[發(fā)明專利]一種導(dǎo)熱均勻且噴射范圍可調(diào)的蒸發(fā)源

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210404494.4
• 申請(qǐng)日: 2022-04-18
• 公開（公告）號(hào): CN114807864B
• 公開（公告）日: 2023-09-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 萬(wàn)喆;亢寧
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘭州交通大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24;C23C14/26;C23C14/54
• 代理公司: 安徽思沃達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34220
• 代理人: 趙瑜

本發(fā)明公開了一種導(dǎo)熱均勻且噴射范圍可調(diào)的蒸發(fā)源，屬于真空蒸鍍領(lǐng)域，包括底座，所述底座的上側(cè)設(shè)有外罩，所述外罩的內(nèi)側(cè)可拆卸設(shè)有坩堝，所述外罩的內(nèi)壁且對(duì)應(yīng)坩堝的底壁位置處設(shè)有稱重器，所述坩堝包括外筒和內(nèi)筒，所述外罩的內(nèi)部還設(shè)有加熱器；所述加熱器包括設(shè)置第一電熱圈和第二電熱圈，所述第一電熱圈設(shè)置在外筒的外側(cè)，所述第二電熱圈設(shè)置在內(nèi)筒的內(nèi)側(cè)，所述內(nèi)筒的內(nèi)側(cè)和內(nèi)筒的外側(cè)之間共同形成放置腔，放置腔用于存放鍍膜材料。本發(fā)明對(duì)鍍膜材料加熱更加均勻，提升蒸發(fā)速率，可根據(jù)不同尺寸的基片調(diào)節(jié)鍍膜材料的噴射范圍，另外，蒸發(fā)源在真空室內(nèi)的橫向和豎向位置可調(diào)節(jié)，滿足更多的實(shí)際蒸鍍需求，應(yīng)用更加廣泛。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種導(dǎo)熱均勻且噴射范圍可調(diào)的蒸發(fā)源。

背景技術(shù)

真空蒸鍍，簡(jiǎn)稱蒸鍍，是指在真空條件下，采用一定的加熱蒸發(fā)方式蒸發(fā)鍍膜材料(或稱膜料)并使之氣化，粒子飛至基片表面凝聚成膜的工藝方法。蒸鍍是使用較早、用途較廣泛的氣相沉積技術(shù)，具有成膜方法簡(jiǎn)單、薄膜純度和致密性高、膜結(jié)構(gòu)和性能獨(dú)特等優(yōu)點(diǎn)。

經(jīng)檢索，中國(guó)專利號(hào)CN?110144550?B公開了一種蒸發(fā)源及蒸鍍?cè)O(shè)備，該蒸發(fā)源包括：支撐體，設(shè)置有第一容置腔；坩堝，包括用于容置蒸鍍材料的第二容置腔；所述坩堝設(shè)置于所述第一容置腔內(nèi)，且位于所述支撐體的支撐面上，通過所述支撐面，所述支撐體能夠支撐所述坩堝；壓力傳感器，設(shè)置于所述支撐面上，且所述坩堝抵壓在所述壓力傳感器上。

現(xiàn)有技術(shù)中的蒸發(fā)源在實(shí)際使用時(shí)存在如下不足：蒸發(fā)源對(duì)鍍膜材料的加熱不均勻，材料蒸發(fā)升華速度快，效率低，并且材料的噴射范圍固定，在實(shí)際使用時(shí)，噴射范圍無法根據(jù)不同尺寸的基片進(jìn)行調(diào)節(jié)，因此本發(fā)明在此提出一種導(dǎo)熱均勻且噴射范圍可調(diào)的蒸發(fā)源。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，而提出的一種導(dǎo)熱均勻且噴射范圍可調(diào)的蒸發(fā)源。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：

一種導(dǎo)熱均勻且噴射范圍可調(diào)的蒸發(fā)源，包括底座，所述底座的上側(cè)設(shè)有外罩，所述外罩的內(nèi)側(cè)可拆卸設(shè)有坩堝，所述外罩的內(nèi)壁且對(duì)應(yīng)坩堝的底壁位置處設(shè)有稱重器，所述坩堝包括外筒和內(nèi)筒，所述外罩的內(nèi)部還設(shè)有加熱器；

所述加熱器包括設(shè)置第一電熱圈和第二電熱圈，所述第一電熱圈設(shè)置在外筒的外側(cè)，所述第二電熱圈設(shè)置在內(nèi)筒的內(nèi)側(cè)，所述內(nèi)筒的內(nèi)側(cè)和內(nèi)筒的外側(cè)之間共同形成放置腔，放置腔用于存放鍍膜材料；

所述坩堝的上側(cè)可拆卸設(shè)有齒環(huán)，所述齒環(huán)的下側(cè)設(shè)有處于放置腔內(nèi)的攪拌軸，所述齒環(huán)通過電機(jī)和齒輪驅(qū)動(dòng)；

所述齒環(huán)的上側(cè)滑動(dòng)設(shè)有導(dǎo)流盤，所述導(dǎo)流盤內(nèi)設(shè)有導(dǎo)流腔，所述導(dǎo)流盤的上側(cè)開設(shè)有多個(gè)噴孔，所述噴孔的底部且位于導(dǎo)流腔的內(nèi)側(cè)設(shè)有開合機(jī)構(gòu)；

所述噴孔的上側(cè)可拆卸設(shè)有噴嘴。

進(jìn)一步地，所述開合機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在導(dǎo)流腔且固定在噴孔下側(cè)的滑軸，所述滑軸滑動(dòng)安裝有與噴孔的底部相匹配的密封板，所述滑軸的底部以及密封板的底壁共同安裝有彈簧；

所述噴嘴包括與噴孔螺紋安裝的噴管，所述噴管的頂部安裝有旋鈕，所述噴管的底部通過多個(gè)支柱固定有推環(huán)，所述噴管的底部與支柱之間設(shè)有多個(gè)出料孔。

進(jìn)一步地，所述導(dǎo)流盤的底部開設(shè)有環(huán)形槽，所述攪拌軸的頂部通過滑塊滑動(dòng)設(shè)置在環(huán)形槽內(nèi)；

所述攪拌軸上安裝有多個(gè)攪拌齒。

進(jìn)一步地，所述齒環(huán)的底壁與外筒的頂端滑動(dòng)連接，所述齒環(huán)的齒牙與齒輪的齒牙相互嚙合，所述電機(jī)固定在外罩外壁的頂部。

進(jìn)一步地，所述外筒的外壁固定有滑條，所述外罩的頂部開設(shè)有與滑條相匹配的滑孔。