[發(fā)明專利]用于芯片的多探針測試裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210567113.4
• 申請日: 2022-05-24
• 公開（公告）號: CN114660442B
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃建軍;吳永紅;趙山;胡海洋
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州聯(lián)訊儀器有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/04;G01R1/073;G01R1/02;G01M11/00
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 王健

1.一種用于芯片的多探針測試裝置，包括：基板（1）、安裝于基板（1）上表面的測試臺（2）、安裝于基板（1）外側(cè)的驅(qū)動支架（3）、安裝于驅(qū)動支架（3）上并位于測試臺（2）上方的至少三個探針組件（4）和測試組件（5），其特征在于：所述測試組件（5）包括通過一支座（501）安裝于驅(qū)動支架（3）上的光電探測器（502），位于測試臺（2）外側(cè)的所述光電探測器（502）的收光面朝向測試臺（2），所述光電探測器（502）的收光面與測試臺（2）之間還設(shè)置有一棱鏡（503），所述棱鏡（503）用于將來自測試臺（2）上的待測試芯片發(fā)出的發(fā)散光收集至光電探測器（502）的收光區(qū)域內(nèi)；

所述探針組件（4）包括：與驅(qū)動支架（3）連接的座體（6）和安裝于座體（6）上的探針（7），所述座體（6）一端的上表面開有一通孔（8），傾斜設(shè)置的所述通孔（8）的上端位于通孔（8）的下端與座體（6）另一端之間，一簧片（9）的連接部（901）與座體（6）另一端的上表面固定連接，延伸至通孔（8）上方的所述簧片（9）的主體部（902）上開設(shè)有一位于其連接部（901）與座體（6）上的通孔（8）之間的安裝通孔（10）；

當(dāng)所述簧片（9）的主體部（902）向上折彎時，所述安裝通孔（10）遠離連接部（901）的一端與傾斜的通孔（8）共線且下端自通孔（8）內(nèi)穿出的所述探針（7）的上端穿入安裝通孔（10）內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于芯片的多探針測試裝置，其特征在于：所述驅(qū)動支架（3）進一步包括：兩個平行設(shè)置的立桿（301）、連接于兩個立桿（301）上端之間的安裝板（302）和連接于兩個立桿（301）下端之間的連接板（303），所述測試組件（5）安裝于安裝板（302）的上表面，4個所述探針組件（4）依次安裝于安裝板（302）的上表面并平均分布于測試組件（5）兩側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于芯片的多探針測試裝置，其特征在于：所述驅(qū)動支架（3）的立桿（301）與基板（1）之間豎直設(shè)置有一安裝于基板（1）上的固定板（12），所述固定板（12）下部安裝有一電機（13），此電機（13）的輸出軸上安裝有一沿豎直方向設(shè)置的絲桿（14），一套裝于絲桿（14）上的絲桿螺母（15）與驅(qū)動支架（3）的連接板（303）連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于芯片的多探針測試裝置，其特征在于：所述絲桿（14）兩側(cè)并位于立桿（301）與固定板（12）之間各設(shè)置有一滑軌（16），每根所述立桿（301）通過至少兩個滑塊（17）與對應(yīng)的滑軌（16）活動連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于芯片的多探針測試裝置，其特征在于：所述安裝通孔（10）為沿簧片（9）主體部（902）的長度方向延伸的條形通孔。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于芯片的多探針測試裝置，其特征在于：所述簧片（9）的連接部（901）與座體（6）之間通過至少兩根螺栓固定連接。