[發(fā)明專利]一種提高100單晶成活率的放肩方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210403758.4
• 申請(qǐng)日: 2022-04-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114717648B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-10-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 閆龍;周文輝;王忠保
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧夏中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/20
• 分類號(hào): C30B15/20;C30B15/22;C30B29/06
• 代理公司: 寧夏三源鑫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 64105
• 代理人: 邢芳麗

1.一種提高100單晶成活率的放肩方法，其特征在于，根據(jù)預(yù)定拉速曲線進(jìn)行晶棒拉制，以得到放肩肩型為等腰三角型的目標(biāo)英寸晶棒。

2.如權(quán)利要求1所述的提高100單晶成活率的放肩方法，其特征在于， 所述預(yù)定拉速曲線通過(guò)以下步驟得到，具體步驟如下：

步驟一：根據(jù)目標(biāo)英寸單晶的直徑D及放肩肩型夾角α，得到放肩高度H；

步驟二：根據(jù)目標(biāo)英寸單晶的直徑D及放肩的高度H進(jìn)行放肩，調(diào)整放肩肩型，以使放肩肩型為等腰三角形，得到校正后的放肩高度H’；

步驟三：根據(jù)目標(biāo)英寸單晶的直徑D及校正后的放肩高度H’進(jìn)行放肩，得到預(yù)定拉速曲線。

3.如權(quán)利要求2所述的提高100單晶成活率的放肩方法，其特征在于，所述步驟三還包括以下步驟：

S1：根據(jù)目標(biāo)英寸單晶的直徑D及校正后的放肩高度H’進(jìn)行放肩，得到預(yù)定拉速的上限曲線及預(yù)定拉速的下限曲線；

S2：根據(jù)預(yù)定拉速的上限曲線及預(yù)定拉速的下限曲線，擬合得到預(yù)定拉速曲線。

4.如權(quán)利要求2所述的提高100單晶成活率的放肩方法，其特征在于，所述步驟一中，放肩肩型夾角α≦72.32°。

5.如權(quán)利要求2所述的提高100單晶成活率的放肩方法，其特征在于，所述步驟二中，在放肩前引晶時(shí)不進(jìn)行摻雜。

6.如權(quán)利要求2所述的提高100單晶成活率的放肩方法，其特征在于，所述步驟三中，在放肩前引晶時(shí)正常摻雜。

7.如權(quán)利要求1所述的提高100單晶成活率的放肩方法，其特征在于，所述步驟二：所述放肩高度H通過(guò)以下式子得到：

H=D/2tanα（α/2）。