[發明專利]一種光學檢測設備

在審

• 申請號: 202210542304.5
• 申請日: 2022-05-18
• 公開（公告）號: CN114778556A
• 公開（公告）日: 2022-07-22
• 發明（設計）人: 馬鐵中;王林梓;蘇永鵬;周堯;張立芳;程廣真;趙政朋
• 申請（專利權）人: 昂坤視覺（北京）科技有限公司;北京昂坤半導體設備有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/01;H01L21/66
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 何世磊

1.一種光學檢測設備，用于檢測晶圓表面缺陷，其特征在于，所述光學檢測設備包括：

支架組件；

載臺，用于承載待檢測晶圓；

第一主檢鏡頭，安裝于所述支架組件上，且所述第一主檢鏡頭的攝像端朝向待檢測晶圓背向所述載臺的一側面；

第二主檢鏡頭，安裝于所述支架組件上，且所述第二主檢鏡頭的攝像端朝向待檢測晶圓貼向所述載臺的一側面；

載臺驅動單元，安裝于所述支架組件上，用于承載且驅動所述載臺，以使所述載臺帶動待檢測晶圓在所述第一主檢鏡頭的視場范圍及所述第二主檢鏡頭的視場范圍內移動；

成像分析單元，分別與所述第一主檢鏡頭及所述第二主檢鏡頭電連接，用于獲取所述第一主檢鏡頭所拍攝的圖像，及用于獲取所述第二主檢鏡頭所拍攝的圖像；

所述第一主檢鏡頭的攝像端朝向所述第二主檢鏡頭的攝像端，且所述第一主檢鏡頭的攝像端與所述第二主檢鏡頭的攝像端沿垂直于所述載臺的支撐面的方向設置，所述載臺的支撐面具有透光結構；所述載臺驅動單元能夠驅動所述載臺沿其支撐面所在平面的x方向和/或y方向移動，以使所述載臺上的待檢測晶圓上從第一檢測位移至第二檢測位；其中，當所述載臺上的待檢測晶圓處于所述第一檢測位時，所述第一主檢鏡頭能夠獲取所述待檢測晶圓的第一上表面檢測圖，所述第二主檢鏡頭能夠獲取對應于所述第一上表面檢測圖的第一下表面檢測圖；以及當所述載臺上的待檢測晶圓處于所述第二檢測位時，所述第一主檢鏡頭能夠獲取所述待檢測晶圓異于所述第一上表面檢測圖的第二上表面檢測圖，所述第二主檢鏡頭能夠獲取對應于所述第二上表面檢測圖的第二下表面檢測圖。

2.根據權利要求1所述的光學檢測設備，其特征在于，所述支架組件包括工作臺和設于所述工作臺上的龍門架、第一支架及第二支架；所述工作臺的中部位置開設有通孔，所述第一支架經所述龍門架與所述第二支架對應設置，且兩者位于所述工作臺的上下兩側；所述第一主檢鏡頭安裝于所述第一支架上，使得所述第一主檢鏡頭朝向所述載臺上放置的待檢測晶圓的上表面；所述第二主檢鏡頭安裝于所述第二支架上，使得所述第二主檢鏡頭朝向所述載臺上放置的待檢測晶圓的下表面。

3.根據權利要求2所述的光學檢測設備，其特征在于，所述載臺驅動單元包括安裝于所述工作臺上的承載座、安裝于所述承載座上用于驅動所述載臺沿其支撐面所在平面的X軸向移動的X軸向驅動件、安裝于所述X軸向驅動件上用于驅動所述載臺沿其支撐面所在平面的Y軸向移動的Y軸向驅動件和安裝于所述Y軸向驅動件上用于定位所述載臺的定位座。

4.根據權利要求2所述的光學檢測設備，其特征在于，所述第一主檢鏡頭經第一線性滑臺模組安裝于所述第一支架上，且所述第一主檢鏡頭上設有第一位移傳感器，所述第一主檢鏡頭能夠經所述第一線性滑臺模組驅動沿著Z軸方向運動；所述第一位移傳感器用于測量所述第一主檢鏡頭與所述待檢測晶圓之間的距離，以使所述第一主檢鏡頭能夠對待檢測晶圓進行對焦。

5.根據權利要求2所述的光學檢測設備，其特征在于，所述第二主檢鏡頭經第二線性滑臺模組安裝于所述第二支架上，且所述第二主檢鏡頭上設有第二位移傳感器，所述第二主檢鏡頭經所述第二線性滑臺模組驅動沿著所述載臺的支撐面所在平面的Z軸方向運動；所述第二位移傳感器用于測量所述第二主檢鏡頭與所述待檢測晶圓之間的距離，以使所述第二主檢鏡頭能夠對待檢測晶圓進行對焦。

6.根據權利要求1所述的光學檢測設備，其特征在于，所述光學檢測設備還包括設于所述支架組件上的第一復檢鏡頭、第二復檢鏡頭，所述第一復檢鏡頭的攝像端朝向所述第二復檢鏡頭的攝像端，且所述第一復檢鏡頭的攝像端與所述第二復檢鏡頭的攝像端沿垂直于所述載臺的支撐面的方向設置；所述載臺帶動待檢測晶圓移動以使待檢測晶圓能夠進入所述第一復檢鏡頭及所述第二復檢鏡頭的視場范圍內；所述第一復檢鏡頭及所述第二復檢鏡頭分別與所述成像分析單元電連接，所述第一復檢鏡頭用于獲取待檢測晶圓背向所述載臺的一側面的第一復檢圖，所述第二復檢鏡頭用于獲取待檢測晶圓貼向所述載臺的一側面的第二復檢圖。