[發明專利]高壓氣自冷熱錫噴頭

有效

• 申請號: 202210402410.3
• 申請日: 2022-04-18
• 公開（公告）號: CN114769785B
• 公開（公告）日: 2023-10-20
• 發明（設計）人: 奚衍東;肖雨
• 申請（專利權）人: 翼龍半導體設備（無錫）有限公司
• 主分類號: B23K3/08
• 分類號: B23K3/08;H01L21/67
• 代理公司: 長沙大珂知識產權代理事務所(普通合伙) 43236
• 代理人: 劉若蘭

1.高壓氣自冷熱錫噴頭，包括殼體(1)和位于殼體(1)內部且與殼體(1)同軸的送絲管(3)，所述送絲管(3)的下部通過噴錫嘴(7)與殼體(1)的外部連連通，其特征在于，所述送絲管(3)的外部設置同軸的冷卻管(2)、回流擋板(4)、固定座(5)、加熱環(6)，所述冷卻管(2)的下方依次設置回流擋板(4)、固定座(5)和加熱環(6)，所述加熱環(6)的上部形成柱腔(61)，所述柱腔(61)的內部設置微動板(12)和位于微動板(12)下方的密封板(13)，所述密封板(13)用于開閉微動板(12)上同軸的網環(122)。

所述殼體(1)的外部設置分配環套(8)，分配環套(8)連接進氣管(10)，所述分配環套(8)與殼體(1)相接的殼壁環布傾斜導管(9)，所述傾斜導管(9)連通分配環套(8)和殼體(1)與冷卻管(2)之間的空間，所述冷卻管(2)的上部設置出氣管(11)；

所述回流擋板(4)的直徑小于殼體(1)的內徑，所述送絲管(3)于柱腔(61)內部設置進氣孔(31)，所述進氣孔(31)位于密封板(13)的下方。

2.根據權利要求1所述的錫噴頭，其特征在于，所述微動板(12)上設置同軸的彈性橡膠環(121)和網環(122)，所述彈性橡膠環(121)位于網環(122)的外部，所述密封板(13)的外徑大于網環(122)的外徑且小于彈性橡膠環(121)的內徑；

所述微動板(12)底部設置支撐環(123)，所述支撐環(123)的內徑大于彈性橡膠環(121)的內徑且小于密封板(13)的外徑。

3.根據權利要求2所述的錫噴頭，其特征在于，所述送絲管(3)的外部相貼套接有頂部延伸至冷卻管(2)外部的延伸管(15)，所述延伸管(15)的下部通過連接桿(16)連接所述密封板(13)的上部；

所述回流擋板(4)和微動板(12)的內孔處分別設置用于容納連接桿(16)通過的凹槽。

4.根據權利要求3所述的錫噴頭，其特征在于，所述延伸管(15)于冷卻管(2)外部的一端設置驅動延伸管(15)軸向運動的驅動件。