[發明專利]樣品分析方法、裝置、設備及存儲介質

有效

• 申請號: 202210381689.1
• 申請日: 2022-04-13
• 公開（公告）號: CN114460114B
• 公開（公告）日: 2022-06-21
• 發明（設計）人: 范燕;譚軍;姜傳斌;羅明生;馬永會;劉海全;馮松浩;黃玲;李穗敏
• 申請（專利權）人: 季華實驗室
• 主分類號: G01N23/2206
• 分類號: G01N23/2206;G01N23/20;G01N23/2273
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
• 代理人: 郭子氚

本發明屬于物質檢測技術領域，公開了一種樣品分析方法、裝置、設備及存儲介質。該方法包括：根據獲取到的X射線光電子能譜圖確定目標元素對應的相對原子百分含量；根據相對原子百分含量確定目標元素對應的綜合靈敏度因子；根據獲取到的反射電子能量損失譜圖確定目標元素的非彈性損失峰總面積和氫元素的彈性損失峰面積；基于目標元素的綜合靈敏度因子、該非彈性損失峰總面積、氫元素的靈敏度因子以及該彈性損失峰面積確定待測試樣品對應的氫元素含量；根據氫元素含量對待測試樣品進行樣品分析。通過上述方式，利用XPS譜圖和REELS譜圖結合分析，準確測定待測試樣品中的氫元素含量，進一步提升了聚合物薄膜材料的性能分析結果的準確性。

技術領域

本發明涉及物質檢測技術領域，尤其涉及一種樣品分析方法、裝置、設備及存儲介質。

背景技術

由于氫（H）元素含量會顯著影響聚合物薄膜材料性能，包括水解性能、耐老化性能、耐熱性能、強度、熱穩定性、燃燒性能等，因此H元素相對含量的準確測定在聚合物薄膜材料研究中非常重要。X射線光電子能譜儀(XPS)無法測量材料表面的H元素含量，而REELS測試中由于H元素對應的靈敏度因子極小，實際測試譜圖中H元素引起的損失峰相對H元素以外其余元素產生的彈性損失峰較弱，常規數據處理操作易導致H元素引起的損失峰的錯誤擬合結果，進而掩蓋H元素引起的損失峰信號，無法準確測定聚合物薄膜材料中H元素含量，導致聚合物薄膜材料的性能分析結果不準確。

上述內容僅用于輔助理解本發明的技術方案，并不代表承認上述內容是現有技術。

發明內容

本發明的主要目的在于提供一種樣品分析方法、裝置、設備及存儲介質，旨在解決無法準確測定聚合物薄膜材料中氫元素含量，導致聚合物薄膜材料的性能分析結果不準確的技術問題。

為實現上述目的，本發明提供了一種樣品分析方法，所述方法包括以下步驟：

獲取待測試樣品對應的X射線光電子能譜圖和反射電子能量損失譜圖；

根據所述X射線光電子能譜圖確定目標元素對應的相對原子百分含量，其中，所述目標元素為所述待測試樣品中除氫元素外的其他元素；

根據所述相對原子百分含量確定所述目標元素對應的綜合靈敏度因子；

根據所述反射電子能量損失譜圖確定所述目標元素對應的非彈性損失峰總面積，并根據所述反射電子能量損失譜圖確定氫元素對應的彈性損失峰面積；

基于所述目標元素對應的綜合靈敏度因子、所述目標元素對應的非彈性損失峰總面積、氫元素對應的靈敏度因子以及所述氫元素對應的彈性損失峰面積確定所述待測試樣品對應的氫元素含量；

根據所述氫元素含量對所述待測試樣品進行樣品分析。

可選地，所述基于所述目標元素對應的綜合靈敏度因子、所述目標元素對應的非彈性損失峰總面積、氫元素對應的靈敏度因子以及所述氫元素對應的彈性損失峰面積確定所述待測試樣品對應的氫元素含量，包括：

基于所述綜合靈敏度因子對所述目標非彈性損失峰總面積進行修正，得到修正后的目標非彈性損失峰總面積；

基于氫元素對應的靈敏度因子對所述彈性損失峰面積進行修正，得到修正后的彈性損失峰面積；

根據所述修正后的目標非彈性損失峰總面積和所述修正后的彈性損失峰面積確定所述待測試樣品對應的氫元素含量。

可選地，所述根據所述修正后的目標非彈性損失峰總面積和所述修正后的彈性損失峰面積確定所述待測試樣品對應的氫元素含量之后，所述方法還包括：

根據所述修正后的目標非彈性損失峰總面積和所述修正后的彈性損失峰面積確定所述目標元素對應的相對含量；

根據所述目標元素對應的相對含量和所述相對原子百分含量確定所述待測試樣品中除氫元素外的其他元素分別對應的元素含量；