[發明專利]電子級SF6

有效

• 申請號: 202210373285.8
• 申請日: 2022-04-11
• 公開（公告）號: CN114873568B
• 公開（公告）日: 2022-11-11
• 發明（設計）人: 劉志強;曾熙;邱玲;賴甜華;胡進軍;張曉明;黃華華
• 申請（專利權）人: 福建德爾科技股份有限公司
• 主分類號: C01B17/45
• 分類號: C01B17/45
• 代理公司: 廈門原創專利事務所(普通合伙) 35101
• 代理人: 黃一敏

1.一種電子級SF₆精餾前處理系統，用于將SF₆發生器產生并經過裂解塔裂解的SF₆粗氣進行水洗、堿洗、低壓吸附以及高壓吸附，其特征在于，包括順序串聯的電子級SF₆水洗裝置(10)、電子級SF₆堿洗裝置(20)、電子級SF₆低壓吸附裝置(30)以及電子級SF₆高壓吸附裝置(40)；

所述電子級SF₆低壓吸附裝置(30)包括多級串聯的硅膠低壓吸附塔(31)以及多級串聯的鋁膠低壓吸附塔(32)；

所述電子級SF₆高壓吸附裝置(40)包括順序串聯的隔膜壓縮機(41)、除油器(42)、活性炭高壓吸附塔(43)、5A高壓吸附塔(44)、鋁膠高壓吸附塔(45)、13X高壓吸附塔(46)以及F03高壓吸附塔(47)；

所述電子級SF₆水洗裝置(10)包括多級串聯的水洗塔(11)，其中，一級水洗塔(11)進一步連接外部輸出管路(p)，用于當一級水洗塔(11)內的酸濃度達到標準后通過外部輸出管路(p)向外部輸出；后一級水洗塔(11)進一步連接前一級水洗塔(11)，從而將后一級水洗塔(11)的溶液向前一級水洗塔(11)泵入富集濃縮；最后一級水洗塔(11)進一步連接外部輸入管路(O)，從而向最后一級水洗塔(11)輸入純凈水；

每一水洗塔(11)包括設置于底部的第一容置腔(118)以及頂部的第一噴淋單元(119)；所述第一噴淋單元(119)內部進一步設置多個緩流管道(1190)，每一緩流管道沿其高度方向進一步設置多個緩流腔(1191)，所述緩流腔(1191)交錯設置，形成流動通道；所述緩流腔(1191)為耳蝸狀緩流結構，且沿豎直方向排列成兩排，其中一排的耳蝸狀緩流結構頂部正對另一排耳蝸狀緩流結構的中部。

2.如權利要求1所述的電子級SF₆精餾前處理系統，其特征在于，所述活性炭高壓吸附塔(43)包括2-3級串聯的高壓吸附塔；所述5A高壓吸附塔(44)包括2-3級串聯的高壓吸附塔；所述鋁膠高壓吸附塔(45)包括1-2級串聯的高壓吸附塔；13X高壓吸附塔(46)包括2-3級串聯的高壓吸附塔；F03高壓吸附塔(47)包括4-5級串聯的高壓吸附塔。

3.如權利要求1所述的電子級SF₆精餾前處理系統，其特征在于，所述除油器(42)以及所述活性炭高壓吸附塔(43)用于去除氣體中殘留的油脂。

4.如權利要求1所述的電子級SF₆精餾前處理系統，其特征在于，所述電子級SF₆堿洗裝置(20)包括多級串聯的堿洗塔(21)，其中，一級堿洗塔(21)進一步連接循環管路(R)，用于當一級堿洗塔(21)內的溶液濃度達到設定值后通過循環管路(R)向外部輸出；后一級堿洗塔(21)進一步連接前一級堿洗塔(21)，從而將后一級堿洗塔(21)的溶液向前一級堿洗塔(21)泵入富集濃縮；最后一級堿洗塔(21)進一步連接循環管路(Q)，從而向最后一級堿洗塔(21)輸入純堿液。

5.如權利要求4所述的電子級SF₆精餾前處理系統，其特征在于，所述循環管路(R)及所述循環管路(Q)之間形成回路，所述回路用于提純堿液。

6.如權利要求5所述的電子級SF₆精餾前處理系統，其特征在于，所述回路設置第一堿液再生攪拌釜(23)用于去除堿液中的硫酸根、亞硫酸根離子以及氟離子，具體的，獲取硫酸根以及亞硫酸根離子的總濃度，得出所需加入的Ca²⁺的量，以便可除去硫酸根以及亞硫酸根離子。

7.如權利要求5所述的電子級SF₆精餾前處理系統，其特征在于，所述回路設置第二堿液再生攪拌釜(27)用于補加KOH。