[發(fā)明專利]光罩版夾取方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210568338.1
• 申請日: 2022-05-23
• 公開（公告）號: CN114906531A
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫宏
• 申請（專利權(quán)）人: 上海圖靈智算量子科技有限公司
• 主分類號: B65G7/12
• 分類號: B65G7/12;B65G49/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明公開了一種光罩版夾取方法，用于夾住光罩版，所述光罩版夾取方法包括：S10：將光罩版夾取裝置的夾塊卡裝至所述光罩版的一個側(cè)邊；S20：利用光罩版夾取裝置的鎖緊件將所述夾塊固定至所述光罩版；S30：通過所述光罩版夾取裝置移動所述光罩版。先利用夾塊夾住光罩版，隨后利用鎖緊件作用夾塊，從而使夾塊夾住并移動光罩版，可以避免光罩版意外滑落，進而避免光罩版摔碎報廢。操作人員通過光罩版夾取裝置操作光罩版，能夠避免雙手直接接觸光罩版，進而避免光罩版留下手指印，避免造成光罩版玻璃污染，也能避免光罩版玻璃傷到操作人員的手。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電子設(shè)備制造領(lǐng)域，特別涉及一種光罩版夾取方法。

背景技術(shù)

平板顯示器(FPD)及觸摸屏(TP)都是重要的電子部件。在制造平板顯示器及觸摸屏時通常會有曝光工站。曝光工站內(nèi)設(shè)有光罩版。光罩版常常面臨更換、周轉(zhuǎn)或移動等操作。操作人員通常可以直接用雙手抓住光罩版玻璃的兩端，然后對光罩版進行操作。在操作過程中，操作人員極易傷到手。同時，操作人員的手極易在光罩版兩端留下指印，該指印會造成光罩版玻璃版污染。另外，操作人員雙手直接拿去光罩版，容易造成光罩版滑落，光罩版有摔碎報廢的風險。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中操作人員雙手直接抓住光罩版易造成光罩版滑落的上述缺陷，提供一種光罩版夾取方法。

本發(fā)明是通過下述技術(shù)方案來解決上述技術(shù)問題：

一種光罩版夾取方法，用于夾住光罩版，所述光罩版夾取方法包括：

S10：將光罩版夾取裝置的夾塊卡裝至所述光罩版的一個側(cè)邊；

S20：利用光罩版夾取裝置的鎖緊件將所述夾塊固定至所述光罩版；

S30：通過所述光罩版夾取裝置移動所述光罩版。

在本方案中，通過采用以上方法，先利用夾塊夾住光罩版，隨后利用鎖緊件作用夾塊，從而使夾塊夾住并移動光罩版，可以避免光罩版意外滑落，進而避免光罩版摔碎報廢。操作人員通過光罩版夾取裝置操作光罩版，能夠避免雙手直接接觸光罩版，進而避免光罩版留下手指印，避免造成光罩版玻璃污染，也能避免光罩版玻璃傷到操作人員的手。

較佳地，所述夾塊包括相對間隔設(shè)置的兩個夾片，兩個所述夾片之間形成容置槽，所述光罩版的側(cè)邊插設(shè)于所述容置槽，步驟S10之前還包括：調(diào)節(jié)所述鎖緊件，以使所述夾塊的容置曹的寬度大于所述光罩版的厚度。

在本方案中，通過采用以上方法，容置曹的寬度大于光罩版的厚度，便于夾塊更好地安裝至光罩版。

較佳地，所述光罩版夾取裝置還包括防滑件，所述防滑件設(shè)于所述夾片與所述夾塊之間，所述防滑件貼設(shè)于所述夾片的內(nèi)側(cè)面，步驟S10還包括：所述光罩版的側(cè)邊與所述防滑件的邊緣相對齊。

較佳地，步驟S10還包括：所述光罩版夾取裝置包括多個所述夾塊，多個所述夾塊順次間隔卡裝至所述光罩版的一個側(cè)邊。

在本方案中，通過采用以上方法，多個夾塊可以間隔夾住光罩版，從而能夠進一步提高夾持光罩版的穩(wěn)定性及可靠性，避免光罩版意外脫落。

較佳地，步驟S20還包括：所述光罩版夾取裝置包括多個與所述夾塊相應(yīng)設(shè)置的所述鎖緊件，多個所述鎖緊件將相應(yīng)的所述夾塊固定至所述光罩版。

在本方案中，通過采用以上方法，多個鎖緊件可以固定夾塊，從而能夠進一步提高夾持光罩版的穩(wěn)定性及可靠性，避免光罩版意外脫落。

較佳地，所述光罩版夾取裝置還包括握持件，所述握持件穿設(shè)于所述夾塊，步驟S30還包括：通過所述握持件移動所述夾塊。

在本方案中，通過采用以上方法，通過握持件移動夾塊，操作方便。

較佳地，步驟S10還包括：所述握持件穿入所述夾塊的插孔。