[發(fā)明專利]一種多片大尺寸玻璃基板離子注入直線傳送裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210485796.9
• 申請(qǐng)日: 2022-05-06
• 公開（公告）號(hào): CN114906617A
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉仁杰;歐欣;彭強(qiáng)祥;林家杰;李燁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江中科尚弘離子裝備工程有限公司
• 主分類號(hào): B65G49/06
• 分類號(hào): B65G49/06;H01J37/317;H01J37/02
• 代理公司: 上海伯瑞杰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31227
• 代理人: 李勤學(xué)

1.一種多片大尺寸玻璃基板離子注入直線傳送裝置，其特征在于：包括若干依次呈嵌套設(shè)置的主動(dòng)傳送軸管(1)、若干依次呈嵌套設(shè)置的從動(dòng)傳送軸管(2)、若干分別固定于主動(dòng)傳送軸管(1)的兩端位置的主動(dòng)輪(3)、若干分別固定于從動(dòng)傳送軸管(2)的從動(dòng)輪(4)、設(shè)置于對(duì)應(yīng)主動(dòng)輪(3)與從動(dòng)輪(4)之間并用于裝載大尺寸玻璃基板的傳送鏈(5)、驅(qū)動(dòng)若干傳送鏈(5)同步移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，若干傳送鏈(5)呈平行設(shè)置，位于外側(cè)的主動(dòng)傳送軸管(1)所固定的主動(dòng)輪(3)直徑大于位于內(nèi)側(cè)的主動(dòng)傳送軸管(1)所固定的主動(dòng)輪(3)直徑，且相鄰兩個(gè)傳送鏈(5)之間高度差大于大尺寸玻璃基板厚度，位于外側(cè)的主動(dòng)傳送軸管(1)所固定的兩個(gè)主動(dòng)輪(3)之間間距小于位于內(nèi)側(cè)的主動(dòng)傳送軸管(1)所固定的兩個(gè)主動(dòng)輪(3)之間間距。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多片大尺寸玻璃基板離子注入直線傳送裝置，其特征在于：所述多片大尺寸玻璃基板離子注入直線傳送裝置內(nèi)設(shè)置有用于抓取并搬運(yùn)大尺寸玻璃基板的機(jī)械臂。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多片大尺寸玻璃基板離子注入直線傳送裝置，其特征在于：呈對(duì)稱設(shè)置的兩個(gè)傳送鏈(5)之間設(shè)置有供大尺寸玻璃基板裝置的基臺(tái)(6)，若干基臺(tái)(6)位于同一平面位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種多片大尺寸玻璃基板離子注入直線傳送裝置，其特征在于：所述基臺(tái)(6)設(shè)置有用于夾持固定大尺寸玻璃基板的電動(dòng)夾爪(7)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種多片大尺寸玻璃基板離子注入直線傳送裝置，其特征在于：所述多片大尺寸玻璃基板離子注入直線傳送裝置設(shè)置有用于感應(yīng)基臺(tái)(6)進(jìn)入離子注入?yún)^(qū)域的傳入傳感器(8)、用于感應(yīng)基臺(tái)(6)前端離開離子注入?yún)^(qū)域的傳出傳感器(9)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多片大尺寸玻璃基板離子注入直線傳送裝置，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括若干分別驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的主動(dòng)傳送軸管(1)轉(zhuǎn)動(dòng)的伺服電機(jī)(10)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多片大尺寸玻璃基板離子注入直線傳送裝置，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括與若干傳送鏈(5)固定的連接塊(11)、驅(qū)動(dòng)所述連接塊(11)往復(fù)移動(dòng)的推動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述傳送鏈(5)遠(yuǎn)離大尺寸玻璃基板一側(cè)的部位固定連接于所述連接塊(11)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種多片大尺寸玻璃基板離子注入直線傳送裝置，其特征在于：所述推動(dòng)結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于所述連接塊(11)的絲杠螺母(13)、螺紋連接于所述絲杠螺母(13)的絲杠(12)、驅(qū)動(dòng)所述絲杠(12)轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)(14)，所述絲杠(12)長(zhǎng)度方向平行與所述傳送鏈(5)移動(dòng)方向。