[發明專利]一種多片大尺寸玻璃基板離子注入直線傳送裝置

在審

• 申請號: 202210485796.9
• 申請日: 2022-05-06
• 公開（公告）號: CN114906617A
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發明（設計）人: 劉仁杰;歐欣;彭強祥;林家杰;李燁
• 申請（專利權）人: 浙江中科尚弘離子裝備工程有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;H01J37/317;H01J37/02
• 代理公司: 上海伯瑞杰知識產權代理有限公司 31227
• 代理人: 李勤學

本發明公開了一種多片大尺寸玻璃基板離子注入直線傳送裝置，其技術方案要點是：一種多片大尺寸玻璃基板離子注入直線傳送裝置，其特征在于：包括若干依次呈嵌套設置的主動傳送軸管、若干依次呈嵌套設置的從動傳送軸管、若干分別固定于主動傳送軸管的兩端位置的主動輪、若干分別固定于從動傳送軸管的從動輪、設置于對應主動輪與從動輪之間并用于裝載大尺寸玻璃基板的傳送鏈、驅動若干傳送鏈同步移動的驅動機構，若干傳送鏈呈平行設置。本發明達到可以在真空取樣室內可連續對多個大尺寸玻璃基板注入離子，避免真空取樣室反復抽真空，提升離子注入效率，降低能源損耗。

技術領域

本發明涉及離子注入設備領域，尤其涉及到一種多片大尺寸玻璃基板離子注入直線傳送裝置。

背景技術

離子注入是指當真空中有一束離子束射向一塊固體材料時，離子束把固體材料的原子或分子撞出固體材料表面，這個現象叫做濺射；而當離子束射到固體材料時，從固體材料表面彈了回來，或者穿出固體材料而去，這些現象叫做散射；另外有一種現象是，離子束射到固體材料以后，受到固體材料的抵抗而速度慢慢減低下來，并最終停留在固體材料中的這一現象叫作離子注入。

對于大尺寸玻璃基板進行離子注入時，由于尺寸較大，同一批注入僅能注入一片玻璃基板，注入完成后，需通過低真空取樣室將玻璃基板取出，再裝載下一片玻璃基板進入離子注入腔，再進行抽真空處理，這種反復抽真空操作浪費了大量的時間，離子注入效率差。

此外，對于大的玻璃基板離子注入一般采用寬帶束離子注入機，這就要求裝載的玻璃基板能夠沿著基板寬度方向進行直線勻速運動，通過一次注入實現高均勻性玻璃基板注入。而目前還未有可同時實現多片玻璃基板在真空腔中的直線運動裝置。

因此，我們有必要對這樣一種結構進行改善，以克服上述缺陷。

發明內容

本發明的目的是提供一種多片大尺寸玻璃基板離子注入直線傳送裝置，達到可以在真空取樣室內可連續對多個大尺寸玻璃基板注入離子，避免真空取樣室反復抽真空，提升離子注入效率，降低能源損耗。

本發明的上述技術目的是通過以下技術方案實現的：一種多片大尺寸玻璃基板離子注入直線傳送裝置，其特征在于：包括若干依次呈嵌套設置的主動傳送軸管、若干依次呈嵌套設置的從動傳送軸管、若干分別固定于主動傳送軸管的兩端位置的主動輪、若干分別固定于從動傳送軸管的從動輪、設置于對應主動輪與從動輪之間并用于裝載大尺寸玻璃基板的傳送鏈、驅動若干傳送鏈同步移動的驅動機構，若干傳送鏈呈平行設置，位于外側的主動傳送軸管所固定的主動輪直徑大于位于內側的主動傳送軸管所固定的主動輪直徑，且相鄰兩個傳送鏈之間高度差大于大尺寸玻璃基板厚度，位于外側的主動傳送軸管所固定的兩個主動輪之間間距小于位于內側的主動傳送軸管所固定的兩個主動輪之間間距。

本發明進一步設置為：所述多片大尺寸玻璃基板離子注入直線傳送裝置內設置有用于抓取并搬運大尺寸玻璃基板的機械臂。

本發明進一步設置為：呈對稱設置的兩個傳送鏈之間設置有供大尺寸玻璃基板裝置的基臺，若干基臺位于同一平面位置。

本發明進一步設置為：所述基臺設置有用于夾持固定大尺寸玻璃基板的電動夾爪。

本發明進一步設置為：所述多片大尺寸玻璃基板離子注入直線傳送裝置設置有用于感應基臺進入離子注入區域的傳入傳感器、用于感應基臺前端離開離子注入區域的傳出傳感器。

本發明進一步設置為：所述驅動機構包括若干分別驅動對應的主動傳送軸管轉動的伺服電機。

本發明進一步設置為：所述驅動機構包括與若干傳送鏈固定的連接塊、驅動所述連接塊往復移動的推動結構，所述傳送鏈遠離大尺寸玻璃基板一側的部位固定連接于所述連接塊。

本發明進一步設置為：所述推動結構包括設置于所述連接塊的絲杠螺母、螺紋連接于所述絲杠螺母的絲杠、驅動所述絲杠轉動的驅動電機，所述絲杠長度方向平行與所述傳送鏈移動方向。