[發明專利]內嵌電阻的射頻開關器件版圖結構和射頻開關器件

在審

• 申請號: 202210435151.4
• 申請日: 2022-04-24
• 公開（公告）號: CN114692556A
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發明（設計）人: 蔡文必;吳揚;林義書;魏鴻基
• 申請（專利權）人: 廈門市三安集成電路有限公司
• 主分類號: G06F30/392
• 分類號: G06F30/392
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 杜楊

1.一種內嵌電阻的射頻開關器件版圖結構，其特征在于，包括：襯底、設置在所述襯底上的外延層以及設置在所述外延層上的第一電極、第二電極和柵極；

所述第一電極包括第一主電極和多個第一指電極，所述多個第一指電極在第一方向上平行間隔設置，且分別在第二方向上與所述第一主電極相連，所述第一方向和第二方向垂直；

所述第二電極包括第二主電極和多個第二指電極，所述多個第二指電極在第一方向上平行間隔設置，且分別在第二方向上與所述第二主電極相連；

所述第一主電極和第二主電極在第二方向上相對設置，第一指電極和第二指電極在第一方向上交替間隔設置于第一主電極和第二主電極之間，且呈叉指狀排列；

所述柵極包括至少一個子柵極，所述子柵極設置在所述第一主電極和第二主電極之間，所述子柵極包括多個橫向子柵極和縱向子柵極，橫向子柵極和縱向子柵極依次串聯連接，所述橫向子柵極的方向為第二方向，所述縱向子柵極的方向為第一方向；

所述至少一個子柵極包括第一子柵極，所述版圖結構還包括至少一個柵極指組，所述至少一個柵極指組包含第一柵極指組，所述第一柵極指組包含在第二方向上間隔設置的至少兩個柵極指，所述第一柵極指組在第一方向上處于相鄰兩個橫向子柵極之間，在第二方向上處于第一指電極和與所述相鄰兩個橫向子柵極連接的縱向子柵極之間；

在第一方向上各所述柵極指的一端與所述相鄰兩個橫向子柵極中的一個連接、另一端與另一個之間存在間隔，在第二方向上每相鄰兩個柵極指之間存在間隔且連接在不同的橫向子柵極上；

所述第一柵極指組和所述縱向子柵極之間還設置有第一金屬塊，所述第一金屬塊與所述第二主電極之間通過跨接線連接，且與跨接下端的所述縱向子柵極之間絕緣隔離；

所述第一電極為源極、第二電極為漏極，或所述第一電極為漏極、第二電極為源極。

2.根據權利要求1所述的內嵌電阻的射頻開關器件版圖結構，其特征在于，所述至少一個子柵極還包括第二子柵極，所述至少一個柵極指組還包括第二柵極指組；

所述第二子柵極設置在所述第一主電極和第一子柵極之間，所述第二柵極指組在第一方向上處于所述第二子柵極包含的相鄰兩個橫向子柵極之間、在第二方向上處于所述第一指電極和所述第二子柵極包含的縱向子柵極之間；

所述第二柵極指組和所述第二子柵極的縱向子柵極之間還設置有第二金屬塊，所述第二子柵極和所述第一子柵極之間還設置有第一連接塊，所述第二金屬塊和第一連接塊之間通過跨接線連接，且與跨接下端的第二子柵極的縱向子柵極之間絕緣隔離。

3.根據權利要求2所述的內嵌電阻的射頻開關器件版圖結構，其特征在于，所述至少一個子柵極還包括第三子柵極，所述至少一個柵極指組還包括第三柵極指組；

所述第三子柵極設置在所述第一主電極和第二子柵極之間，所述第三柵極指組在第一方向上處于所述第三子柵極包含的相鄰兩個橫向子柵極之間、在第二方向上處于所述第一指電極和所述第三子柵極包含的縱向子柵極之間；

所述第三柵極指組和所述第三子柵極的縱向子柵極之間還設置有第三金屬塊，所述第三子柵極和所述第二子柵極之間還設置有第二連接塊，所述第三金屬塊和第二連接塊之間通過跨接線連接，且與跨接下端的第三子柵極的縱向子柵極之間絕緣隔離。

4.根據權利要求1所述的內嵌電阻的射頻開關器件版圖結構，其特征在于，各所述柵極指組中，相鄰兩個柵極指在第二方向上的間隔距離為0.5um至2um，各所述柵極指的寬度為大于0.5um，各所述柵極指在第一方向上與橫向子柵極之間的間隔距離為0.5um至1um。

5.根據權利要求3所述的內嵌電阻的射頻開關器件版圖結構，其特征在于，所述第一柵極指組中的柵極指、第二柵極指組中的柵極值、第三柵極指組中的柵極指在第一方向上的長度依次遞減。