[發明專利]一種氨水輔助退膜方法在審
| 申請號： | 202210541743.4 | 申請日： | 2022-05-19 |
| 公開（公告）號： | CN115003042A | 公開（公告）日： | 2022-09-02 |
| 發明（設計）人： | 鄒佳祁;廖潤秋;羅練軍;王哲毅 | 申請（專利權）人： | 勝宏科技（惠州）股份有限公司 |
| 主分類號： | H05K3/06 | 分類號： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 廣東創合知識產權代理有限公司 44690 | 代理人： | 潘麗君 |
| 地址： | 516211 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 氨水 輔助 方法 | ||
1.一種氨水輔助退膜方法，其特征在于，所述方法為在基板水平通過退膜槽時，氨水在以噴淋方式對板面進行噴淋，所述噴淋方向為上下向中間噴射氨水進行輔助退膜的方法。
2.根據權利要求1所述的氨水輔助退膜方法，其特征在于，包括如下步驟，
S1：氨水保存，將氨水保存在塑料桶中；
S2：通過負壓機接入導管，將氨水通入退膜槽中，氨水在力的作用下進入退膜槽；
S3：在基板水平通過退膜槽時，氨水在堿性條件下使得氨水平衡左移釋放出部分氨氣，并在后續不斷噴進的氨水打入擠壓，氨氣不斷產生、不斷擠壓退膜藥水垂直打向板面，氨氣在板面不斷放出的同時沖擊未被腐蝕殘留的退膜藥水，完成退膜。
3.根據權利要求2所述的氨水輔助退膜方法，其特征在于，所述導管包括上導管和下導管，所述上導管和下導管分別位于所述基板的上下方向，且所述上導管和下導管的相對面均開設有噴淋孔。
4.根據權利要求3所述的氨水輔助退膜方法，其特征在于，所述上導管上的噴淋壓力為2.5-3.5kg/cm2，所述下導管上的噴淋壓力為3-4kg/cm2。
5.根據權利要求4所述的氨水輔助退膜方法，其特征在于，所述退膜藥水的溫度為40-50攝氏度。
6.根據權利要求5所述的氨水輔助退膜方法，其特征在于，所述退膜槽上設置有一排直徑約為1mm的小孔，所述小孔處設有導氣管，所述導氣管與裝有濃鹽酸的玻璃儀器連接。
7.根據權利要求6所述的氨水輔助退膜方法，其特征在于，所述玻璃儀器吸收氨氣后，加熱玻璃儀器，使玻璃儀器產生的氯化銨蒸發分解通入到氫氧化鈉溶液中，分離鹽酸和氨氣，鹽酸被氫氧化鈉吸收，氨氣被釋放出來，再通入到氨水保存塑料箱中進行循環使用。
8.根據權利要求7所述的氨水輔助退膜方法，其特征在于，所述氫氧化鈉溶液的濃度為10mol/L。
9.根據權利要求8所述的氨水輔助退膜方法，其特征在于，每隔一個小時補加5%的退膜添加劑溶液。
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