[發明專利]顯示裝置及顯示裝置的制造方法

在審

• 申請號: 202210497547.1
• 申請日: 2022-05-09
• 公開（公告）號: CN115643778A
• 公開（公告）日: 2023-01-24
• 發明（設計）人: 徐宗吾;金長玄;鄭在祐;崔鍾勳
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H10K59/123
• 分類號: H10K59/123
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 習瑞恒;全振永

提供一種顯示裝置及顯示裝置的制造方法。所述顯示裝置包括：基板；半導體層，布置于所述基板上，并且包括第一晶體管的溝道及第二晶體管的溝道；第一絕緣層，布置于所述半導體層上；以及第一導電層，布置于所述第一絕緣層上，并且包括所述第一晶體管的柵極電極及所述第二晶體管的柵極電極，其中，所述第一晶體管的所述溝道及所述第二晶體管的所述溝道包括第一雜質離子，所述第一晶體管的所述溝道還包括與所述第一雜質離子不同的第二雜質離子。

技術領域

本發明涉及一種顯示裝置及顯示裝置的制造方法。

背景技術

隨著信息化社會的發展，對用于顯示圖像的顯示裝置的要求正以多樣的形態增加。例如，顯示裝置應用于諸如智能電話、數碼相機、膝上型計算機、導航儀以及智能電視之類的各種電子設備。

作為顯示裝置，可以使用諸如液晶顯示裝置(LCD：Liquid Crystal Display)、有機發光顯示裝置(OLED：Organic Light Emitting Display)等多種種類的顯示裝置。其中，有機發光顯示裝置利用通過電子與空穴的復合產生光的有機發光元件來顯示圖像。有機發光顯示裝置包括向有機發光元件提供驅動電流的多個晶體管。

多個晶體管中的每一個可以包括溝道區域，各個晶體管的溝道區域可以被摻雜(doping)。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種改善滯后(hysteresis)及瞬間殘像并改善開關(switching)晶體管(transistor)的特性的顯示裝置。

本發明的所要解決的技術問題不限于上述技術問題，本領域技術人員通過以下記載將清楚地理解未提及的其他技術問題。

用于解決上述技術問題的根據一實施例的顯示裝置包括：基板；半導體層，布置于所述基板上，并且包括第一晶體管的溝道及第二晶體管的溝道；第一絕緣層，布置于所述半導體層上；以及第一導電層，布置于所述第一絕緣層上，并且包括所述第一晶體管的柵極電極及所述第二晶體管的柵極電極，其中，所述第一晶體管的所述溝道及所述第二晶體管的所述溝道包括第一雜質離子，所述第一晶體管的所述溝道還包括與所述第一雜質離子不同的第二雜質離子。

所述第一雜質離子可以包括III族元素，所述第二雜質離子可以包括V族元素。

所述第一雜質離子可以包括硼(B：boron)，所述第二雜質離子可以包括磷(P：phosphorus)。

所述第一雜質離子可以包括V族元素，所述第二雜質離子可以包括III族元素。

所述第一雜質離子可以包括磷(P：phosphorus)，所述第二雜質離子可以包括硼(B：boron)。

所述第二晶體管的所述溝道可以經過氫等離子體處理。

所述第二晶體管的所述溝道的氫含量可以大于所述第一晶體管的所述溝道的氫含量。

所述第一晶體管還可以包括第一電極及第二電極，所述第二晶體管布置于所述第一晶體管的所述第二電極與所述第一晶體管的所述柵極電極之間。

所述顯示裝置還可以包括：第一電源電壓線，與所述第一晶體管的所述第一電極電連接；以及發光元件，與所述第一晶體管的所述第二電極電連接。

用于解決上述技術問題的根據一實施例的顯示裝置包括：第一電源電壓線；發光元件；第一晶體管，包括與所述第一電源電壓線電連接的第一電極、與所述發光元件電連接的第二電極、柵極電極及溝道；以及第二晶體管，布置于所述第一晶體管的所述第二電極與所述第一晶體管的所述柵極電極之間，并且包括溝道，其中，所述第一晶體管的所述溝道及所述第二晶體管的所述溝道包括第一雜質離子，所述第一晶體管的所述溝道還包括與所述第一雜質離子不同的第二雜質離子。

所述第一雜質離子可以包括III族元素，所述第二雜質離子可以包括V族元素。