[發明專利]麥克風組件及電子設備

有效

• 申請號: 202210414581.8
• 申請日: 2022-04-20
• 公開（公告）號: CN114513730B
• 公開（公告）日: 2022-08-23
• 發明（設計）人: 榮根蘭;劉青
• 申請（專利權）人: 蘇州敏芯微電子技術股份有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04;H04R19/00;H04R7/18
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 方世棟

1.一種麥克風組件，其特征在于，所述麥克風組件包括基底（10）以及振膜（20）；

所述基底（10）的部分區域構成第一電極（110），所述振膜（20）具有聲波敏感區域（220），所述聲波敏感區域（220）構成第二電極（210）；

其中，所述第一電極（110）以及所述第二電極（210）兩者在垂直于所述基底（10）的厚度方向的平面上的投影相交疊；

所述基底（10）具有至少一個第一鏤空區域（120）；所述至少一個第一鏤空區域（120）環繞所述第一電極（110），以形成背腔（130）。

2.根據權利要求1所述的麥克風組件，其特征在于，所述基底（10）靠近所述振膜（20）的一側設置有用于支撐所述振膜（20）的第一支撐體（30）；

所述第一支撐體（30）位于所述基底（10）的邊緣，使得所述振膜（20）懸空于所述第一電極（110）的上方，所述第一電極（110）與所述振膜（20）形成可變電容。

3.根據權利要求1所述的麥克風組件，其特征在于，所述第二電極（210）上設置有在厚度方向上貫通所述振膜（20）的至少一個通孔（230）。

4.根據權利要求3所述的麥克風組件，其特征在于，所述振膜（20）的邊緣設置有至少一個縫隙結構（250）。

5.根據權利要求4所述的麥克風組件，其特征在于，所述振膜的邊緣設有多個縫隙結構，所述多個縫隙結構呈環形布置。

6.根據權利要求3或4所述的麥克風組件，其特征在于，在所述基底（10）的厚度方向上，所述振膜（20）遠離所述基底（10）的一側設置有用于保護所述第二電極（210）的第一防塵結構（40）。

7.根據權利要求6所述的麥克風組件，其特征在于，所述第一防塵結構（40）朝向所述基底（10）的一側上設置有至少一個第一支撐柱（50），所述第一支撐柱（50）穿設于對應的所述通孔（230）中，所述第一支撐柱（50）一端與所述第一防塵結構（40）固定連接且另一端與所述第一電極（110）固定連接。

8.根據權利要求1所述的麥克風組件，其特征在于，所述基底（10）具有至少一個第三鏤空區域（160），所述至少一個第三鏤空區域（160）位于所述第一電極（110）內，所述至少一個第一鏤空區域（120）環繞所述第一電極（110），以形成背腔（130）。

9.根據權利要求8所述的麥克風組件，其特征在于，所述振膜（20）上設置有至少一個第二鏤空區域（260）。

10.根據權利要求8所述的麥克風組件，其特征在于，所述基底（10）還包括：

第一支持部（140），

至少一個第一橫梁（150），所述至少一個第一橫梁（150）將所述第一電極（110）與所述第一支持部（140）固定連接，其中，所述至少一個第一橫梁（150）中的至少一個由導電介質構成，以傳輸所述第一電極（110）與外部電路之間的電信號。

11.根據權利要求8所述的麥克風組件，其特征在于，所述第一電極（110）僅具有一個所述第三鏤空區域（160），并且所述第二電極（210）上設置有在厚度方向上貫通所述振膜（20）的至少一個通孔（230）。

12.如權利要求3或11所述的麥克風組件，其特征在于，

所述振膜（20）的邊緣還設置有至少一個環形凸起部（240），所述環形凸起部（240）呈連續的環形或斷續的環形，并且所述環形凸起部（240）朝向所述背腔（130）方向凸起或者朝向背離所述背腔（130）的方向凸起，用以釋放所述振膜（20）的應力，其中，所述至少一個環形凸起部（240）環繞所述聲波敏感區域（220）。