[發明專利]一種反應腔裝置及微波等離子體氣相沉積系統

有效

• 申請號: 202210378897.6
• 申請日: 2022-04-12
• 公開（公告）號: CN114457323B
• 公開（公告）日: 2022-08-02
• 發明（設計）人: 黃春林;陳森林;李俊宏;季宇
• 申請（專利權）人: 成都紐曼和瑞微波技術有限公司
• 主分類號: C23C16/511
• 分類號: C23C16/511;C23C16/52
• 代理公司: 北京卓恒知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11394
• 代理人: 孔鵬

1.一種反應腔裝置，其特征在于，包括用于微波等離子體氣相沉積系統的反應腔殼體，所述反應腔殼體一端設置有調節組件，另一端設置有封堵組件；或者，所述反應腔殼體的兩端均設置有調節組件；

所述封堵組件與所述反應腔殼體密封連接；

所述調節組件包括滑塊、套筒、端蓋和內筒，所述滑塊用于滑動插接在反應腔殼體內，并能夠被固定于預設位置；所述反應腔殼體內能夠形成密閉腔體；

所述套筒套設在所述滑塊上，所述套筒一端與所述反應腔殼體端部連接，另一端與所述端蓋連接；

所述內筒一端與所述端蓋密封連接，另一端與所述滑塊密封連接；所述內筒軸向可伸縮。

2.根據權利要求1所述的反應腔裝置，其特征在于，所述調節組件還包括外筒，所述外筒設置在所述套筒內，并套設在所述內筒上；所述外筒一端與所述端蓋密封連接，另一端與所述反應腔殼體端部連接。

3.根據權利要求1所述的反應腔裝置，其特征在于，所述內筒能夠給所述滑塊施加推力。

4.根據權利要求1所述的反應腔裝置，其特征在于，所述反應腔殼體的兩端均設置有所述調節組件；

所述反應腔裝置還包括拉動組件，所述拉動組件包括卷筒及兩根拉繩，所述卷筒分別通過兩個拉繩與兩個所述滑塊連接，所述卷筒收繩時，所述滑塊能夠相互遠離。

5.根據權利要求1所述的反應腔裝置，其特征在于，所述調節組件處設置有進氣組件；

所述進氣組件包括分氣盤及進氣管，所述分氣盤與對應所述調節組件的滑塊外端面連接，所述分氣盤上設置有多個氣孔，對應的滑塊上設置有多個氣道，所述多個氣道與所述反應腔殼體內腔連通，并分別與所述多個氣孔連通；

所述進氣管可滑動地穿過對應所述調節組件的端蓋，所述進氣管的內端設置有分氣罩，所述分氣罩罩設在所述分氣盤上形成氣體緩存空間；所述進氣管與所述氣體緩存空間連通。

6.根據權利要求5所述的反應腔裝置，其特征在于，所述分氣罩設置有通孔，所述通孔靠近所述分氣盤的一端設置有倒角，另一端與所述進氣管連通；

所述分氣盤上設置有錐形凸部，所述錐形凸部的端部位于所述通孔內，所述錐形凸部的錐形面與所述倒角的內面間隙設置。

7.根據權利要求1所述的反應腔裝置，其特征在于，所述滑塊的內端面上設置有安裝筒，所述安裝筒一端密封設置有安裝板，另一端與所述滑塊密封連接；所述安裝板的外端面用于固定待鍍膜桿件；

所述安裝筒內還設置有進水管，所述進水管一端與所述滑塊的內端面連接，另一端與所述安裝板間隙設置；所述進水管的外圓周面與所述安裝筒的內圓周面之間形成水流夾層；

所述滑塊上還設置有進水通道及出水通道，所述進水通道與所述進水管連通，所述出水通道與所述水流夾層連通。

8.根據權利要求1所述的反應腔裝置，其特征在于，所述封堵組件包括拆卸桿；所述拆卸桿與所述反應腔殼體可拆卸連接，所述拆卸桿的內端端面設置有固定筒，所述固定筒用于固定待鍍膜桿件。

9.一種微波等離子體氣相沉積系統，其特征在于，包括微波源、微波傳輸組件及權利要求1-8任一項所述的反應腔裝置，所述微波源通過所述微波傳輸組件與所述反應腔裝置連接。