[發(fā)明專利]一種氨水輔助退膜方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210541743.4
• 申請日: 2022-05-19
• 公開（公告）號: CN115003042A
• 公開（公告）日: 2022-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄒佳祁;廖潤秋;羅練軍;王哲毅
• 申請（專利權(quán)）人: 勝宏科技（惠州）股份有限公司
• 主分類號: H05K3/06
• 分類號: H05K3/06
• 代理公司: 廣東創(chuàng)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44690
• 代理人: 潘麗君

本發(fā)明涉及一種氨水輔助退膜方法，所述方法為在基板水平通過退膜槽時，氨水在以噴淋方式對板面進(jìn)行噴淋，所述噴淋方向為上下向中間噴射氨水進(jìn)行輔助退膜的方法。具體包括如下步驟，S1：氨水保存，將氨水保存在塑料桶中；S2：通過負(fù)壓機接入導(dǎo)管，將氨水通入退膜槽中，氨水在力的作用下進(jìn)入退膜槽；S3：在基板水平通過退膜槽時，氨水在堿性條件下使得氨水平衡左移釋放出部分氨氣，并在后續(xù)不斷噴進(jìn)的氨水打入擠壓，氨氣不斷產(chǎn)生、不斷擠壓退膜藥水垂直打向板面，氨氣在板面不斷放出的同時沖擊未被腐蝕殘留的退膜藥水，完成退膜。本發(fā)明氨水輔助退膜方法具有退膜干凈、不易被腐蝕和造成殘留等優(yōu)點。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及PCB制作退膜技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種氨水輔助退膜方法。

背景技術(shù)

退膜是在曝光之后，將需要的線路上干膜進(jìn)行固化，然后退化掉沒有固化掉的干膜，再通過蝕刻等技術(shù)將裸露出的銅進(jìn)行咬蝕掉，實現(xiàn)電路制作過程，然而在退膜過程中，由于退膜液呈現(xiàn)堿性，堿性偏弱會導(dǎo)致退膜不干凈進(jìn)而導(dǎo)致蝕刻不盡，如果堿性過強，如pH超過10會導(dǎo)致線路被腐蝕，尤其在IC載板方面，其線寬線距低于50微米，甚至?xí)斐苫瘜W(xué)物質(zhì)殘留，不易被清除。

為解決上述問題，有人提出一種新式無機環(huán)保型退膜液的中國專利申請（申請?zhí)枺?017111658206），其公開了一種包含退膜加速劑的退膜液，其中，退膜加速劑為胺類化合物氨水……等中的一種或兩種以上的混合。該退膜液在退膜使用后在一定程度降低廢液的處理難度，但其退膜仍不干凈，易有殘留。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種具有退膜干凈、不易被腐蝕和造成殘留的氨水輔助退膜方法。

為了實現(xiàn)上述目的，通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)。

一種氨水輔助退膜方法，所述方法為在基板水平通過退膜槽時，氨水在以噴淋方式對板面進(jìn)行噴淋，所述噴淋方向為上下向中間噴射氨水進(jìn)行輔助退膜的方法。本發(fā)明氨水輔助退膜方法中采用的氨水為濃氨水，其在基板水平通過退膜槽時，以噴淋方式對板面上下同步噴淋，使膜加述脫離板面，實現(xiàn)有效輔助退膜。具體地，本發(fā)明采用噴淋方式從板面上下方向向中間噴淋，帶動退膜槽內(nèi)的退膜藥水垂直打向板面，由于本發(fā)明采用的是濃氨水，其在板面噴淋的過程中會不斷地?fù)]發(fā)出氨氣進(jìn)行沖擊未被腐蝕殘留的退膜藥水，且不斷放出的氨氣對固化干膜與未固化干膜的交界處具有垂直切力，其使得固化干膜邊緣更加平整垂直，對于后續(xù)工藝的蝕刻具有很好地促進(jìn)作用，使板面不僅退膜干凈，而且不易被腐蝕和造成殘留。

進(jìn)一步地，所述氨水輔助退膜方法包括如下步驟，

S1：氨水保存，將氨水保存在塑料桶中；由于氨水易揮發(fā)出氨氣，且隨溫度升高和放置時間延長而揮發(fā)率增加，而且會隨濃度的增大揮發(fā)量增加，本發(fā)明中采用的是濃氨水，為減少其保存過程中發(fā)生揮發(fā)現(xiàn)象，將氨水保存在塑料桶中，以減少或避免氨水的揮發(fā)。

S2：通過負(fù)壓機接入導(dǎo)管，將氨水通入退膜槽中，氨水在力的作用下進(jìn)入退膜槽；負(fù)壓機啟動后，氨水在負(fù)壓的作用力下，通過導(dǎo)管進(jìn)入退膜槽中，并通過導(dǎo)管噴淋至板的上下表面，噴淋過程中不斷揮發(fā)出的氨氣，揮發(fā)的氨氣不斷地沖擊板面未被腐蝕殘留的退膜藥水，且不斷放出的氨氣對固化干膜與未固化干膜的交界處具有垂直切力，其使得固化干膜邊緣更加平整垂直，對于后續(xù)工藝的蝕刻具有很好地促進(jìn)作用。

S3：在基板水平通過退膜槽時，氨水在堿性條件下使得氨水平衡左移釋放出部分氨氣，并在后續(xù)不斷噴進(jìn)的氨水打入擠壓，氨氣不斷產(chǎn)生、不斷擠壓退膜藥水垂直打向板面，氨氣在板面不斷放出的同時沖擊未被腐蝕殘留的退膜藥水，完成退膜。

進(jìn)一步地，所述導(dǎo)管包括上導(dǎo)管和下導(dǎo)管，所述上導(dǎo)管和下導(dǎo)管分別位于所述基板的上下方向所在位置，且所述上導(dǎo)管和下導(dǎo)管的相對面均開設(shè)有噴淋孔。采用包括上導(dǎo)管和下導(dǎo)管的導(dǎo)管設(shè)置，上導(dǎo)管和下導(dǎo)管分別位于基板的上下方向，使氨水在不斷地?fù)]發(fā)過程中，揮發(fā)出的氨氣不斷地向基板的上下兩面沖擊，使膜加述脫離板面，實現(xiàn)有效輔助退膜。