[發明專利]執行器、機器人及基板轉運方法

在審

• 申請號: 202210406642.6
• 申請日: 2022-04-18
• 公開（公告）號: CN114590595A
• 公開（公告）日: 2022-06-07
• 發明（設計）人: 劉曉剛;曹斌;金俊杰;王健;宋建業;李建松
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06
• 代理公司: 北京華夏泰和知識產權代理有限公司 11662
• 代理人: 王衛忠

1.一種執行器，其特征在于，包括：

安裝座(10)；

多個固持臂(20)，所述多個固持臂(20)均安裝在所述安裝座(10)上，且至少兩個所述固持臂(20)具有第一距離和第二距離，所述第二距離大于所述第一距離，所述固持臂(20)包括固持臂主體(21)和固持結構(22)，各所述固持臂主體(21)上均固定有固持結構(22)，各所述固持結構(22)分別固持于目標物(100)。

2.根據權利要求1所述的執行器，其特征在于，所述固持臂主體(21)可移動地安裝在所述安裝座(10)上，所述執行器還包括驅動組件(30)，所述驅動組件(30)設置在所述安裝座(10)上并與所述固持臂主體(21)相連。

3.根據權利要求2所述的執行器，其特征在于，所述驅動組件(30)驅動所述固持臂主體(21)沿第一方向線性移動。

4.根據權利要求1所述的執行器，其特征在于，各所述固持臂主體(21)上設置有多個所述固持結構(22)，各所述固持臂主體(21)的多個所述固持結構(22)沿第二方向相互間隔的排列。

5.根據權利要求1所述的執行器，其特征在于，所述執行器還包括支撐臂(40)，所述支撐臂(40)位于兩個所述固持臂主體(21)之間，所述支撐臂(40)設置在所述安裝座(10)上。

6.根據權利要求5所述的執行器，其特征在于，所述支撐臂(40)包括支撐臂主體(41)和設置在所述支撐臂主體(41)上的承托結構(42)。

7.根據權利要求6所述的執行器，其特征在于，所述承托結構(42)包括弧形區，所述弧形區與所述目標物(100)相接觸。

8.根據權利要求7所述的執行器，其特征在于，所述支撐臂主體(41)為空心桿，所述支撐臂主體(41)的側壁具有安裝通孔，所述承托結構(42)包括滾珠(421)，所述滾珠(421)安裝在所述安裝通孔內。

9.根據權利要求1所述的執行器，其特征在于，所述固持結構(22)包括負壓吸附器，所述負壓吸附器設置在所述固持臂主體(21)上。

10.根據權利要求9所述的執行器，其特征在于，所述固持臂主體(21)為空心桿，所述固持臂主體(21)的側壁具有連通所述固持臂主體(21)的內部和所述固持臂主體(21)的外部的固定通孔，所述負壓吸附器固定安裝在所述固定通孔。

11.根據權利要求10所述的執行器，其特征在于，所述固持結構(22)還包括連通管，所述連通管穿設在所述固持臂主體(21)的中空結構內并與所述負壓吸附器相連通。

12.根據權利要求9所述的執行器，其特征在于，同一所述固持臂主體(21)上設置有多個所述負壓吸附器，所述多個負壓吸附器沿所述固持臂主體(21)的軸向相間隔地設置在所述固持臂主體(21)上。

13.根據權利要求1至12中任一項所述的執行器，其特征在于，所述執行器還包括形變檢測器(50)，所述形變檢測器(50)設置在所述安裝座(10)上。

14.一種機器人，包括執行器，其特征在于，所述執行器為權利要求1至13中任一項所述的執行器。

15.一種基板轉運方法，其特征在于，所述基板轉運方法采用權利要求1至13中任一項的執行器，所述基板轉運方法包括以下步驟：

獲取基板的初始變形數據信號，若此變形數據信號超出第一閾值，則驅動執行器的所述固持臂(20)向第二距離方向移動；

獲取基板的實時變形數據信號，若實時變形數據信號低于第一閾值，則停止執行器的所述固持臂(20)的移動。