[發明專利]內嵌電阻的射頻開關器件版圖結構和射頻開關器件

在審

• 申請號: 202210435151.4
• 申請日: 2022-04-24
• 公開（公告）號: CN114692556A
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發明（設計）人: 蔡文必;吳揚;林義書;魏鴻基
• 申請（專利權）人: 廈門市三安集成電路有限公司
• 主分類號: G06F30/392
• 分類號: G06F30/392
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 杜楊

本申請提供一種內嵌電阻的射頻開關器件版圖結構和射頻開關器件，通過在射頻開關器件的版圖結構內部嵌入柵極指組，并通過柵極指組形成溝道電阻，利用溝道電阻的方式實現穩定柵極之間的電壓。在提高開關器件的耐攻率能力的同時，提高版圖的緊湊度，避免版圖面積過大。并且，柵極指組中包含至少兩個柵極指，可以便捷地通過調整柵極指之間的間距從而達到調整柵極之間電壓的Rds的效果，在工藝上易于實現。

技術領域

本發明涉及開關器件技術領域，具體而言，涉及一種內嵌電阻的射頻開關器件版圖結構和射頻開關器件。

背景技術

射頻開關器件常用作頻分或時分應用中的射頻開關模塊。基礎的射頻開關模塊，包含了發射鏈路和接收鏈路。發射鏈路是指射頻前端的功率放大器輸出的信號到天線的信號鏈路。接收鏈路是指從天線收到的信號傳送到射頻前端的低噪聲放大器的信號鏈路。開關器件的射頻特性將會直接影響開關模塊的性能指標。例如，開關器件的插入損耗和隔離度，會直接影響到開關模塊的插入損耗和隔離度；開關器件的耐攻率能力，與發射鏈路與接收鏈路是否會互相串擾息息相關；開關器件的線性度，和開關模塊的線性度和輸出到天線的信號失真程度相關。

在傳統的設計中，在電路上通過外部大電阻對多指柵極之間進行連接，穩定柵極之間的電壓，避免由于信號波動而導致的柵壓波動，從而為了提高開關器件的耐攻率能力。但以外部大電阻的方式進行連接，會導致器件版圖面積過大。

發明內容

本發明的目的包括，例如，提供了一種內嵌電阻的射頻開關器件版圖結構和射頻開關器件，其能夠提高開關器件的耐攻率能力的同時，提高版圖的緊湊度，避免版圖面積過大。

本發明的實施例可以這樣實現：

第一方面，本發明提供一種內嵌電阻的射頻開關器件版圖結構，包括：襯底、設置在所述襯底上的外延層以及設置在所述外延層上的第一電極、第二電極和柵極；

所述第一電極包括第一主電極和多個第一指電極，所述多個第一指電極在第一方向上平行間隔設置，且分別在第二方向上與所述第一主電極相連，所述第一方向和第二方向垂直；

所述第二電極包括第二主電極和多個第二指電極，所述多個第二指電極在第一方向上平行間隔設置，且分別在第二方向上與所述第二主電極相連；

所述第一主電極和第二主電極在第二方向上相對設置，第一指電極和第二指電極在第一方向上交替間隔設置于第一主電極和第二主電極之間，且呈叉指狀排列；

所述柵極包括至少一個子柵極，所述子柵極設置在所述第一主電極和第二主電極之間，所述子柵極包括多個橫向子柵極和縱向子柵極，橫向子柵極和縱向子柵極依次串聯連接，所述橫向子柵極的方向為第二方向，所述縱向子柵極的方向為第一方向；

所述至少一個子柵極包括第一子柵極，所述版圖結構還包括至少一個柵極指組，所述至少一個柵極指組包含第一柵極指組，所述第一柵極指組包含在第二方向上間隔設置的至少兩個柵極指，所述第一柵極指組在第一方向上處于相鄰兩個橫向子柵極之間，在第二方向上處于第一指電極和與所述相鄰兩個橫向子柵極連接的縱向子柵極之間；

在第一方向上各所述柵極指的一端與所述相鄰兩個橫向子柵極中的一個連接、另一端與另一個之間存在間隔，在第二方向上每相鄰兩個柵極指之間存在間隔且連接在不同的橫向子柵極上；

所述第一柵極指組和所述縱向子柵極之間還設置有第一金屬塊，所述第一金屬塊與所述第二主電極之間通過跨接線連接，且與跨接下端的所述縱向子柵極之間絕緣隔離；

所述第一電極為源極、第二電極為漏極，或所述第一電極為漏極、第二電極為源極。

在可選的實施方式中，所述至少一個子柵極還包括第二子柵極，所述至少一個柵極指組還包括第二柵極指組；