[發明專利]一種晶片自扶正固晶平臺

在審

• 申請號: 202210558440.3
• 申請日: 2022-05-20
• 公開（公告）號: CN115066170A
• 公開（公告）日: 2022-09-16
• 發明（設計）人: 胡國俊;奚衍東
• 申請（專利權）人: 翼龍半導體設備（無錫）有限公司
• 主分類號: H05K13/00
• 分類號: H05K13/00;H05K13/04;H05K3/30
• 代理公司: 長沙大珂知識產權代理事務所(普通合伙) 43236
• 代理人: 劉若蘭

1.一種晶片自扶正固晶平臺，其特征在于，包括工作臺(2)以及位于工作臺(2)上的鍵合臂(1)、點膠臂(3)、晶片臺(8)和PCB板放置臺(9)和負壓膠箱(10)，所述鍵合臂(1)和點膠臂(3)固定設置于移動座(4)上，所述移動座(4)與工作臺(2)活動連接，所述晶片臺(8)和PCB板放置臺(9)位于移動座(4)的不同側；

所述鍵合臂(1)底部設置用于吸附晶片的負壓通道(11)，所述負壓通道(11)的進氣端設置負壓貼合板，所述負壓貼合板的外部設置與負壓貼合板同圓心的扶正環(12)，所述扶正環(12)上設置用于被吸附于負壓貼合板上的晶片扶正的扶正油缸(14)，所述扶正油缸(14)均勻環布于扶正環(12)底部，所述扶正油缸(14)自由端設置接觸頭(15)，所述接觸頭(15)設置用于膠液吸附的負壓吸嘴；

所述負壓通道(11)和負壓吸嘴的負壓源為同一個。

2.根據權利要求1所述的晶片自扶正固晶平臺，其特征在于，所述扶正油缸(14)端部的旋轉套筒(13)固定套接于扶正環(12)上的扶正軸(16)下端，所述扶正軸(16)的上端固定連接搖桿(19)，所述搖桿(19)通過銷軸(18)與扶正環(12)旋轉連接，搖桿(19)的頂部滑動鉸接搖動油缸(17)的工作端，搖動油缸(17)固定連接所述扶正環(12)，所述搖動油缸(17)的軸線與扶正環(12)的軸線垂直設置；

扶正油缸(14)處于扶正狀態時，搖桿(19)的軸線與扶正環(12)的軸線平行。

3.根據權利要求2所述的晶片自扶正固晶平臺，其特征在于，所述扶正油缸(14)包括缸體(141)、活塞(142)、活動桿(143)、負壓管(144)和導液管(145)，所述活塞(142)位于缸體(141)內部并與缸體(141)的側壁滑動密封連接，所述活動桿(143)的一端貫穿缸體(141)與活塞(142)固定連接，活動桿(143)的另一端固定連接接觸頭(15)；

所述負壓管(144)依次貫穿接觸頭(15)、活動桿(143)和活塞(142)，所述導液管(145)的一端套于負壓管(144)的內部并與導液管(145)滑動密封連接，導液管(145)的另一端延伸至缸體(141)外部并與負壓膠箱(10)連接。

4.根據權利要求3所述的晶片自扶正固晶平臺，其特征在于，所述負壓膠箱(10)的內部設置隔離板(101)，所述隔離板(101)的邊部與負壓膠箱(10)的內部不完全接觸；

所述隔離板(101)上部空間通過導氣管(103)與負壓源連接，所述隔離板(10)下部空間的上部連接導液管(145)，隔離板(10)下部空間底部連接出液管(102)。

5.根據權利要求4所述的晶片自扶正固晶平臺，其特征在于，在鍵合時，所述負壓管(144)對晶片邊部溢出的膠液進行吸取，在進行膠液吸取時，接觸頭(15)沿著晶片的邊部進行行走；

所述接觸頭(15)在行走過程中，接觸頭(15)吸附端、扶正油缸(14)和旋轉套筒(13)的軸心之間的距離L₁與旋轉套筒(13)的旋轉角度ɑ滿足以下關系：

L₁/＝L₀*sinβ/sinɑ

其中，L₀為接觸頭(15)接觸晶片邊的長度，所述β為旋轉套筒(13)的軸心與接觸頭(15)接觸晶片邊的端點連線與對應晶片邊之間的夾角。

6.根據權利要求1、2、3、4或者5所述的晶片自扶正固晶平臺，其特征在于，所述負壓貼合板上設置孔徑不同且交錯排列的負壓孔，所述負壓通道(11)的內部設置用于測量氣壓的氣壓測量儀。

7.根據權利要求6所述的晶片自扶正固晶平臺，其特征在于，所述負壓貼合板包括外貼合環(111)和內貼合塊(112)，所述負壓通道(11)內部設置用于推動內貼合塊(112)的分離氣缸(113)。

8.根據權利要求7所述的晶片自扶正固晶平臺，其特征在于，所述工作臺(2)的上方設置橫向滑臺(5)，所述橫向滑臺(5)與移動座(4)滑動連接，所述橫向滑臺(5)通過豎直氣缸(6)與工作臺(2)在豎直方向滑動連接，所述豎直氣缸(6)通過縱向氣缸(7)與工作臺(2)在縱向滑動連接。