[發明專利]一種立式晶體生長爐下爐蓋鎖緊機構

在審

• 申請號: 202210434525.0
• 申請日: 2022-04-24
• 公開（公告）號: CN114672875A
• 公開（公告）日: 2022-06-28
• 發明（設計）人: 劉鵬;徐文立;胡建宇;施佳偉
• 申請（專利權）人: 寧波恒普真空科技股份有限公司
• 主分類號: C30B23/00
• 分類號: C30B23/00;C30B29/36
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 孫玲

1.一種立式晶體生長爐下爐蓋鎖緊機構，其特征在于，包括設置于框架或爐體上的鎖緊組件和驅動系統，所述鎖緊組件包括聯動塊、安裝座、連桿座和驅動結構；所述安裝座用于與所述框架或爐體相連接，所述驅動結構設置于所述安裝座一端，所述連桿座設置于所述安裝座另一端，所述聯動塊與所述連桿座活動連接，所述驅動結構與所述聯動塊傳動連接，所述驅動系統與所述驅動結構動力連接。

2.根據權利要求1所述的立式晶體生長爐下爐蓋鎖緊機構，其特征在于，所述驅動結構包括氣缸或液壓缸，所述氣缸或液壓缸設置于所述安裝座一端。

3.根據權利要求2所述的立式晶體生長爐下爐蓋鎖緊機構，其特征在于，所述驅動結構還包括缸桿接頭，所述缸桿接頭一端與所述氣缸的缸桿連接，所述缸桿接頭另一端與所述聯動塊的一端可轉動連接。

4.根據權利要求1所述的立式晶體生長爐下爐蓋鎖緊機構，其特征在于，所述驅動系統為驅動管路系統，包括主驅動管路和冗余保護管路，所述主驅動管路分別為缸體有桿腔和無桿腔提供驅動力，所述冗余保護管路為缸體無桿腔提供驅動力。

5.根據權利要求4所述的立式晶體生長爐下爐蓋鎖緊機構，其特征在于，所述冗余保護管路包括先導式單向閥，所述先導式單向閥的先導口與所述缸體的有桿腔相連通，所述先導式單向閥與所述缸體的無桿腔相連通。

6.根據權利要求5所述的立式晶體生長爐下爐蓋鎖緊機構，其特征在于，所述主驅動管路包括驅動換向閥和連接管路；所述冗余保護管路還包括兩位三通常開換向閥，梭閥及連接管路；所述驅動換向閥為兩位五通換向閥，在爐門鎖緊的狀態下，所述兩位三通常開換向閥的供壓口與所述梭閥的第一進口相連通，所述兩位五通換向閥的供壓口與所述梭閥的第二進口相連通，所述梭閥的出口與所述先導式單向閥相連通，所述缸體的有桿腔與所述兩位五通換向閥的排壓口相連通。

7.根據權利要求1所述的立式晶體生長爐下爐蓋鎖緊機構，其特征在于，所述驅動結構為電推桿。

8.根據權利要求1所述的立式晶體生長爐下爐蓋鎖緊機構，其特征在于，所述聯動塊側面貫通的設置有長圓孔，所述長圓孔內設置有第二轉軸，所述第二轉軸兩端與所述連桿座相連接。

9.根據權利要求1所述的立式晶體生長爐下爐蓋鎖緊機構，其特征在于，所述聯動塊朝向下爐蓋的一側設置有減震壓塊。

10.根據權利要求1所述的立式晶體生長爐下爐蓋鎖緊機構，其特征在于，所述框架上沿下爐蓋周圍均勻設置有多個所述鎖緊組件。