[發明專利]一種基于高溫等離子的真空封管裝置及方法

有效

• 申請號: 202210373611.5
• 申請日: 2022-04-11
• 公開（公告）號: CN114537795B
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發明（設計）人: 王瑞;莫琴
• 申請（專利權）人: 武漢是維光電科技有限公司
• 主分類號: B65B51/22
• 分類號: B65B51/22;B65B31/04;B23K10/02
• 代理公司: 深圳信科專利代理事務所(普通合伙) 44500
• 代理人: 姜威

本發明公開了一種基于高溫等離子的真空封管裝置，包括真空封管機、抽真空管機構、第一活動臺、第二活動臺和高溫等離子燒結機構，所述真空封管機的右側面上部安裝有抽真空管機構，所述左側架和右側架的下端垂直固定在底座的上端面，且左側架的下部內開設有凹槽，并且凹槽的中部安裝有第一絲桿；所述第一活動臺的上端面活動設置有第二活動臺,且高溫等離子燒結機構安裝在第二活動臺的上端。本發明是采用高溫等離子作為熱源對管狀物焊接，且等離子溫度可調，方便手動和PLC自動控制；可密封不同材質、管徑和壁厚的管件、使用范圍更廣泛，且可密封不同類型的管狀對象，設置更智能便利，使用更安全穩定可靠。

技術領域

本發明涉及真空封管相關技術領域，具體為一種基于高溫等離子的真空封管裝置及方法。

背景技術

隨著先進電子材料器件市場快速增長的需求，需采用真空封管制備工藝生長制備高性能材料器件，真空封管的普遍推廣和廣泛用途也在日新月異的變化中。為了提高材料器件制造工藝的可靠穩定性，人們也將一些磁流體旋轉結構和密封引入到了真空封管設備中。傳統的封管工藝為手動旋轉加熱器，用易燃易爆氣體（如氫氣氧氣，乙炔、甲烷等）燃燒的熱源加熱管件進行密封，用氣體燃燒高溫熔融工件即管件進而達到密封目的，這種采用燃氣封管的技術安全性不高，極易發生燃氣泄漏引發爆炸等重大安全事故，且只能熔融普通玻璃制品，可靠性差，無法熔融一些金屬管件，使用不安全、不可靠、不智能、不環保。而采用高溫等離子做為熱源進行真空封管能有效避免傳統封管存在的安全風險，防止出現安全事故，能安全高效、可靠穩定、環保節能的解決先進電子材料器件研發生產中的真空封管工藝。

發明內容

發明的目的在于提供一種基于高溫等離子的真空封管裝置及方法，以解決上述背景技術中提出的現有的管狀物封裝或封裝設備都是利用可燃性氣體溫熔融管口進行封裝，安全性不高，且易發生爆炸等事故，且只能熔融玻璃制品，無法熔融一些金屬管狀物，使用并不智能安全可靠的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種基于高溫等離子的真空封管裝置，包括真空封管機、抽真空管機構、第一活動臺、第二活動臺和高溫等離子燒結機構，所述真空封管機的右側面上部安裝有抽真空管機構，且真空封管機的左側面中部固定有左旋軸,左旋軸的另一端穿過左側架設置，并且左旋軸的左端安裝在左側架左側面上端的第一電機上，所述真空封管機的右側面中部固定有右旋軸，且右旋軸的右端穿過右旋軸設置；

所述左側架和右側架的下端垂直固定在底座的上端面，且左側架的下部內開設有凹槽，并且凹槽的中部安裝有第一絲桿，同時第一絲桿上活動設置有第三活動臺，且左右兩邊的兩組第三活動臺之間活動設置有第一活動臺；

所述第一活動臺的上端面活動設置有第二活動臺,且高溫等離子燒結機構安裝在第二活動臺的上端。

作為進一步的技術方案所述真空封管機的前側面設置有前操控面板,前操控面板上設置有三組管體旋轉電機開關按鈕和第二按鈕，每組管體旋轉電機開關按鈕和一組第二按鈕上下對齊設置，且真空封管機的下端面設置有三組上連接座，上連接座的下端設置有下接口，并且下接口下依次安裝有密封墊圈和管接口，并且管接口下安裝有管狀物，同時管接口和管狀物之間通過調節夾安裝在一起。

作為進一步的技術方案所述凹槽內前后兩部均設置有第一導向桿，且第三活動臺的中部活動連接在第一絲桿中，第一絲桿的上端安裝在第二電機下，第一絲桿的下端轉動連接在底座上安裝槽內，第三活動臺的前后兩部分別套置在第一導向桿內，并且第三活動臺在垂直方向上升降活動。

作為進一步的技術方案所述抽真空管機構的中部安裝有氣壓表,氣壓表下設置有氣壓調節閥，且抽真空管機構的右部設置有主流控制閥，且主流控制閥的下方設置有分流控制閥，并且抽真空管機構的右端設置有氣管接口。