[發(fā)明專利]電子級(jí)SF6

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210373285.8
• 申請(qǐng)日: 2022-04-11
• 公開（公告）號(hào): CN114873568B
• 公開（公告）日: 2022-11-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉志強(qiáng);曾熙;邱玲;賴甜華;胡進(jìn)軍;張曉明;黃華華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 福建德爾科技股份有限公司
• 主分類號(hào): C01B17/45
• 分類號(hào): C01B17/45
• 代理公司: 廈門原創(chuàng)專利事務(wù)所(普通合伙) 35101
• 代理人: 黃一敏

本發(fā)明提供了一種電子級(jí)SF₆精餾前處理系統(tǒng)，用于將SF₆發(fā)生器產(chǎn)生并經(jīng)過裂解塔裂解的SF₆粗氣進(jìn)行水洗、堿洗、低壓吸附以及高壓吸附。其包括順序串聯(lián)的電子級(jí)SF₆水洗裝置、電子級(jí)SF₆堿洗裝置、電子級(jí)SF₆低壓吸附裝置以及電子級(jí)SF₆高壓吸附裝置；所述電子級(jí)SF₆低壓吸附裝置包括多級(jí)串聯(lián)的硅膠低壓吸附塔以及多級(jí)串聯(lián)的所述鋁膠低壓吸附塔；所述電子級(jí)SF₆高壓吸附裝置包括順序串聯(lián)的隔膜壓縮機(jī)、除油器、活性炭高壓吸附塔、5A高壓吸附塔、鋁膠高壓吸附塔、13X高壓吸附塔以及F03高壓吸附塔。在13X、F?03分子篩前設(shè)置鋁膠吸附去SF₄，這樣不僅可以降低S0₂、SO₂F₂對(duì)13X、F?03分子篩的影響，還可以保證低硫氟化物均可除去。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種電子級(jí)SF₆精餾前處理系統(tǒng)。

背景技術(shù)

目前，SF₆是新一代超高壓絕緣介質(zhì)材料。作為良好的氣體絕緣體，被廣泛用于電子、電氣設(shè)備的氣體絕緣。電子級(jí)高純SF₆是一種理想的電子蝕刻劑，廣泛應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域，用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。在光纖制備中用作生產(chǎn)摻氟玻璃的氟源，在制造低損耗優(yōu)質(zhì)單模光纖中用作隔離層的摻雜劑。還可用作氮準(zhǔn)分子激光器的摻加氣體。在氣象、環(huán)境檢測(cè)及其他部門用作示蹤劑、標(biāo)準(zhǔn)氣或配制標(biāo)準(zhǔn)混合氣。在高壓開關(guān)中用作滅弧和大容量變壓器絕緣材料。也可用于粒子加速器及避雷器中。利用其化學(xué)穩(wěn)定性好和對(duì)設(shè)備不腐蝕等特點(diǎn)，在冷凍工業(yè)上可用作冷凍劑(操作溫度－45～0℃之間)。由于對(duì)α粒子有高度的停止能力，還用于放射化學(xué)。

在工業(yè)化生產(chǎn)過程一般將氟氣和硫蒸氣反應(yīng)制備SF₆。制備的SF₆粗氣一般需要經(jīng)過高溫裂解、水洗、堿洗、低壓吸附、高壓吸附以及精餾等步驟，才能獲得電子級(jí)的SF₆氣體。在精餾前處理過程中，反應(yīng)副產(chǎn)物低氟化物可先通過水洗堿洗除去一部分，但粗氣中微量的低氟化物單靠水洗、堿洗的凈化方法難以除去，仍需采取吸附的方式進(jìn)一步除去低氟化物。然而，吸附可供選擇吸附劑種類繁多，過往選擇的吸附劑存在配置不合理，造成費(fèi)用高，效果差的局面。尤其是13X、F-03分子篩，其選擇吸附凈化次序不合理，使得吸附劑效率降低，吸附能力不能最優(yōu)化，增加生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供了一種電子級(jí)SF₆精餾前處理系統(tǒng)，可以有效解決上述問題。

本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的：

本發(fā)明提供一種電子級(jí)SF₆精餾前處理系統(tǒng)，用于將SF₆發(fā)生器產(chǎn)生并經(jīng)過裂解塔裂解的SF₆粗氣進(jìn)行水洗、堿洗、低壓吸附以及高壓吸附。其包括順序串聯(lián)的電子級(jí)SF₆水洗裝置、電子級(jí)SF₆堿洗裝置、電子級(jí)SF₆低壓吸附裝置以及電子級(jí)SF₆高壓吸附裝置；

所述電子級(jí)SF₆低壓吸附裝置包括多級(jí)串聯(lián)的硅膠低壓吸附塔以及多級(jí)串聯(lián)的所述鋁膠低壓吸附塔；

所述電子級(jí)SF₆高壓吸附裝置包括順序串聯(lián)的隔膜壓縮機(jī)、除油器、活性炭高壓吸附塔、5A高壓吸附塔、鋁膠高壓吸附塔、13X高壓吸附塔以及 F03高壓吸附塔。

作為進(jìn)一步改進(jìn)的，所述活性炭高壓吸附塔包括2-3級(jí)串聯(lián)的高壓吸附塔；所述5A高壓吸附塔包括2-3級(jí)串聯(lián)的高壓吸附塔；所述鋁膠高壓吸附塔包括1-2級(jí)串聯(lián)的高壓吸附塔；13X高壓吸附塔包括2-3級(jí)串聯(lián)的高壓吸附塔；F03高壓吸附塔包括4-5級(jí)串聯(lián)的高壓吸附塔。