[發(fā)明專(zhuān)利]光罩版清潔裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210563067.0
• 申請(qǐng)日: 2022-05-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114995052A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫宏
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海圖靈智算量子科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F1/82
• 分類(lèi)號(hào): G03F1/82
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種光罩版清潔裝置，用于清潔光罩版，其特征在于，所述光罩版清潔裝置包括：

機(jī)架；

第一槽，所述第一槽設(shè)于所述機(jī)架，所述第一槽用于盛裝清洗藥液，所述光罩版浸入清洗藥液；

第二槽，所述第二槽設(shè)于所述機(jī)架，第二槽與所述第一槽間隔設(shè)置，所述第二槽用于沖洗所述光罩版。

2.如權(quán)利要求1所述的光罩版清潔裝置，其特征在于，所述光罩版清潔裝置還包括簾部，所述簾部設(shè)于所述第一槽，所述簾部用于噴出清洗液以對(duì)所述光罩版沖洗。

3.如權(quán)利要求2所述的光罩版清潔裝置，其特征在于，所述簾部包括順次相連通的進(jìn)管、儲(chǔ)液腔及出口，清洗液經(jīng)所述進(jìn)管流入所述儲(chǔ)液腔，清洗液經(jīng)所述出口噴至所述光罩版。

4.如權(quán)利要求3所述的光罩版清潔裝置，其特征在于，所述出口的高度與所述光罩版靠近所述出口的側(cè)邊的高度相應(yīng)；

和/或，所述出口的長(zhǎng)度大于所述光罩版靠近所述出口的側(cè)邊的長(zhǎng)度；

和/或，所述進(jìn)管包括干管及若干支管，所述干管通過(guò)所述支管與所述儲(chǔ)液腔相連通，若干所述支管沿所述儲(chǔ)液腔的長(zhǎng)度方向均勻間隔設(shè)置。

5.如權(quán)利要求1所述的光罩版清潔裝置，其特征在于，所述第一槽的底面與水平面的夾角的范圍為7°-25°；所述第一槽的底面沿所述光罩版放入的方向向下傾斜；

所述第二槽的底面與水平面的夾角的范圍為7°-25°；所述第二槽的底面沿所述光罩版放入的方向向下傾斜。

6.如權(quán)利要求1所述的光罩版清潔裝置，其特征在于，所述光罩版清潔裝置還包括若干支撐件，若干所述支撐件間隔設(shè)于所述第一槽的底部，所述光罩版放置于所述支撐件的上側(cè)面；

或者，所述支撐件的上側(cè)面設(shè)于防滑臺(tái)階；

和/或，所述光罩版清潔裝置還包括矩形槽，所述矩形槽設(shè)于所述第一槽的側(cè)面；

和/或，所述光罩版清潔裝置還包括圓形槽，所述圓形槽設(shè)于所述第一槽的側(cè)面。

7.如權(quán)利要求1所述的光罩版清潔裝置，其特征在于，所述光罩版清潔裝置還包括沖洗口，所述沖洗口設(shè)于所述第二槽，所述沖洗口用于流出沖洗液。

8.如權(quán)利要求1所述的光罩版清潔裝置，其特征在于，所述光罩版清潔裝置還包括第一排廢管道，所述第一排廢管道用于將所述第一槽內(nèi)的液體排放置所述光罩版清潔裝置的外部；

和/或，所述光罩版清潔裝置還包括第二排廢管道，所述第二排廢管道用于將所述第二槽內(nèi)的液體排放置所述光罩版清潔裝置的外部。

9.如權(quán)利要求1所述的光罩版清潔裝置，其特征在于，所述光罩版清潔裝置還包括抽氣組件，所述抽氣組件設(shè)于所述機(jī)架的頂部，所述第一槽及所述第二槽的上方形成操作空間，所述抽氣組件用于將所述操作空間內(nèi)的氣體排放置所述光罩版清潔裝置的外部。

10.如權(quán)利要求1-8中任意一項(xiàng)所述的光罩版清潔裝置，其特征在于，所述光罩版清潔裝置還包括通信連接的第一腳踏操作部、第一控制部及第一執(zhí)行部，所述第一腳踏操作部設(shè)于靠近所述第一槽的地面，所述第一腳踏操作部用于向所述第一控制部發(fā)出開(kāi)啟信號(hào)；所述第一控制部用于接收所述開(kāi)啟信號(hào)，所述第一控制部還用于向所述第一執(zhí)行部發(fā)出啟動(dòng)信號(hào)；所述第一執(zhí)行部用于接收所述啟動(dòng)信號(hào)，所述第一執(zhí)行部還用于打開(kāi)所述第一槽的簾部；

和/或，所述光罩版清潔裝置還包括通信連接的第二腳踏操作部、第二控制部及第二執(zhí)行部，所述第二腳踏操作部設(shè)于靠近所述第二槽的地面，所述第二腳踏操作部用于向所述第二控制部發(fā)出開(kāi)啟信號(hào)；所述第二控制部用于接收所述開(kāi)啟信號(hào)，所述第二控制部還用于向所述第二執(zhí)行部發(fā)出啟動(dòng)信號(hào)；所述第二執(zhí)行部用于接收所述啟動(dòng)信號(hào)，所述第二執(zhí)行部還用于打開(kāi)所述第二槽的沖洗口。