[發明專利]一種大尺寸襯底拋光用白墊及其生產工藝

有效

• 申請號: 202210553914.5
• 申請日: 2022-05-20
• 公開（公告）號: CN114918823B
• 公開（公告）日: 2023-08-25
• 發明（設計）人: 李加海;楊慧明;李元祥
• 申請（專利權）人: 安徽禾臣新材料有限公司
• 主分類號: B24B37/11
• 分類號: B24B37/11;B24D3/00;B24D18/00
• 代理公司: 北京和聯順知識產權代理有限公司 11621
• 代理人: 朱守鑫

1.一種大尺寸襯底拋光用白墊，包括第一拋光白墊(1)、第二拋光白墊(2)和第三拋光白墊(3)，其特征在于：所述第一拋光白墊(1)、第二拋光白墊(2)和第三拋光白墊(3)之間的位置平行，且所述第一拋光白墊(1)與第二拋光白墊(2)之間的距離和第二拋光白墊(2)與第三拋光白墊(3)之間的距離相同，且所述第二拋光白墊(2)與第三拋光白墊(3)之間設置有第一拋光墊連接板(4)，所述第一拋光墊連接板(4)的兩側分別與第二拋光白墊(2)的一側和第三拋光白墊(3)的一側垂直相交，所述第一拋光白墊(1)與第二拋光白墊(2)之間設置有第二拋光墊連接板(5)，所述第二拋光墊連接板(5)的兩側分別與第一拋光白墊(1)的一側和第二拋光白墊(2)的一側垂直相交，所述第一拋光墊連接板(4)內部的兩端和第二拋光墊連接板(5)內部的兩端均安裝有壓縮彈簧桿(12)，通過壓縮彈簧桿(12)的壓力，將第一拋光墊連接板(4)和第二拋光墊連接板(5)與第一拋光白墊(1)、第二拋光白墊(2)和第三拋光白墊(3)之間連接處的強度提升；

所述第二拋光白墊(2)的前端面和后端面分別設置有第一拋光凹槽(201)和第二拋光凹槽(202)，所述第一拋光凹槽(201)和第二拋光凹槽(202)均與第二拋光白墊(2)設置為一體成型結構，所述第三拋光白墊(3)的前端面和后端面均設置有第三拋光凹槽(301)，所述第三拋光凹槽(301)與第三拋光白墊(3)設置為一體成型結構；

所述第三拋光凹槽(301)的深度大于第二拋光凹槽(202)的深度，所述第二拋光凹槽(202)的深度大于第一拋光凹槽(201)的深度，所述第一拋光白墊(1)與第二拋光白墊(2)之間設置有第一拋光槽(6)，所述第二拋光白墊(2)與第三拋光白墊(3)之間設置有第二拋光槽(7)。

2.根據權利要求1所述的一種大尺寸襯底拋光用白墊，其特征在于：所述第一拋光白墊(1)的內部中心設置有安裝口(101)，所述安裝口(101)的外周圍設置有定位螺栓孔(102)，所述定位螺栓孔(102)和安裝口(101)均與第一拋光白墊(1)設置為一體結構，且所述定位螺栓孔(102)和安裝口(101)用于連接固定半導體拋光設備，所述第一拋光墊連接板(4)的內部中心設置有第一固定孔(401)，所述第二拋光墊連接板(5)的內部中心設置有第二固定孔(501)，所述第一固定孔(401)和第二固定孔(501)用于連接固定拋光墊主體。

3.根據權利要求2所述的一種大尺寸襯底拋光用白墊，其特征在于：所述第一拋光白墊(1)、第二拋光白墊(2)和第三拋光白墊(3)均包括有毛氈凹槽(13)、固性聚酯層(14)和拋光基圓(16)，所述毛氈凹槽(13)的外表面設置有拋光基圓(16)，所述拋光基圓(16)設置有若干個，所述毛氈凹槽(13)設置在第一拋光白墊(1)、第二拋光白墊(2)和第三拋光白墊(3)的前端面和后端面與第一拋光白墊(1)、第二拋光白墊(2)和第三拋光白墊(3)設置為一體成型結構，所述固性聚酯層(14)設置在第一拋光白墊(1)、第二拋光白墊(2)和第三拋光白墊(3)的內部中心，若干個所述拋光基圓(16)均布排列在毛氈凹槽(13)的外表面。

4.根據權利要求3所述的一種大尺寸襯底拋光用白墊，其特征在于：所述第一拋光墊連接板(4)和第二拋光墊連接板(5)的內部均設置有亞克力高韌性擠出板(15)，所述亞克力高韌性擠出板(15)的兩端均與固性聚酯層(14)連接，所述壓縮彈簧桿(12)貫穿亞克力高韌性擠出板(15)與亞克力高韌性擠出板(15)固定連接，所述亞克力高韌性擠出板(15)用于提高第一拋光墊連接板(4)和第二拋光墊連接板(5)與第一拋光白墊(1)、第二拋光白墊(2)和第三拋光白墊(3)之間連接處的韌性。

5.根據權利要求4所述的一種大尺寸襯底拋光用白墊，其特征在于，所述固性聚酯層(14)所用原料的各成分重量份數配比如下：

聚乙烯樹脂，20-40份；

環氧樹脂，40-70份；

所述拋光基圓(16)所用原料的各成分重量份數配比如下：

納米微粉，20-35份；

環氧樹脂，30-60份；

所述亞克力高韌性擠出板(15)采用機玻璃和絲網混合印刷制得的亞克力板材。

6.一種根據權利要求5所述的大尺寸襯底拋光用白墊的生產工藝，其特征在于，包括如下步驟：

步驟一：選取20-40份聚乙烯樹脂和40-70份環氧樹脂材料進行混合打漿，混合過程中添加催化劑和助劑，通過反應釜和縮聚釜反應成濃縮固性聚酯；

步驟二：選取30-60份環氧樹脂原料，將環氧樹脂原料酯化后均勻混合20-35份納米微粉，混合后放入模具中，制備出拋光基圓(16)粒子；

步驟三：將亞克力原料加熱300℃進行軟化后，表面印刷絲網均勻混合，混合后，采用擠出機擠出成型，制得亞克力高韌性擠出板(15)；

步驟四：將濃縮固性聚酯高溫加熱至130℃軟化30-45min，軟化后將亞克力高韌性擠出板(15)和濃縮固性聚酯放置在對應位置的模具中，濃縮固性聚酯與亞克力高韌性擠出板(15)的兩端加熱至350℃熱熔15-20min，熱熔過程中，在亞克力高韌性擠出板(15)的兩側插入壓縮彈簧桿(12)，快速冷卻，凝結成型；

步驟五：使用研磨機在成型后的拋光白墊外表面進行研磨，制得第一拋光凹槽(201)、第二拋光凹槽(202)和第三拋光凹槽(301)，在第一拋光凹槽(201)、第二拋光凹槽(202)和第三拋光凹槽(301)的內部蓋入均勻排列的拋光基圓(16)粒子，進行高溫加熱130℃，加熱15min后，快速貼附毛氈層，冷卻后，制得成型的拋光白墊；

步驟六：對成型后的第一拋光白墊(1)、第一拋光墊連接板(4)和第二拋光墊連接板(5)通過切割機和鉆孔機打孔，制得安裝口(101)、定位螺栓孔(102)、第一固定孔(401)和第二固定孔(501)。