[發(fā)明專利]磨輪進(jìn)給裝置及硅片減薄機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210505878.5
• 申請(qǐng)日: 2022-05-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114800103A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程曄;孫慶平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州明昌正光電科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B7/22
• 分類號(hào): B24B7/22;B24B47/20;B24B47/22;B24B47/26;B24B41/047;H01L21/304
• 代理公司: 蘇州威世朋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32235
• 代理人: 孫鳳

1.一種磨輪進(jìn)給裝置，包括具有沿上下方向貫穿設(shè)置的安裝孔的固定座、沿上下方向活動(dòng)安裝于所述安裝孔內(nèi)的磨削頭，所述磨削頭包括磨輪主軸、連接于所述磨輪主軸下方的磨輪；其特征在于：所述磨輪進(jìn)給裝置還包括設(shè)于所述固定座與所述磨輪主軸之間的微調(diào)機(jī)構(gòu)，所述微調(diào)機(jī)構(gòu)包括：

第一移動(dòng)塊，所述第一移動(dòng)塊沿水平方向中的第一方向滑動(dòng)連接于所述固定座上，所述第一移動(dòng)塊中沿上下方向遠(yuǎn)離所述固定座的一側(cè)具有沿所述第一方向傾斜延伸的第一斜面；

第二移動(dòng)塊，所述第二移動(dòng)塊固定于所述磨輪主軸上，所述第二移動(dòng)塊具有與所述第一斜面相對(duì)且相平行的第二斜面，所述第二斜面與所述第一斜面沿所述第一方向滑動(dòng)連接；

限位引導(dǎo)件，設(shè)于所述第二移動(dòng)塊與所述固定座之間，使所述第二移動(dòng)塊僅能沿上下方向移動(dòng)；

第一驅(qū)動(dòng)組件，設(shè)于所述固定座與所述第一移動(dòng)塊之間以驅(qū)動(dòng)所述第一移動(dòng)塊沿所述第一方向往復(fù)移動(dòng)，在所述第一移動(dòng)塊沿所述第一方向移動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)所述第二移動(dòng)塊沿上下方向移動(dòng)。

2.如權(quán)利要求1所述的磨輪進(jìn)給裝置，其特征在于：所述第二移動(dòng)塊套設(shè)于所述磨輪主軸上。

3.如權(quán)利要求1所述的磨輪進(jìn)給裝置，其特征在于：所述微調(diào)機(jī)構(gòu)還包括設(shè)于所述第一斜面與所述第二斜面之間的至少一組第一導(dǎo)軌組件，所述第一導(dǎo)軌組件用以將所述第二斜面與所述第一斜面沿所述第一方向滑動(dòng)連接。

4.如權(quán)利要求3所述的磨輪進(jìn)給裝置，其特征在于：所述微調(diào)機(jī)構(gòu)包括至少兩組所述第一導(dǎo)軌組件，至少兩組所述第一導(dǎo)軌組件分設(shè)于所述磨輪主軸的相對(duì)兩側(cè)。

5.如權(quán)利要求1所述的磨輪進(jìn)給裝置，其特征在于：所述微調(diào)機(jī)構(gòu)還包括設(shè)于所述第一移動(dòng)塊與所述固定座之間的至少一組第二導(dǎo)軌組件，所述第二導(dǎo)軌組件將所述第一移動(dòng)塊沿所述第一方向滑動(dòng)連接于所述固定座上。

6.如權(quán)利要求5所述的磨輪進(jìn)給裝置，其特征在于：所述第一移動(dòng)塊具有沿上下方向貫穿設(shè)置的讓位孔，所述磨輪主軸穿過(guò)所述讓位孔；所述微調(diào)機(jī)構(gòu)包括至少兩組所述第二導(dǎo)軌組件，至少兩組所述第二導(dǎo)軌組件分設(shè)于所述磨輪主軸的相對(duì)兩側(cè)。

7.如權(quán)利要求1所述的磨輪進(jìn)給裝置，其特征在于：所述限位引導(dǎo)件為導(dǎo)軌組件。

8.如權(quán)利要求1所述的磨輪進(jìn)給裝置，其特征在于：所述固定座包括水平部、連接于所述水平部的一端的豎直部，所述第一方向垂直于所述豎直部所在的平面；自所述第一移動(dòng)塊靠近所述豎直部的一端向遠(yuǎn)離所述豎直部的方向，所述第一斜面向上傾斜延伸。

9.如權(quán)利要求1所述的磨輪進(jìn)給裝置，其特征在于：所述磨輪進(jìn)給裝置還包括立柱、連接于所述立柱與所述固定座之間的第二驅(qū)動(dòng)組件，所述第二驅(qū)動(dòng)組件用以驅(qū)動(dòng)所述固定座上下移動(dòng)。

10.一種硅片減薄機(jī)，其特征在于：所述硅片減薄機(jī)包括權(quán)利要求1-9中任意一項(xiàng)所述的磨輪進(jìn)給裝置。