[發(fā)明專利]一種導(dǎo)熱均勻且噴射范圍可調(diào)的蒸發(fā)源

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210404494.4
• 申請日: 2022-04-18
• 公開（公告）號(hào): CN114807864B
• 公開（公告）日: 2023-09-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 萬喆;亢寧
• 申請（專利權(quán)）人: 蘭州交通大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24;C23C14/26;C23C14/54
• 代理公司: 安徽思沃達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34220
• 代理人: 趙瑜

1.一種導(dǎo)熱均勻且噴射范圍可調(diào)的蒸發(fā)源，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）的上側(cè)設(shè)有外罩（2），所述外罩（2）的內(nèi)側(cè)可拆卸設(shè)有坩堝（3），所述外罩（2）的內(nèi)壁且對應(yīng)坩堝（3）的底壁位置處設(shè)有稱重器（12），所述坩堝（3）包括外筒（31）和內(nèi)筒（32），所述外罩（2）的內(nèi)部還設(shè)有加熱器（4）；

所述加熱器（4）包括設(shè)置第一電熱圈（41）和第二電熱圈（42），所述第一電熱圈（41）設(shè)置在外筒（31）的外側(cè)，所述第二電熱圈（42）設(shè)置在內(nèi)筒（32）的內(nèi)側(cè)，所述內(nèi)筒（32）的內(nèi)側(cè)和內(nèi)筒（32）的外側(cè)之間共同形成放置腔，放置腔用于存放鍍膜材料；

所述坩堝（3）的上側(cè)可拆卸設(shè)有齒環(huán)（8），所述齒環(huán)（8）的下側(cè)設(shè)有處于放置腔內(nèi)的攪拌軸（9），所述齒環(huán)（8）通過電機(jī)（11）和齒輪（10）驅(qū)動(dòng)；

所述齒環(huán)（8）的上側(cè)滑動(dòng)設(shè)有導(dǎo)流盤（5），所述導(dǎo)流盤（5）內(nèi)設(shè)有導(dǎo)流腔（51），所述導(dǎo)流盤（5）的上側(cè)開設(shè)有多個(gè)噴孔（6），所述噴孔（6）的底部且位于導(dǎo)流腔（51）的內(nèi)側(cè)設(shè)有開合機(jī)構(gòu)；

所述噴孔（6）的上側(cè)可拆卸設(shè)有噴嘴（7）；

所述開合機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在導(dǎo)流腔（51）且固定在噴孔（6）下側(cè)的滑軸（62），所述滑軸（62）滑動(dòng)安裝有與噴孔（6）的底部相匹配的密封板（61），所述滑軸（62）的底部以及密封板（61）的底壁共同安裝有彈簧（63）；

所述噴嘴（7）包括與噴孔（6）螺紋安裝的噴管（71），所述噴管（71）的頂部安裝有旋鈕（75），所述噴管（71）的底部通過多個(gè)支柱（72）固定有推環(huán)（73），所述噴管（71）的底部與支柱（72）之間設(shè)有多個(gè)出料孔（74）；

所述導(dǎo)流盤（5）的底部開設(shè)有環(huán)形槽（52），所述攪拌軸（9）的頂部通過滑塊滑動(dòng)設(shè)置在環(huán)形槽（52）內(nèi)；

所述攪拌軸（9）上安裝有多個(gè)攪拌齒；

所述齒環(huán)（8）的底壁與外筒（31）的頂端滑動(dòng)連接，所述齒環(huán)（8）的齒牙與齒輪（10）的齒牙相互嚙合，所述電機(jī)（11）固定在外罩（2）外壁的頂部；

所述外筒（31）的外壁固定有滑條（33），所述外罩（2）的頂部開設(shè)有與滑條（33）相匹配的滑孔（21）；

所述導(dǎo)流盤（5）的外壁安裝有輔助電熱圈（18）；

在導(dǎo)流盤（5）的內(nèi)壁安裝方管，在坩堝（3）的內(nèi)筒（32）上側(cè)安裝有方軸（17），方軸（17）的頂部與方管插設(shè)配合，避免在攪拌軸（9）轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)導(dǎo)流盤（5）隨意轉(zhuǎn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種導(dǎo)熱均勻且噴射范圍可調(diào)的蒸發(fā)源，其特征在于，所述底座（1）的底壁安裝有橫向座（13），所述橫向座（13）與橫向支架（14）安裝，所述橫向支架（14）的兩端與豎向支架（15）安裝，所述豎向支架（15）與真空室的內(nèi)壁安裝。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種導(dǎo)熱均勻且噴射范圍可調(diào)的蒸發(fā)源，其特征在于，所述橫向支架（14）包括橫向絲桿，所述橫向絲桿與橫向座（13）螺紋安裝，所述橫向絲桿的兩端轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有豎向座（16）；

所述豎向支架（15）包括豎向絲桿，所述豎向座（16）與豎向絲桿螺紋安裝。