[發明專利]一種碳納米角修飾的高性能異質結光電探測器的制備方法

在審

• 申請號: 202210538909.7
• 申請日: 2022-05-18
• 公開（公告）號: CN114824106A
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發明（設計）人: 闞彩俠;尤海明;劉洋;姜明明
• 申請（專利權）人: 南京航空航天大學
• 主分類號: H01L51/48
• 分類號: H01L51/48;H01L51/42;H01L51/46
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種碳納米角修飾的高性能異質結光電探測器的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)將碳納米角CNHs溶于二甲基亞砜DMSO溶液中；

(2)將CNHs的DMSO膠體溶液加入到3,4-乙撐二氧噻吩：聚苯乙烯磺酸PEDOT:PSS的水溶液中；

(3)將玻璃片清洗，保持其平整干凈；

(4)挑選結晶質量優異的n-ZnO:Ga微米線；

(5)將在步驟(4)中得到的n-ZnO:Ga微米線放置在步驟(3)中得到的玻璃片基底上，并在n-ZnO:Ga微米線一端按壓In粒做電極；

(6)在步驟(5)的n-ZnO:Ga微米線另一端滴涂CNHs修飾的PEDOT:PSS溶液，烘干后，在薄膜上滴涂Ag膠做電極，即可構筑CNHs修飾PEDOT:PSS的p-n異質結基高性能光電探測器。

2.根據權利要求1所述的碳納米角修飾的高性能異質結光電探測器的制備方法，其特征在于，步驟(1)具體為：取CNHs粉末20mg，加入2～5mL DMSO溶液中，超聲分散25-35min。

3.根據權利要求1所述的碳納米角修飾的高性能異質結光電探測器的制備方法，其特征在于，步驟(2)具體為：取15～25μL CNHs的DMSO膠體溶液，加入960～1000μL PEDOT:PSS的水溶液中，超聲分散25～35min。

4.根據權利要求1所述的碳納米角修飾的高性能異質結光電探測器的制備方法，其特征在于，步驟(3)玻璃片清洗的方法為：將玻璃片置入玻璃燒杯中，倒入三氯乙烯，再放入超聲清洗儀中清洗10～20min，清洗完成后將其分別放入丙酮、乙醇、超純水中以同樣的方法清洗10～20min，之后以氮氣槍吹干。

5.根據權利要求1或4所述的碳納米角修飾的高性能異質結光電探測器的制備方法，其特征在于，所述玻璃片的尺寸為2cm*2cm。

6.根據權利要求1所述的碳納米角修飾的高性能異質結光電探測器的制備方法，其特征在于，步驟(4)所述n-ZnO:Ga微米線的挑選為：n-ZnO:Ga微米線采用CVD法制備，且在顯微鏡下觀察結晶質量完好。

7.根據權利要求1所述的碳納米角修飾的高性能異質結光電探測器的制備方法，其特征在于，步驟(5)的具體為：將n-ZnO:Ga微米線放置在玻璃片基底上，在n-ZnO:Ga微米線一端按壓In粒，In粒與n-ZnO:Ga微米線為歐姆接觸，作為異質結的陰極。

8.根據權利要求1所述的碳納米角修飾的高性能異質結光電探測器的制備方法，其特征在于，步驟(6)的具體為：取1～3μL CNHs修飾的PEDOT:PSS溶液滴涂在微米線一端，將此時的器件放入45～55℃低溫干燥箱中烘干5～10min，在烘干后的CNHs修飾PEDOT:PSS薄膜上滴涂Ag膠，作為異質結的陽極。