[發明專利]一種混合集成電路自動鍵合兼容夾具及使用方法

在審

• 申請號: 202210380652.7
• 申請日: 2022-04-12
• 公開（公告）號: CN114823474A
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發明（設計）人: 吳海峰;彭理娟;董立菲
• 申請（專利權）人: 天水七四九電子有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/60;H05B3/06
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 馬貴香

1.一種混合集成電路自動鍵合兼容夾具，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)底部設有設備嵌套結構(6)，所述底座(1)頂部設有放置腔(4)，所述放置腔(4)內部設有若干第一螺孔(15)，所述放置腔(4)至少有一個內側壁底部設有放置臺階(5)，所述放置腔(4)底部設有加熱模塊，所述放置臺階(5)對稱方向設有移動夾緊模塊。

2.根據權利要求1所述的一種混合集成電路自動鍵合兼容夾具，其特征在于，所述設備嵌套結構(6)設置在底座(1)底部中心，所述設備嵌套結構(6)包括固定片，所述固定片邊緣均勻設有若干凸點，凸點的凸起方向向下。

3.根據權利要求1所述的一種混合集成電路自動鍵合兼容夾具，其特征在于，所述底座(1)側面底部設有若干熱偶放置孔(7)和若干加熱管放置孔(8)，所述加熱模塊包括若干熱偶和若干加熱管，所述熱偶設置在熱偶放置孔(7)中，所述加熱管設置在加熱管放置孔(8)中。

4.根據權利要求1所述的一種混合集成電路自動鍵合兼容夾具，其特征在于，所述移動夾緊模塊包括推塊，所述推塊與若干根推桿相連，所述推塊設置在放置腔(4)內，所述底座(1)與放置臺階(5)對稱側壁上設有若干第一推桿螺孔(2)，每根推桿穿過一個第一推桿螺孔(2)。

5.根據權利要求3所述的一種混合集成電路自動鍵合兼容夾具，其特征在于，所述底座(1)底面上設有若干第一頂絲螺孔(9)，每個熱偶放置孔(7)或加熱管放置孔(8)下方都對應一個第一頂絲螺孔(9)。

6.根據權利要求4所述的一種混合集成電路自動鍵合兼容夾具，其特征在于，所述推桿遠離底座(1)的一端設有推把(13)，所述推桿與推塊相連的一端設有推桿槽(14)，所述推把(13)和推桿槽(14)之間通過長桿相連。

7.根據權利要求6所述的一種混合集成電路自動鍵合兼容夾具，其特征在于，所述推塊與第一推桿螺孔(2)相鄰側面設有若干推塊直孔(11)，所述推塊直孔(11)與第一推桿螺孔(2)位置、數量和大小都相同，所述推塊頂部設有若干第二頂絲螺孔(10)，所述第二頂絲螺孔(10)設置在推塊直孔(11)正上方，每個第二頂絲螺孔(10)對應一個推塊直孔(11)，所述推塊與放置臺階(5)相鄰側面的底部設有推塊臺階(12)。

8.根據權利要求6所述的一種混合集成電路自動鍵合兼容夾具，其特征在于，所述推塊臺階(12)為長方體，高度與放置臺階(5)相同，所述推塊臺階(12)與放置臺階(5)頂部處于同一水平面。

9.根據權利要求6所述的一種混合集成電路自動鍵合兼容夾具，其特征在于，所述推塊和每根推桿之間，通過推桿槽(14)和第二頂絲螺孔(10)內的頂絲固定連接。

10.一種混合集成電路自動鍵合兼容夾具的使用方法，基于權利要求1-9中任一項所述的一種混合集成電路自動鍵合兼容夾具，其特征在于，包括以下步驟：

通過設備嵌套結構(6)將底座(1)嵌套在鍵合設備上，再通過第一螺孔(15)和螺栓將底座(1)固定在鍵合設備上；

將待加工產品放入放置腔(4)內，卡在放置臺階(5)和移動夾緊模塊之間；

通過移動夾緊模塊夾緊待加工產品；

控制加熱模塊持續放熱直至加工結束；

加工結束后控制移動夾緊模塊遠離待加工產品。