[發(fā)明專利]一種基于高溫等離子的真空封管裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210373611.5
• 申請日: 2022-04-11
• 公開（公告）號: CN114537795B
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王瑞;莫琴
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢是維光電科技有限公司
• 主分類號: B65B51/22
• 分類號: B65B51/22;B65B31/04;B23K10/02
• 代理公司: 深圳信科專利代理事務(wù)所(普通合伙) 44500
• 代理人: 姜威

1.一種基于高溫等離子的真空封管裝置，包括真空封管機（1）、抽真空管機構(gòu)（3）、第一活動臺（7）、第二活動臺（8）和高溫等離子燒結(jié)機構(gòu)（9），其特征在于：所述真空封管機（1）的右側(cè)面上部安裝有抽真空管機構(gòu)（3），所述抽真空管機構(gòu)（3）的中部安裝有氣壓表（30）,氣壓表（30）下設(shè)置有氣壓調(diào)節(jié)閥（33），且抽真空管機構(gòu)（3）的右部設(shè)置有主流控制閥（31），且主流控制閥（31）的下方設(shè)置有分流控制閥（34），并且抽真空管機構(gòu)（3）的右端設(shè)置有氣管接口（32）；且真空封管機（1）的左側(cè)面中部固定有左旋軸（14）,左旋軸（14）的另一端穿過左側(cè)架（4）設(shè)置，并且左旋軸（14）的左端安裝在左側(cè)架（4）左側(cè)面上端的第一電機（40）上，所述真空封管機（1）的右側(cè)面中部固定有右旋軸（15），且右旋軸（15）的右端穿過右旋軸（15）設(shè)置；所述真空封管機（1）的前側(cè)面設(shè)置有前操控面板（10）,前操控面板（10）上設(shè)置有三組管體旋轉(zhuǎn)電機開關(guān)按鈕（11）和第二按鈕（12），每組管體旋轉(zhuǎn)電機開關(guān)按鈕（11）和一組第二按鈕（12）上下對齊設(shè)置，且真空封管機（1）的下端面設(shè)置有三組上連接座（13），上連接座（13）的下端設(shè)置有下接口（16），并且下接口（16）下依次安裝有密封墊圈（17）和管接口（18），并且管接口（18）下安裝有石英管（2），同時管接口（18）和石英管（2）之間通過調(diào)節(jié)夾（19）安裝在一起；

所述左側(cè)架（4）和右側(cè)架（5）的下端垂直固定在底座（6）的上端面，且左側(cè)架（4）的下部內(nèi)開設(shè)有凹槽（47），并且凹槽（47）的中部安裝有第一絲桿（44），所述凹槽（47）內(nèi)前后兩部均設(shè)置有第一導(dǎo)向桿（48），且第三活動臺（45）的中部活動連接在第一絲桿（44）中，第一絲桿（44）的上端安裝在第二電機（43）下，第一絲桿（44）的下端轉(zhuǎn)動連接在底座（6）上安裝槽（60）內(nèi)，第三活動臺（45）的前后兩部分別套置在第一導(dǎo)向桿（48）內(nèi)，并且第三活動臺（45）在垂直方向上升降活動；同時第一絲桿（44）上活動設(shè)置有第三活動臺（45），且左右兩邊的兩組第三活動臺（45）之間活動設(shè)置有第一活動臺（7）；

所述第一活動臺（7）的上端面活動設(shè)置有第二活動臺（8）,且高溫等離子燒結(jié)機構(gòu)（9）安裝在第二活動臺（8）的上端；所述高溫等離子燒結(jié)機構(gòu)（9）上設(shè)置有軸銷（90），且軸銷（90）上鉸接有兩組夾板（92），且前后兩組夾板（92）之間夾持有高溫等離子發(fā)射焊槍（93），并且前后兩組夾板（92）的上部之間安裝有鎖緊螺栓（91），并且高溫等離子發(fā)射焊槍（93）與左側(cè)架（4）左側(cè)面上部的高溫等離子PLC操控臺（41）之間連接有連接管（42），且高溫等離子發(fā)射焊槍（93）為拆卸結(jié)構(gòu)；所述第二活動臺（8）的底端設(shè)置有滑塊（80），且第一活動臺（7）的上端面設(shè)置有直線滑軌（72）,滑塊（80）滑動連接在直線滑軌（72）上，并且第二活動臺（8）在水平方向上前后移動活動；所述第二活動臺（8）的下部設(shè)置有安裝座（83）,安裝座（83）的右側(cè)面設(shè)置有右固定板（84）,右固定板（84）上垂直固定有右套桿（85）,右套桿（85）上套置有第二齒輪（86），且安裝座（83）的中心轉(zhuǎn)動連接有安裝軸（81）,安裝軸（81）的下部套置有第一齒輪（82），并且第一齒輪（82）與第二齒輪（86）之間齒動連接在一起；所述第一活動臺（7）的中部活動連接在第二絲桿（70）上，且第二絲桿（70）的左端安在第三活動臺（45）的左側(cè)面中心的第三電機（46）上，第二絲桿（70）的右端轉(zhuǎn)動連接在右側(cè)的第三活動臺（45）中，并且第一活動臺（7）的前后兩部均套置在一組第二導(dǎo)向桿（71）上，第二導(dǎo)向桿（71）固定在兩邊的第三活動臺（45）之間，且第一活動臺（7）在水平方向上左右移動活動；

所述的一種基于高溫等離子的真空封管方法，包括連接分子泵、在真空封管機上安裝石英管、裝樣前抽真空處理、石英管縮頸處理、裝樣、裝樣后抽真空處理、充入保護氣體和石英管封接，

步驟一：連接分子泵；真空封管機接口連接25轉(zhuǎn)16的變徑，使用卡箍鎖緊，使用KF25波紋管的一端連接真空封管機的變徑接口，KF25波紋管的另一端連接分子泵組接口，并與卡箍鎖緊；

步驟二：在真空封管機上安裝石英管；使用卡箍將管接頭鎖緊在真空封管機上，擰開管接頭，安裝一定的順序?qū)⑹⒐苓B接在管接頭上；

步驟三：裝樣前抽真空處理；開啟分子泵組，擰開分流抽真空控制閥，當(dāng)壓力表達到負(fù)壓值-1bar后，可擰緊分流抽真空控制閥并暫停分子泵組，停止抽真空；

步驟四：石英管縮頸處理；開啟抽真空封管機綠色電機開關(guān)，通過速度調(diào)節(jié)旋鈕控制旋轉(zhuǎn)速度，擰松高溫等離子發(fā)射焊槍夾持裝置的固定螺絲，將高溫等離子發(fā)射焊槍安裝到夾持裝置上，擰緊固定，擰開高溫等離子發(fā)射焊槍調(diào)節(jié)閥產(chǎn)氣，然后點燃高溫等離子發(fā)射焊槍，對石英管中部預(yù)熱，之后將發(fā)射焰挪到石英管需要縮頸的對應(yīng)位置，開始燒結(jié)縮頸，帶上護目鏡，觀察燒結(jié)情況，看到石英管縮頸部位明顯燒熔凹陷即完成縮頸，快速擰緊高溫等離子發(fā)射焊槍調(diào)節(jié)閥停止燒結(jié)，關(guān)閉真空封管機電機開關(guān)，擰開放氣口泄壓后關(guān)閉放氣口，帶上防護手套，擰開管接頭，取下石英管，放入試管架冷卻；

步驟五：裝樣，將樣品放入管狀物內(nèi)，將裝樣后的管狀物連接在管接頭上；

步驟六：裝樣后抽真空處理；開啟抽真空管機，要緩慢擰開分流抽真空控制閥，以免樣品被抽出，當(dāng)壓力表達到負(fù)壓值-1bar后，可以緩慢擰開主流抽真空控制閥，擰緊分流抽真空控制閥，在分子泵組面板上查看抽真空度數(shù)，達到想要的高真空度值后即可擰緊主流抽真空控制閥；

步驟七：充入保護氣體；將充氣設(shè)備的充氣管插入到真空封管機充氣口，緩慢擰開充氣口控制閥，壓力表指針指向負(fù)壓中間值-0.6bar時，快速關(guān)閉充氣口控制閥；

步驟八：管狀物封接；擰開等離子電源開關(guān)，打開等離子發(fā)射焊槍，將等離子發(fā)射焊槍對準(zhǔn)管狀物縮頸部位開始燒結(jié)封管，看到管狀柱體管狀管壁燒結(jié)熔融在一起即完成封管，立即擰緊高溫等離子發(fā)射焊槍調(diào)節(jié)閥停止燒結(jié)；

所述的一種基于高溫等離子的真空封管裝置應(yīng)用于一種基于高溫等離子的真空封管方法中。