[發明專利]樣品分析方法、裝置、設備及存儲介質

有效

• 申請號: 202210381689.1
• 申請日: 2022-04-13
• 公開（公告）號: CN114460114B
• 公開（公告）日: 2022-06-21
• 發明（設計）人: 范燕;譚軍;姜傳斌;羅明生;馬永會;劉海全;馮松浩;黃玲;李穗敏
• 申請（專利權）人: 季華實驗室
• 主分類號: G01N23/2206
• 分類號: G01N23/2206;G01N23/20;G01N23/2273
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
• 代理人: 郭子氚

1.一種樣品分析方法，其特征在于，所述樣品分析方法包括：

獲取待測試樣品對應的X射線光電子能譜圖和反射電子能量損失譜圖；

根據所述X射線光電子能譜圖確定目標元素對應的相對原子百分含量，其中，所述目標元素為所述待測試樣品中除氫元素外的其他元素；

根據所述相對原子百分含量確定所述目標元素對應的綜合靈敏度因子；

根據所述反射電子能量損失譜圖確定所述目標元素對應的非彈性損失峰總面積，并根據所述反射電子能量損失譜圖確定氫元素對應的彈性損失峰面積；

基于所述目標元素對應的綜合靈敏度因子、所述目標元素對應的非彈性損失峰總面積、氫元素對應的靈敏度因子以及所述氫元素對應的彈性損失峰面積確定所述待測試樣品對應的氫元素含量；

根據所述氫元素含量對所述待測試樣品進行樣品分析；

其中，基于以下公式確定所述待測試樣品對應的氫元素含量：

；

式中，h為彈性損失峰面積，h_a為氫元素對應的靈敏度因子，M為非彈性損失峰總面積，M_b為綜合靈敏度因子；

其中，所述根據所述X射線光電子能譜圖確定目標元素對應的相對原子百分含量，包括：

對所述X射線光電子能譜圖進行分析，確定多個波峰位置；

基于所述多個波峰位置分別對應的能量確定所述待測試樣品包含的目標元素；

對所述X射線光電子能譜圖中所述目標元素對應的曲線段進行背底扣除、分峰擬合，確定目標元素對應的相對原子百分含量；

其中，所述根據所述相對原子百分含量確定所述目標元素對應的綜合靈敏度因子，包括：

獲取所述目標元素對應的靈敏度因子，其中，預先設置有靈敏度因子數據庫或數據表，基于待測試樣品中包含的各類元素查詢數據庫或數據表，確定各類元素對應的靈敏度因子；

根據所述相對原子百分含量和所述目標元素對應的靈敏度因子確定所述目標元素對應的綜合靈敏度因子。

2.如權利要求1所述的樣品分析方法，其特征在于，所述基于所述目標元素對應的綜合靈敏度因子、所述目標元素對應的非彈性損失峰總面積、氫元素對應的靈敏度因子以及所述氫元素對應的彈性損失峰面積確定所述待測試樣品對應的氫元素含量，包括：

基于所述綜合靈敏度因子對所述非彈性損失峰總面積進行修正，得到修正后的目標非彈性損失峰總面積；

基于氫元素對應的靈敏度因子對所述彈性損失峰面積進行修正，得到修正后的彈性損失峰面積；

根據所述修正后的目標非彈性損失峰總面積和所述修正后的彈性損失峰面積確定所述待測試樣品對應的氫元素含量。

3.如權利要求2所述的樣品分析方法，其特征在于，所述根據所述修正后的目標非彈性損失峰總面積和所述修正后的彈性損失峰面積確定所述待測試樣品對應的氫元素含量之后，所述方法還包括：

根據所述修正后的目標非彈性損失峰總面積和所述修正后的彈性損失峰面積確定所述目標元素對應的相對含量；

根據所述目標元素對應的相對含量和所述相對原子百分含量確定所述待測試樣品中除氫元素外的其他元素分別對應的元素含量；

根據所述元素含量對所述待測試樣品進行樣品分析。

4.如權利要求1所述的樣品分析方法，其特征在于，所述根據所述反射電子能量損失譜圖確定氫元素對應的彈性損失峰面積，包括：

利用預設譜峰強度范圍對所述反射電子能量損失譜圖進行放大；

利用預設能量范圍從放大處理后的所述反射電子能量損失譜圖中截取目標曲線；

對所述目標曲線進行擬合，得到氫元素對應的彈性損失峰面積。

5.如權利要求1所述的樣品分析方法，其特征在于，所述根據所述反射電子能量損失譜圖確定所述目標元素對應的非彈性損失峰總面積，包括：

根據所述反射電子能量損失譜圖確定全部元素對應的總面積；

將所述總面積作為所述目標元素對應的非彈性損失峰總面積。