[發(fā)明專利]一種晶圓單片式清洗機(jī)腔室密封罩的升降調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210370994.0
• 申請(qǐng)日: 2022-04-08
• 公開（公告）號(hào): CN114939564A
• 公開（公告）日: 2022-08-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 焦明印;孔祥振;李為一
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京華易泰電子科技有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/02
• 分類號(hào): B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 深圳市廣諾專利代理事務(wù)所(普通合伙) 44611
• 代理人: 張曉璐

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶圓技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種晶圓單片式清洗機(jī)腔室密封罩的升降調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，包括：機(jī)臺(tái)底板，所述機(jī)臺(tái)底板的頂部固定連接有內(nèi)罩，所述內(nèi)罩的表面設(shè)置有外罩，所述外罩的底部開設(shè)有工作槽，所述外罩的一側(cè)設(shè)置有安裝板，所述安裝板底部的前側(cè)固定連接有氣缸一。本發(fā)明具備靈活高效、自動(dòng)化操作和效率高的優(yōu)點(diǎn)，在實(shí)際的使用過程中，外部設(shè)置，該升降調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)采取氣缸一和氣缸二加上傳動(dòng)結(jié)構(gòu)設(shè)置，不但提高了外罩的調(diào)節(jié)性，且使得外罩更加靈活高效，內(nèi)部設(shè)置，該升降調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)采取單桿氣缸和升降桿二進(jìn)行輔助升降，不但結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，且實(shí)用性高，最終使得該升降調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)具備更高的自動(dòng)化，且密封性好，效率高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶圓技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種晶圓單片式清洗機(jī)腔室密封罩的升降調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體晶圓的制造工藝較為復(fù)雜，不同的工序會(huì)使用不同的化學(xué)材料，所以半導(dǎo)體晶圓在制造過程中需要用到半導(dǎo)體晶圓清洗機(jī)，一般來說，半導(dǎo)體晶圓清洗機(jī)由于對(duì)工藝要求的不同會(huì)分為多種類型，晶圓單片式清洗機(jī)就是其中一種，由于晶圓單片式清洗機(jī)是對(duì)單片晶圓進(jìn)行清洗，因此其擁有比槽式清洗機(jī)更好的清洗效果，更能適應(yīng)于半導(dǎo)體新制程工藝。

但現(xiàn)有的晶圓單片式清洗機(jī)采用旋轉(zhuǎn)晶圓，然后通過四周的旋轉(zhuǎn)臂噴射清洗液等來達(dá)到清洗的目的，由于晶圓是旋轉(zhuǎn)狀態(tài)，清洗液等液體噴灑至晶圓表面時(shí)會(huì)由于離心力的作用往四周散去，造成飛濺，其次晶圓單片式清洗機(jī)的腔體形狀特殊，為圓形腔體，常規(guī)情況下密封罩也會(huì)做成圓形，將密封罩和腔體組裝為一體，這樣會(huì)導(dǎo)致清洗時(shí)不易升降，為解決上述問題，一種晶圓單片式清洗機(jī)腔室密封罩的升降調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，亟待開發(fā)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種晶圓單片式清洗機(jī)腔室密封罩的升降調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，具備靈活高效、自動(dòng)化操作和效率高的優(yōu)點(diǎn)，解決了現(xiàn)有的晶圓單片式清洗機(jī)采用旋轉(zhuǎn)晶圓，然后通過四周的旋轉(zhuǎn)臂噴射清洗液等來達(dá)到清洗的目的，由于晶圓是旋轉(zhuǎn)狀態(tài)，清洗液等液體噴灑至晶圓表面時(shí)會(huì)由于離心力的作用往四周散去，造成飛濺，其次晶圓單片式清洗機(jī)的腔體形狀特殊，為圓形腔體，常規(guī)情況下密封罩也會(huì)做成圓形，將密封罩和腔體組裝為一體的結(jié)構(gòu)所導(dǎo)致的清洗時(shí)不易升降的問題。

為達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種晶圓單片式清洗機(jī)腔室密封罩的升降調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，包括：機(jī)臺(tái)底板，所述機(jī)臺(tái)底板的頂部固定連接有內(nèi)罩，所述內(nèi)罩的表面設(shè)置有外罩，所述外罩的底部開設(shè)有工作槽，所述外罩的一側(cè)設(shè)置有安裝板，所述安裝板底部的前側(cè)固定連接有氣缸一，所述氣缸一的輸出端固定連接有固定板，所述固定板底部的中心處固定連接有氣缸二，所述氣缸二的輸出端固定連接有壓板，所述壓板的表面固定連接有支撐板，所述支撐板的一側(cè)與固定板固定連接，所述壓板的前側(cè)和后側(cè)均通過轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有杠板，所述杠板的表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有支撐桿，所述支撐桿的頂端與機(jī)臺(tái)底板固定連接，所述杠板的一側(cè)固定連接有連接板，所述連接板的一側(cè)固定連接有U形接頭，所述U形接頭的內(nèi)腔轉(zhuǎn)動(dòng)連接有傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述傳動(dòng)結(jié)構(gòu)的一側(cè)延伸至工作槽的內(nèi)腔，所述機(jī)臺(tái)底板頂部的前側(cè)和后側(cè)均開設(shè)有與傳動(dòng)結(jié)構(gòu)相適配的通孔一，所述機(jī)臺(tái)底板底部的前側(cè)和后側(cè)均固定連接有兩個(gè)固定桿，兩個(gè)固定桿的底端共同固定連接有承載板，所述承載板的頂部固定連接有單桿氣缸，所述單桿氣缸的輸出端固定連接有浮動(dòng)接頭，所述浮動(dòng)接頭的頂部固定連接有升降桿二，所述機(jī)臺(tái)底板頂部的前側(cè)和后側(cè)均開設(shè)有與升降桿二相適配的通孔二，所述升降桿二的頂端延伸至工作槽的內(nèi)腔并固定連接有連接塊，所述連接塊的一側(cè)與外罩固定連接。

進(jìn)一步的，作為本發(fā)明一種優(yōu)選的，所述傳動(dòng)結(jié)構(gòu)包含有兩個(gè)升降桿一，位于底部的升降桿一的底端延伸至U形接頭內(nèi)腔并與U形接頭轉(zhuǎn)動(dòng)連接，兩個(gè)升降桿一相對(duì)的一端分別固定連接有球套和球塊，所述球塊位于球套的內(nèi)腔并與球套活動(dòng)連接，位于頂部的升降桿一表面的頂部套設(shè)有套桿。

進(jìn)一步的，作為本發(fā)明一種優(yōu)選的，所述安裝板的一側(cè)開設(shè)有四個(gè)等間距分布的安裝孔。