[發明專利]用于晶圓涂覆玻璃粉的盛料轉移裝置

有效

• 申請號: 202210372842.4
• 申請日: 2022-04-11
• 公開（公告）號: CN114433444B
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發明（設計）人: 李健兒;馮艾誠;馮永;胡仲波;蔣紅全;周建余
• 申請（專利權）人: 四川上特科技有限公司
• 主分類號: B05C13/02
• 分類號: B05C13/02;H01L21/687;H01L21/677
• 代理公司: 成都誠中致達專利代理有限公司 51280
• 代理人: 楊春

1.一種用于晶圓涂覆玻璃粉的盛料轉移裝置，其特征在于，包括：

料框（20），料框（20）包括水平間隔設置的支撐桿（21），支撐桿（21）的頂面沿長度方向開設有多處弧形槽（211），料框（20）的兩側均設有側擋桿（22），側擋桿（22）可沿晶圓的外側上下滑動，側擋桿（22）沿長度方向設有限位輪（221），限位輪（221）轉動設于側擋桿（22），限位輪（221）圓周的中段均呈圓弧凹陷結構，弧形槽（211）與限位輪（221）組合使用，均用于與晶圓的圓周側面接觸；

取料部件（30），設于料框（20）上方，取料部件（30）設有多組夾持組件（31），夾持組件（31）均包括一對卡爪（32），卡爪（32）下段朝中部彎曲，卡爪（32）的下端均設有滾輪（33），用于與晶圓的外壁滾動接觸，卡爪（32）向下移動時，可推動側擋桿（22）沿著晶圓的外壁向下移動，卡爪（32）之間的間距可根據與晶圓的接觸部位自行調節；

卡爪（32）之間設有具有彈性的彈性帶（36），彈性帶（36）的兩端分別連接于兩側的卡爪（32）中段，彈性帶（36）的寬度大于晶圓的厚度，當晶圓處于夾持組件（31）內時，彈性帶（36）的中段與晶圓的頂部圓弧外壁接觸，且彈性帶（36）呈繃緊狀態，以使卡爪（32）向中間收攏，彈性帶（36）施加給晶圓向下的力小于彈性帶（36）施加給卡爪（32）的拉力。

2.根據權利要求1所述的用于晶圓涂覆玻璃粉的盛料轉移裝置，其特征在于，支撐桿（21）沿長度方向間隔設有多塊金屬制成的圓形隔板（23），隔板（23）的直徑大于晶圓的直徑，且當晶圓放置于料框（20）時，晶圓與隔板（23）同軸，弧形槽（211）及限位輪（221）均位于隔板（23）之間，至少兩塊隔板（23）兩側的外壁下段沿圓弧面設有圓弧結構的滑槽（231），側擋桿（22）穿設于滑槽（231）內，側擋桿（22）沿著滑槽（231）的軌跡上下移動。

3.根據權利要求2所述的用于晶圓涂覆玻璃粉的盛料轉移裝置，其特征在于，位于料框（20）兩端的隔板（23）的外壁設有彈簧片（24），彈簧片（24）的中段連接于隔板（23），彈簧片（24）的兩端分別設于兩側的側擋桿（22）下方，彈簧片（24）處于自然狀態時，側擋桿（22）位于隔板（23）的腰部，此時晶圓的側壁正好與限位輪（221）中段的凹陷部位接觸。

4.根據權利要求1所述的用于晶圓涂覆玻璃粉的盛料轉移裝置，其特征在于，卡爪（32）的內壁具有凹槽（321），凹槽（321）的寬度大于晶圓的厚度，凹槽（321）的截面為圓弧結構。

5.根據權利要求1所述的用于晶圓涂覆玻璃粉的盛料轉移裝置，其特征在于，滾輪（33）圓周的中段均呈圓弧凹陷結構，且凹陷部位的寬度大于晶圓的厚度。

6.根據權利要求1所述的用于晶圓涂覆玻璃粉的盛料轉移裝置，其特征在于，滾輪（33）的外徑小于限位輪（221）中段的外徑。

7.根據權利要求1所述的用于晶圓涂覆玻璃粉的盛料轉移裝置，其特征在于，夾持組件（31）還包括導軌（34），卡爪（32）的上端均滑動設于導軌（34），導軌（34）的兩端與對應的卡爪（32）之間均設有彈簧（35），彈簧（35）呈自然狀態時，卡爪（32）移向導軌（34）的中部。

8.根據權利要求1所述的用于晶圓涂覆玻璃粉的盛料轉移裝置，其特征在于，取料部件（30）設于一升降裝置（37）的伸縮桿上，通過升降裝置（37）控制取料部件（30）上升及下降，升降裝置（37）設于一直線輸送模塊（38），以轉移晶圓。