求1所述的光罩版夾取方法，其特征在于，步驟S10還包括：所述光罩版夾取裝置包括多個所述夾塊，多個所述夾塊順次間隔卡裝至所述光罩版的一個側邊。
5.如權利要求1所述的光罩版夾取方法，其特征在于，步驟S20還包括：所述光罩版夾取裝置包括多個與所述夾塊相應設置的所述鎖緊件，多個所述鎖緊件將相應的所述夾塊固定至所述光罩版。
6.如權利要求1所述的光罩版夾取方法，其特征在于，所述光罩版夾取裝置還包括握持件，所述握持件穿設于所述夾塊，步驟S30還包括：通過所述握持件移動所述夾塊。
7.如權利要求6所述的光罩版夾取方法，其特征在于，步驟S10還包括：所述握持件穿入所述夾塊的插孔。
8.如權利要求6所述的光罩版夾取方法，其特征在于，步驟S30還包括：所述握持件穿入所述夾塊的插孔。
9.如權利要求6所述的光罩版夾取方法，其特征在于，所述握持件穿入所述夾塊的插孔后，利用固定件將所述握持件與所述夾塊固定。
10.如權利要求1-9中任意一項所述的光罩版夾取方法，其特征在于，所述光罩版包括短側邊及長側邊，步驟S10中，將光罩版夾取裝置的夾塊卡裝至所述光罩版的長側邊。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于上海圖靈智算量子科技有限公司，未經上海圖靈智算量子科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202210568338.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
