[發明專利]執行器、機器人及基板轉運方法

在審

• 申請號: 202210406642.6
• 申請日: 2022-04-18
• 公開（公告）號: CN114590595A
• 公開（公告）日: 2022-06-07
• 發明（設計）人: 劉曉剛;曹斌;金俊杰;王健;宋建業;李建松
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06
• 代理公司: 北京華夏泰和知識產權代理有限公司 11662
• 代理人: 王衛忠

本申請涉及本申請涉及執行器、機器人及基板轉運方法，其中，執行器，包括：安裝座；多個固持臂，多個固持臂均安裝在安裝座上，且至少兩個固持臂具有第一距離和第二距離，第二距離大于第一距離，固持臂包括固持臂主體和固持結構，各固持臂主體上均設置有固持結構，以使單獨的固持臂對目標物形成固持。本申請的技術方案有效地解決了現有技術中的基板由于變形而導致的損壞的問題。

技術領域

本申請涉及顯示基板的技術領域，尤其涉及一種執行器、機器人及基板轉運方法。

背景技術

平板顯示基板玻璃的生產工藝中，薄化玻璃基板的產品需求越來越多，上述的基板的搬運通常采用機械手架進行搬運的方式，將基板放置在機械手架上進行搬運。上述的基板的生產工藝中機器人的末端執行器搬運到存儲裝置的過程是很重要的環節，能否穩定的實現搬送是保證基板生產的重要的環節。通常薄化玻璃因為易變形，在機械手架搬送過程中，因自身重力等外力的作用下會導致薄化玻璃在機械手架上發生異常的彎曲變形。因為彎曲變形，基板常常會與生產工藝中的存儲裝置發生干涉，導致基板破損的異常不良發生。

發明內容

本申請提供了一種執行器、機器人及基板轉運方法，用于解決現有技術中的基板由于變形而導致的損壞的問題。

為解決上述問題，本申請提供了一種執行器，包括：安裝座；多個固持臂，多個固持臂均安裝在安裝座上，且至少兩個固持臂具有第一距離和第二距離，第二距離大于第一距離，固持臂包括固持臂主體和固持結構，各固持臂主體上均固定有固持結構，各固持結構分別固持于目標物。

進一步地，固持臂主體可移動地安裝在安裝座上，執行器還包括驅動組件，驅動組件設置在安裝座上并與固持臂主體相連。

進一步地，驅動組件驅動固持臂主體沿第一方向線性移動。

進一步地，各固持臂主體上設置有多個固持結構，各固持臂主體的多個固持結構沿第二方向相互間隔的排列。

進一步地，執行器還包括支撐臂，支撐臂位于兩個固持臂主體之間，支撐臂設置在安裝座上。

進一步地，支撐臂包括支撐臂主體和設置在支撐臂主體上的承托結構。

進一步地，承托結構包括弧形區，弧形區與目標物相接觸。

進一步地，支撐臂主體為空心桿，支撐臂主體的側壁具有安裝通孔，承托結構包括滾珠，滾珠安裝在安裝通孔內。

進一步地，固持結構包括負壓吸附器，負壓吸附器設置在固持臂主體上。

進一步地，固持臂主體為空心桿，固持臂主體的側壁具有連通固持臂主體的內部和固持臂主體的外部的固定通孔，負壓吸附器固定安裝在固定通孔。

進一步地，固持結構還包括連通管，連通管穿設在固持臂主體的中空結構內并與負壓吸附器相連通。

進一步地，同一固持臂主體上設置有多個負壓吸附器，多個負壓吸附器沿固持臂主體的軸向相間隔地設置在固持臂主體上。

進一步地，支撐臂為多個，多個支撐臂位于相鄰的兩個固持臂之間。

進一步地，執行器還包括形變檢測器，形變檢測器設置在安裝座上。

根據本申請的另一方面，還提供了一種機器人，包括執行器，執行器為上述的執行器。

根據本申請的另一方面，還提供了一種基板轉運方法，基板轉運方法采用上述的執行器，基板轉運方法包括以下步驟：獲取基板的初始變形數據信號，若此變形數據信號超出第一閾值，則驅動執行器的固持臂向第二距離方向移動；獲取基板的實時變形數據信號，若實時變形數據信號低于第一閾值，則停止執行器的固持臂的移動。

本申請實施例提供的上述技術方案與現有技術相比具有如下優點：