[發明專利]一種晶圓單片式清洗機腔室密封罩的升降調節機構

在審

• 申請號: 202210370994.0
• 申請日: 2022-04-08
• 公開（公告）號: CN114939564A
• 公開（公告）日: 2022-08-26
• 發明（設計）人: 焦明印;孔祥振;李為一
• 申請（專利權）人: 南京華易泰電子科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 深圳市廣諾專利代理事務所(普通合伙) 44611
• 代理人: 張曉璐

1.一種晶圓單片式清洗機腔室密封罩的升降調節機構，包括：機臺底板(1)，其特征在于：所述機臺底板(1)的頂部固定連接有內罩(2)，所述內罩(2)的表面設置有外罩(3)，所述外罩(3)的底部開設有工作槽(22)，所述外罩(3)的一側設置有安裝板(4)，所述安裝板(4)底部的前側固定連接有氣缸一(5)，所述氣缸一(5)的輸出端固定連接有固定板(6)，所述固定板(6)底部的中心處固定連接有氣缸二(7)，所述氣缸二(7)的輸出端固定連接有壓板(8)，所述壓板(8)的表面固定連接有支撐板(9)，所述支撐板(9)的一側與固定板(6)固定連接，所述壓板(8)的前側和后側均通過轉軸轉動連接有杠板(10)，所述杠板(10)的表面轉動連接有支撐桿(11)，所述支撐桿(11)的頂端與機臺底板(1)固定連接，所述杠板(10)的一側固定連接有連接板(12)，所述連接板(12)的一側固定連接有U形接頭(13)，所述U形接頭(13)的內腔轉動連接有傳動結構(14)，所述傳動結構(14)的一側延伸至工作槽(22)的內腔，所述機臺底板(1)頂部的前側和后側均開設有與傳動結構(14)相適配的通孔一，所述機臺底板(1)底部的前側和后側均固定連接有兩個固定桿(16)，兩個固定桿(16)的底端共同固定連接有承載板(17)，所述承載板(17)的頂部固定連接有單桿氣缸(18)，所述單桿氣缸(18)的輸出端固定連接有浮動接頭(19)，所述浮動接頭(19)的頂部固定連接有升降桿二(20)，所述機臺底板(1)頂部的前側和后側均開設有與升降桿二(20)相適配的通孔二，所述升降桿二(20)的頂端延伸至工作槽(22)的內腔并固定連接有連接塊(21)，所述連接塊(21)的一側與外罩(3)固定連接。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓單片式清洗機腔室密封罩的升降調節機構，其特征在于：所述傳動結構(14)包含有兩個升降桿一(1401)，位于底部的升降桿一(1401)的底端延伸至U形接頭(13)內腔并與U形接頭(13)轉動連接，兩個升降桿一(1401)相對的一端分別固定連接有球套(1402)和球塊(1403)，所述球塊(1403)位于球套(1402)的內腔并與球套(1402)活動連接，位于頂部的升降桿一(1401)表面的頂部套設有套桿(1404)。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓單片式清洗機腔室密封罩的升降調節機構，其特征在于：所述安裝板(4)的一側開設有四個等間距分布的安裝孔(23)。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓單片式清洗機腔室密封罩的升降調節機構，其特征在于：所述安裝板(4)和支撐板(9)的底部均固定連接有緩沖結構(24)，兩個緩沖結構(24)的底端分別與固定板(6)和壓板(8)固定連接，兩個緩沖結構(24)包含有分別與安裝板(4)和支撐板(9)固定連接的外殼(2401)，所述外殼(2401)內腔的頂部固定連接有彈簧(2402)，所述彈簧(2402)的底端固定連接有緩沖柱(2403)，兩個緩沖柱(2403)的底端均延伸至外殼(2401)的底部并分別與固定板(6)和壓板(8)固定連接，所述外殼(2401)內腔的兩側均開設有限位槽(2404)，所述限位槽(2404)的內腔滑動連接有限位塊(2405)，所述限位塊(2405)的一側延伸至限位槽(2404)的外側并與緩沖柱(2403)固定連接。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓單片式清洗機腔室密封罩的升降調節機構，其特征在于：所述機臺底板(1)的頂部開設有四個與內罩(2)相適配的流通孔(25)。

6.根據權利要求1所述的一種晶圓單片式清洗機腔室密封罩的升降調節機構，其特征在于：兩個支撐桿(11)的左側共同固定連接有補強板(26)。

7.根據權利要求2所述的一種晶圓單片式清洗機腔室密封罩的升降調節機構，其特征在于：所述通孔一的直徑大于球套(1402)的直徑。

8.根據權利要求1所述的一種晶圓單片式清洗機腔室密封罩的升降調節機構，其特征在于：所述內罩(2)的頂部固定連接有連接罩(27)，所述連接罩(27)為上窄下寬設置。